微型流体控制装置制造方法及图纸

一种微型流体控制装置，包含压电致动器及壳体，压电致动器具有悬浮板、外框、支架以及压电陶瓷板，悬浮板为正方形型态，具有第一及第二表面，且第二表面上具有凸部，外框环绕设置于悬浮板之外，亦具有第一及第二表面，外框的第二表面与悬浮板的第二表面的凸部之外的区域均为共平面；壳体包括集气板及底座，集气板为具有容置空间的框体结构，底座由进气板及共振片接合而成，并设置于容置空间中，以封闭压电致动器；其中，压电致动器的外框的第二表面与底座的共振片之间设置一胶层，以使压电致动器与共振片之间维持需求的压缩腔室的深度。

Micro fluid control device

【技术实现步骤摘要】
微型流体控制装置
本专利技术关于一种微型流体控制装置，尤指一种适用于微型超薄且静音的微型流体控制装置。
技术介绍
目前于各领域中无论是医药、计算机科技、打印、能源等工业，产品均朝精致化及微小化方向发展，其中微型泵、喷雾器、喷墨头、工业打印装置等产品所包含的流体输送结构为其关键技术，因此，如何藉创新结构突破其技术瓶颈，为发展的重要内容。举例来说，在医药产业中，许多需要采用气压动力驱动的仪器或设备，通常采以传统马达及气压阀来达成其气体输送的目的。然而，受限于此等传统马达以及气体阀的体积限制，使得此类的仪器设备难以缩小其整体装置的体积，即难以实现薄型化的目标，更无法使之达成可携式的目的。此外，这些传统马达及气体阀于作动时亦会产生噪音的问题，导致使用上的不便利及不舒适。如图6所示，其为习知微型流体控制装置的剖面放大结构示意图。习知的该微型流体控制装置1’具有集气板11’、压电致动器12’、胶层13’及底座14’等依序堆栈组装而成，其中底座14’包含一进气板141’及一共振片142’，该进气板141’具有一进气孔143’，其对应连通于一总线孔144’，以构成一汇流腔室145’，而该共振片142本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微型流体控制装置，包含：一压电致动器，具有一悬浮板、一外框、至少一支架以及一压电陶瓷板，该悬浮板为正方形型态，且具有一第一表面及相对应的一第二表面，且该第二表面上具有一凸部，该外框环绕设置于该悬浮板的外侧，且亦具有一第一表面及相对应的一第二表面，且该外框的该第二表面与该悬浮板的该第二表面的该凸部之外的区域均为共平面，该至少一支架连接于该悬浮板与该外框之间，该压电陶瓷板具有不大于该悬浮板边长的边长，贴附于该悬浮板的该第一表面上；以及一壳体，包括一集气板及一底座，该集气板为周缘具有一侧壁以构成一容置空间的一框体结构，使该压电致动器设置于该容置空间中，而该底座由一进气板及一共振片相接合而成，并结...

【技术特征摘要】
1.一种微型流体控制装置，包含：一压电致动器，具有一悬浮板、一外框、至少一支架以及一压电陶瓷板，该悬浮板为正方形型态，且具有一第一表面及相对应的一第二表面，且该第二表面上具有一凸部，该外框环绕设置于该悬浮板的外侧，且亦具有一第一表面及相对应的一第二表面，且该外框的该第二表面与该悬浮板的该第二表面的该凸部之外的区域均为共平面，该至少一支架连接于该悬浮板与该外框之间，该压电陶瓷板具有不大于该悬浮板边长的边长，贴附于该悬浮板的该第一表面上；以及一壳体，包括一集气板及一底座，该集气板为周缘具有一侧壁以构成一容置空间的一框体结构，使该压电致动器设置于该容置空间中，而该底座由一进气板及一共振片相接合而成，并结合于该集气板的该容置空间中，以封闭该压电致动器，该进气板具有至少一进气孔及与之相连通的至少一总线孔，以构成一汇流腔室，该共振片设置固定于该进气板上，并具有一中空孔洞，相对于该进气板的该汇流腔室，且对应于该悬浮板的该凸部；其中，该压电致动器的外框的该第二表面与该底座的该共振片之间设置一胶层，以使该压电致动器与该底座的该共振片之间维持构成需求的该压缩腔室的一深度。2.如权利要求1所述的微型流体控制装置，其特征在于，该胶层的厚度是介于50至60μm之间。3.如权利要求2所述的微型流体控制装置，其特征在于，该胶层的厚度为55μm。4.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩永隆，黄启峰，陈世昌，廖家淯，廖鸿信，黄哲威，陈寿宏，
申请(专利权)人：研能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71