下载微型流体控制装置的技术资料

文档序号:17462095

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一种微型流体控制装置,包含压电致动器及壳体,压电致动器具有悬浮板、外框、支架以及压电陶瓷板,悬浮板为正方形型态,具有第一及第二表面,且第二表面上具有凸部,外框环绕设置于悬浮板之外,亦具有第一及第二表面,外框的第二表面与悬浮板的第二表面的凸部...
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