一种用于高精度定位和测量的二维三自由度微动平台结构制造技术

本发明专利技术公开一种用于高精度定位和测量的二维三自由度微动平台结构，首先，利用两组串联的柔性铰链并联成移动副。移动副一端固定，另一端施加驱动力。驱动力通过杠杆放大，驱动移动副做平动和转动。移动副带动平台的柔性铰链做转动，从而驱动平台产生相应位移。其次，本发明专利技术由四个相同移动副构成，四个相同移动副分别和四个相同的第一柔性铰链组成四条支链，四条支链布置不同，平台对面的两条支链呈中心对称，呈中心对称的两条支链构成一组，一共有两组。最后，本发明专利技术的驱动可以采用压电驱动方式，从而产生x轴方向的线位移、y轴方向的线位移和绕z轴方向的角位移，用于光学精密定位和精密测量。

A two dimensional three degree of freedom micro motion platform structure for high precision positioning and measurement

The invention discloses a two-dimensional three degree of freedom micro motion platform structure for high-precision positioning and measurement. First, two groups of flexure hinges are connected in parallel to form a mobile pair. One end of the moving pair is fixed, and the other end exerts a driving force. The driving force is amplified by the lever to drive the moving pair to make translations and turns. The flexible hinge of the moving pair drives the platform to rotate, thus driving the platform to produce the corresponding displacement. Secondly, the invention is composed of four identical mobile pair, four and four respectively, the same mobile side the same first flexible hinge four limbs, four limbs in two limbs of different layout, platform on the opposite side of the central symmetry, a two branched chain center symmetric form a group, a total of two groups. Finally, the drive of the invention can be driven by piezoelectric drive, resulting in the linear displacement of X axis, the displacement of Y axis and the angular displacement in the direction of Z axis. It can be used for optical precise positioning and precise measurement.

【技术实现步骤摘要】
一种用于高精度定位和测量的二维三自由度微动平台结构
：本专利技术涉及一种用于高精度定位和测量的二维三自由度微动平台结构，属于微/纳机电系统领域。
技术介绍
：当前，微动平台在精密定位和测量仪器中的应用很广泛，其精度很高，原理是基于柔顺机构弹性变形产生位移的一种技术。串联式微位移平台的串联支链比并联支链的柔度好【闪明才，王伟明，马树元，刘霜，谢虎.大行程串联柔性机构分析与设计.纳米技术与精密工程，2012(5)：268-272】，但比并联支链的刚度差。串联支链在产生可利用弹性变形时，因柔性铰链精度有限，旋转中心漂移【陈贵敏，韩琪，等.深切口椭圆柔性铰链.光学精密工程，2009(3)：570-575】【陈贵敏，贾建援，刘小院，勾燕洁，等.柔性铰链精度特性研究.仪器仪表学报，2004(8)：107-109】，故引起柔顺机构的载荷-位移的线性度较差，从而产生较大寄生性弹性变形，影响定位和测量结果。在广义位移精确性方面，在满足有益广义位移的同时，应尽量提高支链整体刚度，从而抵抗寄生性弹性变形，提高广义位移精确性，从而提高定位和测量结果。这时，专利技术一种既能产生有益广义位移，又能有效抵抗寄生性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于高精度定位和测量的二维三自由度微动平台结构，其特征在于：包括平台(7)、第一柔性铰链(6)以及通过第一柔性铰链(6)固定于平台(7)上的移动副，所述平台(7)为正方体平台，所述移动副包括第一刚性梁(1)、第二柔性铰链(2)、第二刚性梁(3)、第三柔性铰链(4)以及L型刚性梁(5)，第一刚性梁(1)与第二刚性梁(3)之间通过第二柔性铰链(2)连接，第二刚性梁(3)与L型刚性梁(5)之间通过第三柔性铰链(4)连接，L型刚性梁(5)与平台(7)之间通过第一柔性铰链(6)连接，第一刚性梁(1)通过紧固件固定在机架上，移动副有四个，每个移动副和一个第一柔性铰链(6)组成一条支链，一共有四条支链，...

【技术特征摘要】
1.一种用于高精度定位和测量的二维三自由度微动平台结构，其特征在于：包括平台(7)、第一柔性铰链(6)以及通过第一柔性铰链(6)固定于平台(7)上的移动副，所述平台(7)为正方体平台，所述移动副包括第一刚性梁(1)、第二柔性铰链(2)、第二刚性梁(3)、第三柔性铰链(4)以及L型刚性梁(5)，第一刚性梁(1)与第二刚性梁(3)之间通过第二柔性铰链(2)连接，第二刚性梁(3)与L型刚性梁(5)之间通过第三柔性铰链(4)连接，L型刚性梁(5)与平台(7)之间通过第一柔性铰链(6)连接，第一刚性梁(1)通过紧固件固定在机架上，移动副有四个，每个移动副和一个第一柔性铰链(6)组成一条支链，一共有四条支链，四条支链分别位于在平台(7)的上下左右四个面上，四条支链通过第一柔性铰链(6)驱动平台(7)产生x方向和y方向位移。2.如权利要求1所述的用于高精度定位和测量的二维三自由度微动平台结构，其特征在于：四个移动副分...

【专利技术属性】
技术研发人员：楼佩煌，郭大宏，钱晓明，马群，武星，
申请(专利权)人：南京航空航天大学，天奇自动化工程股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32