晶体生长炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种以定向凝固法为原理制备晶体的晶体生长炉，其主要组成部分为炉体、抽放气系统、加热器、升降旋转机构、保温隔热系统、热交换系统、坩埚支架。该生长炉将布里奇曼法与热交换法相结合，具体为：晶体生长时的温差由坩埚与加热体之间的相对移动、坩埚底部的热交换台及循环氩气提供。本实用新型专利技术的特点在于，增设了旋转机构，使得晶体生长时，加热器及保温隔热系统缓慢上移的同时绕轴线匀速转动。这样即便加热体设计不太合理或局部故障时也可保证热场均匀。

Crystal growth furnace

The utility model discloses a crystal growing furnace, which is based on the principle of directional solidification. The main components are the furnace body, the exhaust gas system, the heater, the lifting and rotating mechanism, the thermal insulation system, the heat exchange system and the crucible support. The growth furnace combines the Bridgman method with the heat exchange method. The specific temperature difference between the crucible and the heating body, the heat exchanger at the bottom of the crucible and the circulating argon are combined. The utility model is characterized in that a rotating mechanism is added to make the heater and heat preservation and insulation system move slowly along the axis at the same time when the crystal is growing. In this way, even if the design of the heating body is not reasonable or local fault, the heat field can be guaranteed even.

【技术实现步骤摘要】
晶体生长炉
本技术涉及一种晶体生长炉，适用于晶体生长领域。
技术介绍
晶体生长方法及设备对制备出晶体的品质有至关重要的影响。常见的晶体生长方法有布里奇曼法、区域熔炼法、提拉法、热交换法、浇铸法等。当前实现大规模工业化生产的晶体主要为单晶硅、多晶硅，多晶硅铸锭炉的优化主要集中在铸锭炉尺寸的扩大及热场的优化设计，而当前热场的优化设计主要是从加热器形状、布置位置及保温隔热笼的优化设计等角度出发。
技术实现思路
本技术提供一种晶体生长炉，主要组成部分为炉体、抽放气系统、加热器、升降旋转机构、保温隔热系统、热交换系统、坩埚支架。该生长炉将布里奇曼法与热交换法相结合，具体为：晶体生长时的温差由坩埚与加热体之间的相对移动、坩埚底部的热交换台及循环氩气提供。与当前热场的优化设计主要是从加热器形状、布置位置及保温隔热笼的优化设计等角度出发相比，本技术的特点在于，增设了旋转机构，使得晶体生长时，加热器及保温隔热系统缓慢上移的同时绕轴线匀速转动。这样即便加热体设计不太合理或局部故障时也可保证热场均匀。说明书附图图1是本技术晶体生长炉的结构图。图中标记为炉体（1）、旋转升降机构（2）、下托保温板（3）、保温罩（本文档来自技高网...

【技术保护点】
晶体生长炉，主要组成部分为炉体、抽放气系统、加热器、升降旋转机构、保温隔热系统、热交换系统、坩埚支架；各部分的具体关系为炉体（1）中轴线上设旋转升降机构（2），旋转升降机构一端与保温隔热系统相连接，保温隔热系统由内置于炉体（1）的下托保温板（3）与保温罩（4）组成；旋转升降机构（2）设置为中空，内设进气管（5），进气管（5）与抽气口（6）共同组成抽放气系统，其中，抽气口（6）设于炉体（1）上，进气管（5）一端连接到坩埚盖板（7）；坩埚盖板（7）、坩埚护板（8）、石墨底板（9）共同组成坩埚支架，坩埚（10）放于坩埚支架中，且坩埚（10）与坩锅支架侧壁中间设有碳毡（11）；坩埚之间中的石墨底板（9...

【技术特征摘要】
1.晶体生长炉，主要组成部分为炉体、抽放气系统、加热器、升降旋转机构、保温隔热系统、热交换系统、坩埚支架；各部分的具体关系为炉体（1）中轴线上设旋转升降机构（2），旋转升降机构一端与保温隔热系统相连接，保温隔热系统由内置于炉体（1）的下托保温板（3）与保温罩（4）组成；旋转升降机构（2）设置为中空，内设进气管（5），进气管（5）与抽气口（6）共同组成抽放气系统，其中，抽气口（6）设于炉体（1）上，进气管（5）一端连接到坩埚盖板（7）；坩埚盖板（7）、坩埚护板（8）、石墨底板（9）共同组成坩埚支架，坩埚（10）放于坩埚支架中，且坩埚（10）与坩锅支架侧壁中间设有碳毡（11）...

【专利技术属性】
技术研发人员：付亚杰，刘久明，吴诚，
申请(专利权)人：河北高富氮化硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13