用于借助于激光烧蚀来生产微加工工件的方法技术

在一种借助于激光微加工来生产微加工工件的方法中，将保护层（SS）施加至工件（WS）的表面（OF），并且借助于穿过保护层的激光束（LS）在加工区域中对所述表面进行加工。使用涂覆流体来产生保护层（SS），涂覆流体包括至少部分挥发的载液，金属的和/或陶瓷的颗粒（PT）分散在载液中。将涂覆流体施加至表面（OF），以使得至少加工区域被覆盖有涂覆流体层。将经施加的层干燥以便减少载液的含量，从而使得形成如下的保护层（SS），所述保护层（SS）本质上由经施加的涂覆流体的颗粒（PT）或者由这些颗粒以及相对于涂覆流体百分比减小的载液组成。借助于激光束（LS）来对加工区域进行加工，激光束（LS）照射穿过保护层至工件（WS）上。

A method for producing micromachining workpieces with the aid of laser ablation

In a method of producing micro machined workpiece by means of laser micro machining, the protective layer (SS) is applied to the surface (OF) of the workpiece (WS), and the surface is machined in the processing area by means of the laser beam (LS) passing through the protective layer. The protective layer (SS) is produced by coating fluid, and the coating fluid includes at least partially volatile carrier fluid, and metal and / or ceramic particles (PT) are dispersed in the carrier fluid. The coating fluid is applied to the surface (OF) so that at least the processing area is covered with the coating fluid layer. The applied layer drying in order to reduce the content of carrier fluid, thus forming a protective layer below (SS), the protective layer (SS) coating fluid nature by applying particle (PT) or by these particles as well as to the percentage decrease of coating fluid carrying liquid composition. The laser beam (LS) is used to process the processing area, and the laser beam (LS) is irradiated through the protective layer to the workpiece (WS).

【技术实现步骤摘要】
用于借助于激光烧蚀来生产微加工工件的方法
本专利技术涉及一种借助于激光烧蚀来生产微加工工件的方法，其中，保护层被施加至工件的表面的加工区域并且借助于激光束穿过保护层来对加工区域中的表面进行加工。
技术介绍
激光微加工中的典型激光加工任务涉及钻出极细的孔、切割凹槽、以及在工件上烧蚀侧面（flank）。因为激光束常常具有高斯（Gaussian）照射轮廓，所以工件表面上的入口边缘在表面附近通常显示出抬升部（毛边）或者倾向于变圆并且排布有粘附到表面的沉积物。此外，入口边缘通常暴露于强烈的温度效应。因为烧蚀产物（碎屑）常常无法完全被去除并且会由于高激发烧蚀等离子体而牢固地粘附到表面，所以入口边缘由于激光照射与局部粘附的纳米级烧蚀产物的光学近场相互作用而常常不是理想地平滑的，而是可能显示出垂落（curtaining）。GB2349106A公开了在激光冲击钻进期间可以通过将涂覆物施加至工件的包含分散在聚合物基质中的颗粒的表面来避免在工件上沉积烧蚀产物（飞溅物）。例如，聚合物基质可以是硅密封材料，并且颗粒可以由陶瓷材料或者高熔点材料组成。处于室温或者在加热作用下，涂覆物组合物在分布在表面上之后变硬，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于借助于激光微加工来生产微加工工件的方法，其中，将保护层（SS）施加至所述工件（WS）的表面（OF），并且借助于穿过所述保护层的激光束（LS）在加工区域中对所述表面进行加工，其特征在于，使用涂覆流体（SF）来产生所述保护层（SS），所述涂覆流体（SF）包含至少部分挥发的载液（TF），金属的和/或陶瓷的颗粒（PT）分散在所述载液（TF）中；将所述涂覆流体（SF）施加至所述表面（OF），以使得至少加工区域（MA）被覆盖有保护涂覆流体层（SSF）；将经施加的涂覆物干燥以便减少载液（TF）的含量，从而使得形成如下的保护层（SS），所述保护层（SS）本质上由经施加的涂覆流体的颗粒（PT）或者由这些...

【技术特征摘要】
2016.09.19 EP 16189398.71.一种用于借助于激光微加工来生产微加工工件的方法，其中，将保护层（SS）施加至所述工件（WS）的表面（OF），并且借助于穿过所述保护层的激光束（LS）在加工区域中对所述表面进行加工，其特征在于，使用涂覆流体（SF）来产生所述保护层（SS），所述涂覆流体（SF）包含至少部分挥发的载液（TF），金属的和/或陶瓷的颗粒（PT）分散在所述载液（TF）中；将所述涂覆流体（SF）施加至所述表面（OF），以使得至少加工区域（MA）被覆盖有保护涂覆流体层（SSF）；将经施加的涂覆物干燥以便减少载液（TF）的含量，从而使得形成如下的保护层（SS），所述保护层（SS）本质上由经施加的涂覆流体的颗粒（PT）或者由这些颗粒以及含量相对于所述涂覆流体减小的所述载液来组成；借助于激光束（LS）来执行对所述加工区域的加工，所述激光束（LS）照射穿过所述保护层至所述工件（WS）上。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，使用如下的涂覆流体，在所述涂覆流体中，所述颗粒主要具有10µm的最大颗粒尺寸。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，选择所述涂覆流体（SF）的成分，以使得在完成的保护层（SS）中的颗粒（PT）的填充比率超过所述保护层体积的50%，其中，所述填充比率优选地大于60%。4.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，使用如下的涂覆流体（SF），所述涂覆流体（SF）主要或者仅仅包含具有或者不具有涂覆物的金属的颗粒（PT）。5.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，传导性漆被用作涂覆流体（SF），所述传导性漆更具体地是传导性银。6.根据前述权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：M克劳泽，T赫歇，
申请(专利权)人：弗劳恩霍夫应用研究促进协会，
类型：发明
国别省市：德国,DE