一种透射与反射式单级衍射光栅谱仪制造技术

本发明专利技术公开了一种透射与反射式单级衍射光栅谱仪，包括狭缝组件、“回”型抽气管、屏蔽管、转接法兰、球关节组件、光栅室、滤片室、闸板阀、X射线CCD和支撑架，与现有技术相比，本发明专利技术在透射光栅谱仪的基础上开发出了反射式光栅谱仪的功能，实现了同一套设备的不同功用，降低了诊断设备的研制成本，克服了强电磁干扰等复杂环境下透射谱仪无法工作的难题。使用量子点阵光栅、“之”字型光栅、谱学光子筛、修正棋盘格光栅、梯形基元光栅做为分光元件，能够有效抑制高级衍射，高次谐波抑制比好于1％(高次谐波强度/基波强度)，解决了普通光栅带来的解谱困难与误差等难题。具有推广应用的价值。

A transmission and reflection single stage diffraction grating spectrometer

【技术实现步骤摘要】
一种透射与反射式单级衍射光栅谱仪
本专利技术涉及X射线光学领域，尤其涉及一种透射与反射式单级衍射光栅谱仪。
技术介绍
在激光间接驱动惯性约束聚变(ICF)研究中，黑腔中的激光与等离子体相互作用，相当大部分的激光能量被等离子体吸收后转化为X光辐射，软X光辐射占整个等离子体辐射的绝大部分。黑腔辐射的软X射线是驱动DT燃料靶丸内爆的直接能源，软X射线能谱和辐射温度时间演化过程是黑腔辐射源最重要的特征物理量。因此，通过黑腔辐射诊断，可以了解激光腔靶耦合物理过程、激光器驱动能力，优化黑腔结构、尺寸设计。透射光栅谱仪使用灵活，调整方便，是软X光谱诊断最常用的仪器之一。它对待测的复色软X射线进行分光，然后利用软X射线CCD采集光栅分光后的衍射光谱，通过分析采集到的光谱位置与强度，就能诊断出待测光谱的详细信息。在一些ICF实验研究中，激光与等离子体相互作用还会产生大量的硬X射线、伽马射线、正负电子等，这些粒子将会穿过透射光栅直接作用在软X射线CCD上，并对其工作造成干扰，严重时将导致其无法采集到有效的信号。由于透射光栅谱仪的工作模式，现有的一些屏蔽措施无法有效的解决问题，使得透射光栅谱仪无法使用，必本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种透射与反射式单级衍射光栅谱仪，其特征在于：包括狭缝组件、“回”型抽气管、屏蔽管、转接法兰、球关节组件、光栅室、滤片室、闸板阀、X射线CCD和支撑架，所述狭缝组件与所述“回”型抽气管的一端连接，所述“回”型抽气管的另一端与所述屏蔽管的一端连接，所述屏蔽管的另一端与所述转接法兰的一端连接，所述转接法兰的另一端与所述球关节组件的一端连接，所述球关节组件的另一端与所述光栅室的一端连接，所述光栅室的另一端与所述滤片室的一端连接，所述滤片室的另一端与所述闸板阀的一端连接，所述闸板阀的另一端与所述X射线CCD连接，所述支架连接在所述球关节组件的下端。

【技术特征摘要】
1.一种透射与反射式单级衍射光栅谱仪，其特征在于：包括狭缝组件、“回”型抽气管、屏蔽管、转接法兰、球关节组件、光栅室、滤片室、闸板阀、X射线CCD和支撑架，所述狭缝组件与所述“回”型抽气管的一端连接，所述“回”型抽气管的另一端与所述屏蔽管的一端连接，所述屏蔽管的另一端与所述转接法兰的一端连接，所述转接法兰的另一端与所述球关节组件的一端连接，所述球关节组件的另一端与所述光栅室的一端连接，所述光栅室的另一端与所述滤片室的一端连接，所述滤片室的另一端与所述闸板阀的一端连接，所述闸板阀的另一端与所述X射线CCD连接，所述支架连接在所述球关节组件的下端。2.根据权利要求1所述的透射与反射式单级衍射光栅谱仪，其特征在于：所述狭缝组件连接有光源，所述光源依次通过所述狭缝组件的狭缝、所述光栅室的光栅、...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈勇，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：发明
国别省市：四川,51