The utility model discloses a ceramic capacitive pressure sensor of medium - sensitive, including thin elastic substrate and substrate thickness, the elastic thin base plate is provided with a thin base metal electrode; the thickness of base plate is provided with a thick substrate metal electrode, an annular metal electrode and thick substrate electrode pads; sealing material encapsulated together by and between the substrate and the thickness of thin elastic substrate; and the graphics area of the thin substrate metal electrode pattern area covering at least a thick substrate metal electrode and a thick substrate metal electrode. The pressure sensor of the utility model solves the compatibility problem of the existing ceramic capacitive pressure sensor under different measuring medium conditions and the problem of capacity drift caused by water or water vapor on the elastic slice surface.
【技术实现步骤摘要】
一种抗介质敏感的陶瓷电容压力传感器
本技术涉及一种电容压力传感器,特别涉及一种抗介质敏感的陶瓷电容压力传感器及其制造方法,属于压力传感器
技术介绍
目前陶瓷电容式压力传感器都是在厚薄两片陶瓷基板的两相对面设置电极,并采用陶瓷小球或玻璃隔离墩等作为间隔物控制电极间的距离,来形成指定初始电容值的电容器。当陶瓷基板受到外部压力,薄基板会出现变形,导致电容值变化,根据这一电容的变化值,即可检测出基板所承受的外部压力。这种陶瓷电容式压力传感器的电极图形,如图2所示为弹性薄电极,如图3所示为厚基板电极。这类电极图形制作的陶瓷电容式压力传感器对测量介质比较敏感,不同测量介质,比如水会对产品的容量造成很大影响。
技术实现思路
本技术的目的在于,提供一种抗介质敏感的陶瓷电容压力传感器,其能确保陶瓷电容压力传感器工作于不同介质时容量值的稳定,提高其产品的可靠性。为实现上述目的,本技术采用的技术方案在于,一种抗介质敏感的陶瓷电容压力传感器,包括弹性薄基板和厚基板,所述弹性薄基板上设置有薄基板金属电极;所述厚基板上设置有厚基板金属电极、环形金属电极和厚基板电极焊盘;且弹性薄基板和厚基板之间通过封接材料封装在一起;所述薄基板金属电极的图形面积至少覆盖厚基板金属电极和厚基板金属电极的图形面积之和。作为优选,所述薄基板金属电极的图形版图设置为整面,即弹性薄基板的整面都设置有薄基板金属电极,弹性薄基板的边缘设置有薄基板定位缺口。作为优选,所述环形金属电极设置在厚基板金属电极的外周,环形金属电极和厚基板金属电极上分别设置有环形金属电极焊盘和厚基板电极焊盘;环形金属电极的外部设置有薄基板电 ...
【技术保护点】
一种抗介质敏感的陶瓷电容压力传感器,包括弹性薄基板(1)和厚基板(3),所述弹性薄基板(1)上设置有薄基板金属电极(6);所述厚基板(3)上设置有厚基板金属电极(9)、环形金属电极(10)和厚基板电极焊盘(11);且弹性薄基板(1)和厚基板(3)之间通过封接材料(2)封装在一起;其特征在于,所述薄基板金属电极(6)的图形面积至少覆盖厚基板金属电极(9)和厚基板电极焊盘(11)的图形面积之和。
【技术特征摘要】
1.一种抗介质敏感的陶瓷电容压力传感器,包括弹性薄基板(1)和厚基板(3),所述弹性薄基板(1)上设置有薄基板金属电极(6);所述厚基板(3)上设置有厚基板金属电极(9)、环形金属电极(10)和厚基板电极焊盘(11);且弹性薄基板(1)和厚基板(3)之间通过封接材料(2)封装在一起;其特征在于,所述薄基板金属电极(6)的图形面积至少覆盖厚基板金属电极(9)和厚基板电极焊盘(11)的图形面积之和。2.根据权利要求1所述的抗介质敏感的陶瓷电容压力传感器,其特征在于,所述薄基板金属电极(6)的图形版图设置为整面,即弹性薄基板(1)的整面都设置有薄基板金属电极(6),弹性薄基板(1)的边缘设置有薄基板定位缺口(7)。3.根据权利要求2所述的抗介质敏感的陶瓷电容压力传感器,其特征在于,所述环形金属电极(10)设置在厚基板金属电极(9)的外周,环形金属电极(10)...
【专利技术属性】
技术研发人员:廖景昌,赵兴奎,
申请(专利权)人:襄阳臻芯传感科技有限公司,
类型:新型
国别省市:湖北,42
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