稀土金属旋转靶材的制造方法技术

本发明专利技术公开了一种稀土金属旋转靶材的制造方法，包括：利用氢化脱氢法‑破碎法制备平均粒径D50为40～70μm的稀土金属金属粉料；将稀土金属金属粉料装入真空热压烧结炉的石墨模具中，在真空环境或氩气保护气氛下，热压成型得到稀土金属靶材毛坯，热压温度900～1130℃，成型压力19～30MPa，保温保压1～2小时；对稀土金属靶材毛坯进行机加工，焊接铜或不锈钢背靶后得到稀土金属旋转靶材。本发明专利技术可以大幅提高稀土金属在钕铁硼镀膜渗Dy、Dy/Tb或者Tb工艺中的利用率，降低生产成本，提高钕铁硼矫顽力。

【技术实现步骤摘要】
稀土金属旋转靶材的制造方法
本专利技术涉及一种靶材的制造方法，具体说，涉及一种稀土金属旋转靶材的制造方法。
技术介绍
现代科学技术与信息产业正向集成化、轻量化、智能化方向发展，新能源和节能环保等行业对NdFeB永磁材料的性能需求越来越高。为了提高NdFeB永磁材料的矫顽力和高温使用性，通常使用的方法是采用重稀土元素Dy、Dy/Tb、Tb取代磁体Nd2Fe14B中的Nd，提高NdFeB磁体矫顽力。但Dy、Dy/Tb、Tb这些重稀土元素资源稀缺且价格昂贵。目前，降低重稀土使用量的方法主要包括双合金工艺和晶界扩散重稀土元素工艺。双合金工艺是分别熔炼主合金和包含重稀土元素的辅合金，破碎制粉，将主合金细粉和辅合金粉按配比混合，取向压制，烧结，该工艺中重稀土元素使用量仍较高。晶界扩散重稀土元素工艺是通过浸泡涂覆、热喷涂、溅射和沉积等方式在钕铁硼表面形成重稀土元素覆盖层，经高温晶界扩散将重稀土元素扩散至磁体内部以达到提高磁体矫顽力、少量使用重稀土的目的。
技术实现思路
本专利技术所解决的技术问题是提供一种稀土金属旋转靶材的制造方法，可以大幅提高稀土金属在钕铁硼镀膜渗Dy、Dy/Tb或者Tb工艺中的利用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种稀土金属旋转靶材的制造方法，包括：利用氢化脱氢法‑破碎法制备平均粒径D50为40～70μm的稀土金属金属粉料；将稀土金属金属粉料装入真空热压烧结炉的石墨模具中，在真空环境或氩气保护气氛下，热压成型得到稀土金属靶材毛坯，热压温度900～1130℃，成型压力19～30MPa，保温保压1～2小时；对稀土金属靶材毛坯进行机加工，焊接铜或不锈钢背靶后得到稀土金属旋转靶材。

【技术特征摘要】
1.一种稀土金属旋转靶材的制造方法，包括：利用氢化脱氢法-破碎法制备平均粒径D50为40～70μm的稀土金属金属粉料；将稀土金属金属粉料装入真空热压烧结炉的石墨模具中，在真空环境或氩气保护气氛下，热压成型得到稀土金属靶材毛坯，热压温度900～1130℃，成型压力19～30MPa，保温保压1～2小时；对稀土金属靶材毛坯进行机加工，...

【专利技术属性】
技术研发人员：李慧，李静雅，刘树峰，鲁飞，刘小鱼，孙良成，娄树普，温永清，王誉，
申请(专利权)人：包头稀土研究院，瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司，
类型：发明
国别省市：内蒙古,15