电感双端固支梁无线无源应力传感器制造技术

一种电感双端固支梁无线无源应力传感器，包括衬底、绝缘介质层、电感结构、锚区结构、电感双端固支梁结构；所述绝缘介质层设置在所述衬底表面；所述电感结构和所述锚区结构设置在所述绝缘介质层表面；所述电感双端固支梁结构的两端与所述锚区结构形成固定连接；所述电感双端固支梁和所述电感结构构成LC谐振回路。本发明专利技术的无线无源的LC谐振回路为片上集成结构，具有体积小、功耗低和可批量生产的优点；本发明专利技术利用电感双端固支梁的形变来改变LC谐振回路的谐振频率，传感器的灵敏度高、结构简单且易于加工；本发明专利技术无需引线和电池供电，能在高温环境、密闭环境或旋转环境等恶劣环境进行应力测量。

A wireless passive stress sensor with a double end solid supported beam

An inductive double clamped beam wireless passive stress sensor includes a substrate, an insulating medium layer, inductor structure, anchor structure, inductance of two end fixed beam structure; the dielectric layer is disposed on the substrate surface; the inductance structure and the anchor structure setting of insulating layer on the surface the; the inductance of two end fixed beam structure with both ends of the anchor structure to form a fixed connection; the inductance of the double clamped beam and the inductance structure of LC resonant circuit. LC resonant circuit of the invention for wireless passive on-chip integrated structure, has the advantages of small volume, low power consumption and production; the resonant frequency of the invention uses LC to change the resonant inductance of double clamped beams deformation, the sensor has the advantages of high sensitivity, simple structure and easy to process; the invention does not need lead and battery power, can carry out stress measurement in high temperature environment, closed environment or rotating environment environment.

【技术实现步骤摘要】
电感双端固支梁无线无源应力传感器
本专利技术涉及一种电感双端固支梁无线无源应力传感器技术，属于微电子

技术介绍
人们在生产和生活中会接触或使用到各种各样的支撑结构，包括桥梁、高楼、大坝等大型的工程结构，以及支架、骨骼等小型结构。这些支撑结构的共同特点就是要承受一定的重力或压力。在长期的承重条件下，支撑结构会逐渐产生应力和应变，最终可能导致支撑结构的断裂，使人们的财产甚至生命遭受损失。因此，对于这些支撑结构的应力等参数的监测就显得十分必要。纵观应力传感器的发展历程，应力传感器朝着智能化的集成式应力传感器方向发展，从有线的应力传感器向着无线的应力传感器方向发展。半导体集成电路工艺和MEMS(微机电系统)技术的发展和进步，大大促进了应力传感器的发展。多种不同原理和结构的微型应力传感器被专利技术出来。较为常见的应力传感器结构有电阻应变片、压阻式、压电式和变容式等。传统的应力监测方法是将有线的或含有电池的传感器贴在待测结构表面进行监测。有线的传感器可以埋入到某些待测结构内部，但传感器的引线给埋入带来了麻烦并且限制了它们的应用范围。无线有源的应力传感器一般采用射频收发电路进行数据传输，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电感双端固支梁无线无源应力传感器，其特征在于该应力传感器包括衬底(1)、绝缘介质层(2)、电感结构(3)、锚区结构(4)、电感双端固支梁结构(5)；所述绝缘介质层(2)设置在所述衬底(1)上表面；所述电感结构(3)和所述锚区结构(4)并排设置在所述绝缘介质层(2)上表面；所述电感双端固支梁结构(5)的两端与所述锚区结构(4)上端形成固定连接；所述电感双端固支梁(5)和所述电感结构(3)构成LC谐振回路。

【技术特征摘要】
1.一种电感双端固支梁无线无源应力传感器，其特征在于该应力传感器包括衬底(1)、绝缘介质层(2)、电感结构(3)、锚区结构(4)、电感双端固支梁结构(5)；所述绝缘介质层(2)设置在所述衬底(1)上表面；所述电感结构(3)和所述锚区结构(4)并排设置在所述绝缘介质层(2)上表面；所述电感双端固支梁结构(5)的两端与所述锚区结构(4)上端形成固定连接；所述电感双端固支梁(5)和所述电感结构(3)构成LC谐振回路。2.根据权利要求1所述的电感双端固支梁无线无源应力传感器，其特征在于：所述电感双端...

【专利技术属性】
技术研发人员：王立峰，黄庆安，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32