The invention discloses a recognition groove angle error and angle error of high precision calibration Kepan calibration system. The error of the angle calibration discs which comprises a disc body, wherein the disk body is a cylinder, the side surface of the cylinder to the reflective surface; encoding reticle group, the encoding group characterized in several ring groove on the reflective surface of the reticle reticle encoding, encoding for binary encoding; and the base line group, benchmark with the reference group for a number of carved in the groove on the reflective surface spacing and width etc.. The invention provides a calibration dial with identification with the angle error of high precision, using angle identification device, compared with the traditional angular error calibration device can achieve higher resolution and higher precision of angular error calibration.
【技术实现步骤摘要】
具有识别刻线的高精度转角误差标定刻盘及标定系统
本专利技术涉及光电位移精密测量
,尤其涉及一种用于高精度、高分辨力转角误差标定的具有识别刻线的标定刻盘及一种转角误差标定系统。
技术介绍
角位移测量设备(如光电编码器)以其高精度、高分辨力,测量范围广,易于维护,使用可靠等优点,被广泛应用于光电经纬仪,雷达,航空航天,机器人,数控机床,指挥仪和高精度闭环调速系统等诸多领域。在生产研制高精度、高分辨力角位移测量设备时,需要对其误差精度进行标定。传统误差标定装置分为两种,一种是采用高精度角度基准,通过比较法实现对被标定设备的误差标定;另一种是采用多面棱体配合平行光管实现对转角误差的标定。根据研究可知,采用高精度角度基准比较法进行误差标定时,角度基准的分辨力和精度需要大于被标定设备3倍以上,因此角度基准比较法大多适用于对中低精度的角位移测量设备的误差标定。在对高精度角位移测量设备进行误差标定时,大多采用多面棱体标定法。但是,受多面棱体标定原理所限,该方法只能实现与多面棱体面数相同个位置点的误差标定,不能实现更多转角位置的误差标定。CN106482669A公开了一种采用双线阵图像探测器的角位移测量系统,该角位移测量系统主要包括主轴、光源、双光学透镜、光栅码盘、双线阵图像探测器、数据采集电路、译码及角度细分电路,工作时主轴带动光栅码盘转动,光源发出平行光源透过光栅码盘通过光学透镜映射到线阵图像探测器成像,数据采集电路采集其中一个线阵图像探测器数据并送入译码及细分电路进行处理得到初始角度数据,采集放置在码盘对径位置的另一个线阵图像探测器数据实现对初始角度数据的误差补 ...
【技术保护点】
一种具有识别刻线的高精度转角误差标定刻盘,其特征在于,包括:盘体,所述盘体为圆柱体,所述圆柱体的整个侧面为反光面;编码刻线组,所述编码刻线组为若干圈刻划在反光面上的编码刻线,所述编码刻线为二进制编码;基准刻线组,所述基准刻线组为若干条刻划在反光面上的基准刻线,所述基准刻线的宽度相等,两相邻基准刻线之间的间距Δ相等;所述基准线组的基准刻线之间相互平行,且所述基准线平行于所述圆柱体的高,所述基准刻线均垂直并位于所述编码刻线的上方,所述编码刻线组的编码刻线均为圆周分布二进制编码。
【技术特征摘要】
1.一种具有识别刻线的高精度转角误差标定刻盘,其特征在于,包括:盘体,所述盘体为圆柱体,所述圆柱体的整个侧面为反光面;编码刻线组,所述编码刻线组为若干圈刻划在反光面上的编码刻线,所述编码刻线为二进制编码;基准刻线组,所述基准刻线组为若干条刻划在反光面上的基准刻线,所述基准刻线的宽度相等,两相邻基准刻线之间的间距Δ相等;所述基准线组的基准刻线之间相互平行,且所述基准线平行于所述圆柱体的高,所述基准刻线均垂直并位于所述编码刻线的上方,所述编码刻线组的编码刻线均为圆周分布二进制编码。2.根据权利要求1所述的转角误差标定刻盘,其特征在于,所述编码刻线组具有N圈编码刻线,由上至下依次为第一圈编码刻线、第二圈编码刻线、……、第N圈编码刻线,N为自然数。3.根据权利要求2所述的转角误差标定刻盘,其特征在于,N≥8。4.根据权利要求2所述的转角误差标定刻盘,其特征在于,N圈编码刻线以所述盘体的中轴线围绕,且N圈编码刻线的每相邻两圈的编码刻线之间的间距相等,且每圈编码刻线的高度相等。5.根据权利要求2所述的转角误差标定刻盘,其特征在于,第一圈编码刻线在圆周内包含20条刻线,第二圈编码刻线...
【专利技术属性】
技术研发人员:于海,万秋华,赵长海,杜颖财,卢新然,
申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,
类型:发明
国别省市:吉林,22
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