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电感双端固支梁无线无源应力传感器制造技术
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文档序号:17440657
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一种电感双端固支梁无线无源应力传感器,包括衬底、绝缘介质层、电感结构、锚区结构、电感双端固支梁结构;所述绝缘介质层设置在所述衬底表面;所述电感结构和所述锚区结构设置在所述绝缘介质层表面;所述电感双端固支梁结构的两端与所述锚区结构形成固定连接...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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