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本发明公开了一种透射与反射式单级衍射光栅谱仪,包括狭缝组件、“回”型抽气管、屏蔽管、转接法兰、球关节组件、光栅室、滤片室、闸板阀、X射线CCD和支撑架,与现有技术相比,本发明在透射光栅谱仪的基础上开发出了反射式光栅谱仪的功能,实现了同一套设...该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。
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本发明公开了一种透射与反射式单级衍射光栅谱仪,包括狭缝组件、“回”型抽气管、屏蔽管、转接法兰、球关节组件、光栅室、滤片室、闸板阀、X射线CCD和支撑架,与现有技术相比,本发明在透射光栅谱仪的基础上开发出了反射式光栅谱仪的功能,实现了同一套设...