具有多层格栅板的稳定型离子束抛光机制造技术

本实用新型专利技术公开了具有多层格栅板的稳定型离子束抛光机，包括放电腔、阳极板、格栅板，最外层格栅板上设置安装块，安装块上设置钨丝，格栅板顶面固定连接若干陶瓷球，格栅板底面设置若干第一凹槽，第一凹槽的表面为与所述陶瓷球半径相等的球面；相邻两块格栅板之间，下层格栅板的陶瓷球均放置在上层格栅板的第一凹槽内；安装块的侧面设置一端敞口的第二凹槽，第二凹槽的敞口方向朝向钨丝伸出至安装块外侧的方向，且第二凹槽的孔径从敞口端至内部线性增大。本实用新型专利技术用以解决现有技术中离子束抛光机无法保持长时间正常工作的问题，实现提高离子束抛光机的正常工作时长、降低清理频率的目的。

A stable ion beam polishing machine with multi-layer grid plate

The utility model discloses a stable ion beam polishing machine with a multi-layer grid plate, including discharge cavity, anode plate, grid plate, the outer grid board is installed on the mounting block is arranged on the block, tungsten wire, grid plate is fixed on the top surface is connected with a plurality of ceramic ball grid plate is arranged on the bottom surface of the first surface of the first to groove. The groove and the ceramic ball is equal to the radius of sphere; between two contiguous grid plate, a first groove lower grille plate ceramic balls are placed in the upper grille plate is installed on the side of the block; one end of the groove set second open, second open grooves extend to the direction toward the tungsten wire mounting block lateral direction second, and the aperture groove from the open end to the internal linear increase. The utility model is used to solve the problem that the ion beam polishing machine can not keep working normally for a long time in the existing technology, so as to improve the normal working time and reduce the cleaning frequency of the ion beam polishing machine.

【技术实现步骤摘要】
具有多层格栅板的稳定型离子束抛光机
本技术涉及离子束抛光领域，具体涉及具有多层格栅板的稳定型离子束抛光机。
技术介绍
所谓离子束抛光，就是把惰性气体，如氩、氮等放在密闭空间中，用高频电磁振荡或放电等方法对阴极电流加热，使之电离成为正离子，再用5千至10万伏高电压对这些正离子加速，使它们具有一定的能量。利用电子透镜聚焦，将它们聚焦成一细束,形成高能量密度离子流，在计算机的控制下轰击放在真空室经过精磨的工件表面，从其表面把工件物质一个原子一个原子地溅射掉。用这种方法实现对工件表面进行深度从100埃到10微米左右的精密加工。现有的小型离子束抛光机，大都在放电腔的出口端设置格栅板，格栅板外设置钨丝作为阴极，阳极设置在放电腔内，实现透过格栅板的电离，通过格栅板实现离子束的生成。然而，现有技术中，由于钨丝无法单独设置，都需要在格栅板外设置安装块来固定钨丝，钨丝的一端悬空在安装块外，在工作过程中，由于钨丝温度极高，钨丝会逐渐处于熔融状态，甚至会端部下坠搭靠在格栅板上，同时钨丝电离过程中会产生大量正离子，这些离子会附着在格栅板、安装块表面，时间稍长就会铺满格栅板和安装块表面，形成导体，并与搭靠在格栅本文档来自技高网...

【技术保护点】
具有多层格栅板的稳定型离子束抛光机，包括放电腔(1)、位于放电腔(1)内的阳极板(2)、以及设置在放电腔(1)出口端的若干层格栅板(3)，最外层格栅板(3)上设置安装块(4)，所述安装块(4)上设置钨丝(5)，所述钨丝(5)的一端伸出至安装块(4)外侧，其特征在于，所述格栅板(3)顶面固定连接若干陶瓷球(9)，所述格栅板(3)底面设置若干第一凹槽(7)，所述第一凹槽(7)的表面为与所述陶瓷球(9)半径相等的球面、且所述第一凹槽(7)的纵截面呈劣弧状；所述格栅板(3)顶面的陶瓷球(9)、和格栅板(3)底面的第一凹槽(7)一一正对，相邻两块格栅板(3)之间，下层格栅板(3)的陶瓷球(9)均放置在上...

【技术特征摘要】
1.具有多层格栅板的稳定型离子束抛光机，包括放电腔(1)、位于放电腔(1)内的阳极板(2)、以及设置在放电腔(1)出口端的若干层格栅板(3)，最外层格栅板(3)上设置安装块(4)，所述安装块(4)上设置钨丝(5)，所述钨丝(5)的一端伸出至安装块(4)外侧，其特征在于，所述格栅板(3)顶面固定连接若干陶瓷球(9)，所述格栅板(3)底面设置若干第一凹槽(7)，所述第一凹槽(7)的表面为与所述陶瓷球(9)半径相等的球面、且所述第一凹槽(7)的纵截面呈劣弧状；所述格栅板(3)顶面的陶瓷球(9)、和格栅板(3)底面的第一凹槽(7)一一正对，相邻两块格栅板(3)之间，下层格栅板(3)的陶瓷球(9)均放置在上层格栅板(3)的第一凹槽(7)内；所述安装块(4)的侧面设置一端敞口的第二凹槽(6)，所述第二凹槽(6)的敞口方向朝向钨丝(5)...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪磊，倪晋，
申请(专利权)人：成都睿坤科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51