一种提纯锭芯的分档方法技术

技术编号:17541643 阅读:162 留言:0更新日期:2018-03-24 18:42
本发明专利技术公开了一种提纯锭芯的分档方法,包括以下步骤:测试提纯锭芯上某两处的电阻率,获取提纯锭芯的底部电阻率和顶部电阻率,并计算底部电阻率和顶部电阻率之间的差值得到提纯锭芯的底顶部电阻率差值;针对获得的底部电阻率、底顶部电阻率差值,查询预设的提纯锭芯分档数据表获取被测试提纯锭芯的分档级别,其中提纯锭芯分档数据表包含底部电阻率、底顶部电阻率差值两者及其对应的分档级别之间的映射关系。本发明专利技术分档方法能够把复杂的计算和测试过程简单化,能够科学系统、简单有效对提纯锭芯进行分档,具有简易、准确等优点,以本发明专利技术方法对提纯锭芯进行分档,对铸锭过程中磷含量的控制具有非常大的意义。

A method of grading ingot core

The invention discloses a method for purifying the ingot core classification method, which comprises the following steps: testing a two purification ingot core resistivity, obtaining core resistivity and purification of ingot bottom top resistivity, and calculate the difference between the top and bottom resistivity resistivity obtained top bottom resistivity difference purification ingot core; the bottom resistivity the bottom of the top resistivity difference, query preset core data acquisition and purification purification ingot ingot core grade level is a test file table, the core of the mapping relationship between the purification of ingot comprises a bottom and bottom top resistivity resistivity difference between two and the corresponding sub file level data table file. The classification method is able to simplify the calculation and the test process is complex, scientific system, simple and effective for the purification of the ingot core sub file, which is simple, accurate, on the purification of the ingot core classified by the method of the invention, the control of phosphorus content in the casting process has great significance.

【技术实现步骤摘要】
一种提纯锭芯的分档方法
本专利技术属于晶硅铸锭领域,涉及一种提纯锭芯的分档方法,具体涉及一种基于磷含量的提纯锭芯分档方法。
技术介绍
多晶硅锭生产过程中,往往会用到提纯锭芯作为部分原料,其中提纯锭芯所占用量比例为20%~40%。提纯锭芯主要是由铸锭循环料、不良硅料等较差的硅料铸锭得来。由于现有方法生产的多晶硅原料不可避免的会含有磷杂质,特别地现在主流的西门子法也存在此类问题,因而提纯锭芯中通常含有较高浓度的磷。磷在硅锭中作为一种施主杂质,会直接改变硅锭的电学性能,甚至改变硅锭的P/N型,对硅锭质量造成巨大的影响。另外,由于铸锭工艺,导致无法准确的把控提纯锭芯中的磷硼杂质含量,将这些提纯锭芯作为正常硅锭的原料时,会导致硅锭的电阻率波动,从而影响产品质量甚至导致产品报废。然而,现有技术中由于没有科学系统的分析方法和计算方法,无法有效、准确获得提纯锭芯中施主受主(即磷和硼)杂质的含量,同时也无法科学系统、简单有效对提纯锭芯进行分档。因此,如何获得一种简易、准确的提纯锭芯分档方法对多晶铸锭过程中磷含量的准确、有效控制具有非常大的意义。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种简易、准确的提纯锭芯的分档方法。为解决上述技术问题,本专利技术采用以下技术方案:一种提纯锭芯的分档方法,包括以下步骤:S1、测试提纯锭芯上某两处的电阻率,获取提纯锭芯的底部电阻率和顶部电阻率,并计算底部电阻率和顶部电阻率之间的差值得到提纯锭芯的底顶部电阻率差值;S2、针对获得的底部电阻率、底顶部电阻率差值,查询预设的提纯锭芯分档数据表获取被测试提纯锭芯的分档级别;所述提纯锭芯分档数据表包含底部电阻率、底顶部电阻率差值两者及其对应的分档级别之间的映射关系。上述的分档方法中,进一步改进的,步骤S2中,查询预设的提纯锭芯分档数据表获取被测试提纯锭芯的分档级别,具体步骤包括:S2-1、根据步骤S1中获得的底部电阻率,查询预设的提纯锭芯分档数据表,确定步骤S1中获得的底部电阻率对应的底部电阻率值区间M;S2-2、根据步骤S1中获得的底顶部电阻率差值,查询预设的提纯锭芯分档数据表,确定步骤S1中获得的底顶部电阻率差值对应的底顶部电阻率差值区间N;S2-3、根据底部电阻率差值区间M、底顶部电阻率差值区间N,查询预设的提纯锭芯分档数据表,获取被测试提纯锭芯的分档级别TC。上述的分档方法中,更进一步改进的,所述提纯锭芯分档数据表中,将底部电阻率划分为8个底部电阻率值区间,分别为:M1<0.8、0.8≤M2<1、1≤M3<1.3、1.3≤M4<1.6、1.6≤M5<1.9、1.9≤M6<2.2、2.2≤M7<2.5、2.5≤M8;所述底部电阻率值区间为M1时,对应的底顶部电阻率差值划分为5个底顶部电阻率差值区间,分别为:N11<-0.1、-0.1≤N12<0.05、0.05≤N13<0.12、0.12≤N14≤0.2、0.2<N15,其中所述底顶部电阻率差值区间N11、N12、N13、N14、N15对应的提纯锭芯的分档级别分别为TC6、TC5、TC4、TC3、TC2;所述底部电阻率值区间为M2时,对应的底顶部电阻率差值划分为5个底顶部电阻率差值区间,分别为:N21<-0.4、-0.4≤N22<-0.05、-0.05≤N23<0.1、0.1≤N24≤0.2、0.2<N25,其中所述底顶部电阻率差值区间N21、N22、N23、N24、N25对应的提纯锭芯的分档级别分别为TC6、TC5、TC4、TC3、TC2;所述底部电阻率值区间为M3时,对应的底顶部电阻率差值划分为5个底顶部电阻率差值区间,分别为:N32<-0.35、-0.35≤N33<0、0≤N34<0.2、0.2≤N35≤0.35、0.35<N36,其中所述底顶部电阻率差值区间N32、N33、N34、N35、N36对应的提纯锭芯的分档级别分别为TC5、TC4、TC3、TC2、TC1;所述底部电阻率值区间为M4时,对应的底顶部电阻率差值划分为4个底顶部电阻率差值区间,分别为:N43<-0.3、-0.3≤N44<0.15、0.15≤N45≤0.4、0.4<N46,其中所述底顶部电阻率差值区间N43、N44、N45、N46对应的提纯锭芯的分档级别分别为TC4、TC3、TC2、TC1;所述底部电阻率值区间为M5时,对应的底顶部电阻率差值划分为4个底顶部电阻率差值区间,分别为:N53<-0.9、-0.9≤N54<0、0≤N55≤0.45、0.45<N56,其中所述底顶部电阻率差值区间N53、N54、N55、N56对应的提纯锭芯的分档级别分别为TC4、TC3、TC2、TC1;所述底部电阻率值区间为M6时,对应的底顶部电阻率差值划分为3个底顶部电阻率差值区间,分别为:N64<-0.2、-0.2≤N65≤0.5、0.5<N66,其中所述底顶部电阻率差值区间N64、N65、N66对应的提纯锭芯的分档级别分别为TC3、TC2、TC1;所述底部电阻率值区间为M7时,对应的底顶部电阻率差值划分为3个底顶部电阻率差值区间,分别为:N74<-0.5、-0.5≤N75≤0.55、0.55<N76,其中所述底顶部电阻率差值区间N74、N75、N76对应的提纯锭芯的分档级别分别为TC3、TC2、TC1;所述底部电阻率值区间为M8时,对应的底顶部电阻率差值划分为3个底顶部电阻率差值区间,分别为:N84<-0.8、-0.8≤N85≤0.6、0.6<N86,其中所述底顶部电阻率差值区间N84、N85、N86对应的提纯锭芯的分档级别分别为TC3、TC2、TC1。上述的分档方法中,再进一步改进的,所述提纯锭芯分档数据表中,所述分档级别为TC1时,对应的提纯锭芯中磷含量为P1,其中P1<1.5×1015atoms/cm3;所述分档级别为TC2时,对应的提纯锭芯中磷含量为P2,其中1.5×1015atoms/cm3≤P2<4.5×1015atoms/cm3;所述分档级别为TC3时,对应的提纯锭芯中磷含量为P3,其中4.5×1015atoms/cm3≤P3<7.5×1015atoms/cm3;所述分档级别为TC4时,对应的提纯锭芯中磷含量为P4,其中7.5×1015atoms/cm3≤P4<10.5×1015atoms/cm3;所述分档级别为TC5时,对应的提纯锭芯中磷含量为P5,其中10.5×1015atoms/cm3≤P5<13.5×1015atoms/cm3;所述分档级别为TC6时,对应的提纯锭芯中磷含量为P6,其中P6≥13.5×1015atoms/cm3。上述的分档方法中,进一步改进的,步骤S2中,所述提纯锭芯分档数据表的建立,包括以下步骤:(1)将底部电阻率进行划分,形成若干个底部电阻率值区间M;(2)将步骤(1)中得到的各个底部电阻率值区间M分别对应底顶部电阻率差值;(3)将步骤(2)中得到的各个底顶部电阻率差值进行划分,形成若干个与底部电阻率值区间M对应的底顶部电阻率差值区间N;(4)将步骤(3)中得到的各个底顶部电阻率差值区间N分别对应提纯锭芯的分档级别TC,得到提纯锭芯分本文档来自技高网...
一种提纯锭芯的分档方法

【技术保护点】
一种提纯锭芯的分档方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、测试提纯锭芯上某两处的电阻率,获取提纯锭芯的底部电阻率和顶部电阻率,并计算底部电阻率和顶部电阻率之间的差值得到提纯锭芯的底顶部电阻率差值;S2、针对获得的底部电阻率、底顶部电阻率差值,查询预设的提纯锭芯分档数据表获取被测试提纯锭芯的分档级别;所述提纯锭芯分档数据表包含底部电阻率、底顶部电阻率差值两者及其对应的分档级别之间的映射关系。

【技术特征摘要】
1.一种提纯锭芯的分档方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、测试提纯锭芯上某两处的电阻率,获取提纯锭芯的底部电阻率和顶部电阻率,并计算底部电阻率和顶部电阻率之间的差值得到提纯锭芯的底顶部电阻率差值;S2、针对获得的底部电阻率、底顶部电阻率差值,查询预设的提纯锭芯分档数据表获取被测试提纯锭芯的分档级别;所述提纯锭芯分档数据表包含底部电阻率、底顶部电阻率差值两者及其对应的分档级别之间的映射关系。2.根据权利要求1所述的分档方法,其特征在于,步骤S2中,查询预设的提纯锭芯分档数据表获取被测试提纯锭芯的分档级别,具体步骤包括:S2-1、根据步骤S1中获得的底部电阻率,查询预设的提纯锭芯分档数据表,确定步骤S1中获得的底部电阻率对应的底部电阻率值区间M;S2-2、根据步骤S1中获得的底顶部电阻率差值,查询预设的提纯锭芯分档数据表,确定步骤S1中获得的底顶部电阻率差值对应的底顶部电阻率差值区间N;S2-3、根据底部电阻率差值区间M、底顶部电阻率差值区间N,查询预设的提纯锭芯分档数据表,获取被测试提纯锭芯的分档级别TC。3.根据权利要求2所述的分档方法,其特征在于,所述提纯锭芯分档数据表中,将底部电阻率划分为8个底部电阻率值区间,分别为:M1<0.8、0.8≤M2<1、1≤M3<1.3、1.3≤M4<1.6、1.6≤M5<1.9、1.9≤M6<2.2、2.2≤M7<2.5、2.5≤M8;所述底部电阻率值区间为M1时,对应的底顶部电阻率差值划分为5个底顶部电阻率差值区间,分别为:N11<-0.1、-0.1≤N12<0.05、0.05≤N13<0.12、0.12≤N14≤0.2、0.2<N15,其中所述底顶部电阻率差值区间N11、N12、N13、N14、N15对应的提纯锭芯的分档级别分别为TC6、TC5、TC4、TC3、TC2;所述底部电阻率值区间为M2时,对应的底顶部电阻率差值划分为5个底顶部电阻率差值区间,分别为:N21<-0.4、-0.4≤N22<-0.05、-0.05≤N23<0.1、0.1≤N24≤0.2、0.2<N25,其中所述底顶部电阻率差值区间N21、N22、N23、N24、N25对应的提纯锭芯的分档级别分别为TC6、TC5、TC4、TC3、TC2;所述底部电阻率值区间为M3时,对应的底顶部电阻率差值划分为5个底顶部电阻率差值区间,分别为:N32<-0.35、-0.35≤N33<0、0≤N34<0.2、0.2≤N35≤0.35、0.35<N36,其中所述底顶部电阻率差值区间N32、N33、N34、N35、N36对应的提纯锭芯的分档级别分别为TC5、TC4、TC3、TC2、TC1;所述底部电阻率值区间为M4时,对应的底顶部电阻率差值划分为4个底顶部电阻率差值区间,分别为:N43<-0.3、-0.3≤N44<0.15、0.15≤N45≤0.4、0.4<N46,其中所述底顶部电阻率差值区间N43、N44、N45、N46对应的提纯锭芯的分档级别分别为TC4、TC3、TC2、TC1;所述底部电阻率值区间为M5时,对应的底顶部电阻率差值划分为4个底顶部电阻率差值区间,分别为:N53<-0.9、-0.9≤N54<0、0≤N55≤0.45、0.45<N56,其中所述底顶部...

【专利技术属性】
技术研发人员:邱昊明亮段金刚刘福钢蔡先武
申请(专利权)人:湖南红太阳光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:湖南,43

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1