一种基于绝缘体上硅结构的细胞分离微芯片制造技术

本发明专利技术提出了一种基于绝缘体上硅结构的细胞分离微芯片，该芯片由相互结合的两层组成，第Ⅰ层为通道层，第Ⅱ层为盖板层。通道层在ＳＯＩ硅片上刻蚀凹槽形成微结构，通道层上有微通道、储液池、光纤凹槽和微电极对结构，通道层上的储液池用于筛选前后样品液及鞘流液的储存；微通道畅通，用于样品（细胞悬液或者溶液）流动；光纤提供光学检测通路；微电极对实现细胞筛选。盖板层上的进样、出样口与外界管道相连接。通过光纤获取细胞体积信息，判别细胞是否为融合后细胞，相应地在微电极对上施加交流电信号，使细胞发生偏转，从而实现细胞的分离。该芯片利用电场对生物活细胞进行非接触的筛选、分离操作，提高生物活细胞的生存率，结构简单，加工方便，成本低廉。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于细胞筛选分离的微芯片，具体涉及基于绝缘体上硅(SOI)结构的细胞分离微芯片。
技术介绍
生物细胞通过融合可以形成新的细胞，在现代生物医学工程基础领域有着重要的意 义。融合后细胞的筛选、分离，是对融合细胞进行进一步的培养的前提，能够对融合后 样品进行有效的筛选分离对于细胞融合而言具有极其重要的意义。目前能实现细胞筛选、 分离的方法很多，如荧光分离，直流电场偏转，光钳，显微操作等等。这些方法通常都 需要复杂的结构或者精细的操作，实现起来相当困难，对细胞的伤害也较大，试验效果 欠佳，难以推广。当两个同源细胞发生融合时，在细胞内部物质发生外流较小的情况下，融合后几个小时内，细胞体积会变为原来的2倍，根据r=￥;r/"3/3,细胞的直径会变为原来的120% 左右，20%的直径差异在光纤检测中可以被明显检出。同时，生物细胞处于非均匀电场中时，被电场激化形成偶极子，该偶极子在非均匀 电场作用力下发生运动，即介电电泳(dielectrophoresis)，利用电介质电泳可以控制细胞 的运动，在细胞通过微通道的过程中，检测通过细胞是否为融合细胞，利用电介质电泳 现象控制细胞的左本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于绝缘体上硅结构的细胞分离微芯片，该芯片由相互结合的两层组成，第Ⅰ层为通道层（１），第Ⅱ层为盖板层（２）；其特征在于：　所述通道层是在ＳＯＩ硅片上刻蚀凹槽而形成的微结构，这些微结构分别是微通道、通过微通道依次连接的样品池（４）、鞘流液池（５）、废液池（１６）、融合细胞液池（６）、光纤凹槽（７）和微电极对（８）结构；　所述光纤凹槽（７）与微通道垂直布置并连通，并在光纤凹槽内沿微通道左右对称布置光纤，检测流经微通道的细胞溶液，通过光纤获取细胞体积信息，从而判别细胞是否为融合细胞；　所述微电极对（８）分别设置在两个融合细胞液池（６）的入口处，通过键合点与外围电路相连接，引入外围电信号，在微电极...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨军，杨静，许蓉，侯文生，郑小林，阴正勤，胡宁，廖彦剑，
申请(专利权)人：重庆大学，
类型：发明
国别省市：85[中国|重庆]