下载电感双端固支梁无线无源应力传感器的技术资料

文档序号:17440657

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种电感双端固支梁无线无源应力传感器,包括衬底、绝缘介质层、电感结构、锚区结构、电感双端固支梁结构;所述绝缘介质层设置在所述衬底表面;所述电感结构和所述锚区结构设置在所述绝缘介质层表面;所述电感双端固支梁结构的两端与所述锚区结构形成固定连接...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。