一种材料表面处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种材料表面处理装置。其特征为：通过П型阴极在机箱内部形成非隔离的完整等离子空间，将待处理产品一次性完全放置上述空间内，此П型阴极是一种由多面、非平行布置的电极板组成的空心阴极结构，П型阴极通过固定装置放置于机箱内，与进电结构的连接面和进电结构的轴线呈非平行设置，П型阴极和进电结构之夹层用绝缘材料阻隔，绝缘材料与П型阴极尺寸配对耦合，且П型阴极位于绝缘材料内侧面上，上述材料表面处理装置的机箱内为真空腔，由位置盖板进行密封。本实用新型专利技术节省人力、提高生产效率、可适用多种规格待处理产品的等离子处理的装置，自动化程度高；阴极板(或阳极板)数量可根据适用场合要求设置，便于提高极板使用寿命。

A material surface treatment device

The utility model relates to a material surface treatment device. Its characteristics are: complete plasma formation in non isolated space inside the chassis through the II type cathode will be processed products of disposable fully placed the space, this is the II type cathode structure of a hollow cathode electrode plate is composed of polyhedral, non parallel composition, shape cathode arranged in the case by a fixing device, and into the electric structure of the connecting surface and axis into electrical structure in a non parallel setting, II type cathode and into the power structure with interlayer insulating material. The insulation material and the shape and size of cathode pair coupling, II type cathode located on the inner side of the insulating material, the material surface treatment device in the case of a vacuum chamber, from the position of the sealing cover. The utility model saves manpower, improves production efficiency, and can be applied to plasma treatment devices with various specifications to be processed. The device has high automation degree, and the number of cathode plates (or anode plates) can be set according to the requirements of applicable occasions, so as to improve the service life of plates.

【技术实现步骤摘要】
一种材料表面处理装置
本技术涉及自动化领域，特别涉及一种材料表面处理装置。
技术介绍
随着产品对材料性能要求的逐步提高，材料表面改性技术显得越来越重要，低温等离子体表面处理技术作为一种“干法”表面改性技术，具有处理效率高和节能、环保的特点，其应用越来越广泛。等离子体表面处理设备中，用于激发反应气体产生等离子的电极结构形式对等离子体能量、浓度以及空间分布有很大的影响。目前，市场上的低温等离子体设备均采用的单面平板式平行电极组形式，即将平板金属电极的平行和正、负间隔排列，待处理产品置于正负电极之间，见附图1。这种结构的设备虽然应用普遍，也解决了部分材料表面处理问题，但局限于本身的结构，仍存在以下缺点：(1)在处理层数较多时，受加工、安装精度以及电场分布的限制，难以保证每层产品处理的均匀性(2)运行时，由于受到电极板的阻挡，装卸料只能逐层进行，操作麻烦且费时且难以实现自动装卸料(3)由于受到电极最小间距的限制，等离子体空间的利用率低，单位体积等离子体区的产品处理量小(4)电极组结构复杂，要求的加工精度高、制作成本高。另一方面，现有等离子体表面处理设备，在处理过程中，通常需要人工将放置待加工本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种材料表面处理装置，其特征在于：包括机箱、进电结构和П型阴极，通过П型阴极可以在机箱内部形成非隔离的完整等离子空间，能将待处理产品一次性完全放置上述空间内，所述П型阴极是一种由多面、非平行布置的电极板组成的空心阴极结构，上述П型阴极通过固定装置放置于机箱内，与进电结构的连接面和进电结构的轴线呈非平行设置，所述П型阴极和进电结构之夹层采用绝缘材料阻隔，所述绝缘材料与所述П型阴极尺寸配对耦合，且所述П型阴极位于所述绝缘材料内侧面上，上述材料表面处理装置的机箱内为真空腔，由位置盖板进行密封。

【技术特征摘要】
2017.03.16 CN 20171018692681.一种材料表面处理装置，其特征在于：包括机箱、进电结构和П型阴极，通过П型阴极可以在机箱内部形成非隔离的完整等离子空间，能将待处理产品一次性完全放置上述空间内，所述П型阴极是一种由多面、非平行布置的电极板组成的空心阴极结构，上述П型阴极通过固定装置放置于机箱内，与进电结构的连接面和进电结构的轴线呈非平行设置，所述П型阴极和进电结构之夹层采用绝缘材料阻隔，所述绝缘材料与所述П型阴极尺寸配对耦合，且所述П型阴极位于所述绝缘材料内侧面上，上述材料表面处理装置的机箱内为真空腔，由位置盖板进行密封。2.如权利要求1所述一种材料表面处理装...

【专利技术属性】
技术研发人员：王红卫，
申请(专利权)人：深圳市奥普斯等离子体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44