超纯水制备系统技术方案

本发明专利技术公开了一种超纯水制备系统，包括原水箱，多介质过滤器，活性炭过滤器，精密过滤器，一级反渗透装置，中间水箱，二级反渗透装置，EDI 电除盐装置，多级树脂柱，囊式过滤器，纯水检测装置和超纯水检测装置，原水经多介质过滤器和活性炭过滤器，去除水中各种悬浮物、微生物以及微细颗粒，然后经两级反渗透，对原水进行精度极高的过滤，最后经EDI 电除盐装置，制备出符合电阻率要求的纯水，纯水检测装置和超纯水检测装置可对不同处理阶段的水质进行检测分析，然后进行不同的处理。本发明专利技术通过设置两级反渗透过滤，多级树脂柱，囊式过滤器，EDI电除盐装置进行多重过滤，有效去除了水中多余离子和可溶性有机物，提高超纯水的质量。

Milli-Q Advantage

\u672c\u53d1\u660e\u516c\u5f00\u4e86\u4e00\u79cd\u8d85\u7eaf\u6c34\u5236\u5907\u7cfb\u7edf\uff0c\u5305\u62ec\u539f\u6c34\u7bb1\uff0c\u591a\u4ecb\u8d28\u8fc7\u6ee4\u5668\uff0c\u6d3b\u6027\u70ad\u8fc7\u6ee4\u5668\uff0c\u7cbe\u5bc6\u8fc7\u6ee4\u5668\uff0c\u4e00\u7ea7\u53cd\u6e17\u900f\u88c5\u7f6e\uff0c\u4e2d\u95f4\u6c34\u7bb1\uff0c\u4e8c\u7ea7\u53cd\u6e17\u900f\u88c5\u7f6e\uff0cEDI\u00a0\u7535\u9664\u76d0\u88c5\u7f6e\uff0c\u591a\u7ea7\u6811\u8102\u67f1\uff0c\u56ca\u5f0f\u8fc7\u6ee4\u5668\uff0c\u7eaf\u6c34\u68c0\u6d4b\u88c5\u7f6e\u548c\u8d85\u7eaf\u6c34\u68c0\u6d4b\u88c5\u7f6e\uff0c\u539f\u6c34\u7ecf\u591a\u4ecb\u8d28\u8fc7\u6ee4\u5668\u548c\u6d3b\u6027\u70ad\u8fc7\u6ee4\u5668\uff0c\u53bb\u9664\u6c34\u4e2d\u5404\u79cd\u60ac\u6d6e\u7269\u3001\u5fae\u751f\u7269\u4ee5\u53ca\u5fae\u7ec6\u9897\u7c92\uff0c\u7136\u540e\u7ecf\u4e24\u7ea7\u53cd\u6e17\u900f\uff0c\u5bf9\u539f\u6c34\u8fdb\u884c\u7cbe\u5ea6\u6781\u9ad8\u7684\u8fc7\u6ee4\uff0c\u6700\u540e\u7ecfEDI\u00a0\u7535\u9664\u76d0\u88c5\u7f6e\uff0c\u5236\u5907\u51fa\u7b26\u5408\u7535\u963b\u7387\u8981\u6c42\u7684\u7eaf\u6c34\uff0c\u7eaf\u6c34\u68c0\u6d4b\u88c5\u7f6e\u548c\u8d85\u7eaf\u6c34\u68c0\u6d4b\u88c5\u7f6e\u53ef\u5bf9\u4e0d\u540c\u5904\u7406\u9636\u6bb5\u7684\u6c34\u8d28\u8fdb\u884c\u68c0\u6d4b\u5206\u6790\uff0c\u7136\u540e\u8fdb\u884c\u4e0d\u540c\u7684\u5904\u7406\u3002 The invention has two levels of reverse osmosis filtration, multi-stage resin column, bag filter and EDI electric desalting device to conduct multiple filtration, effectively removing excess ions and soluble organic matters in water, and improving the quality of ultra pure water.

【技术实现步骤摘要】
超纯水制备系统
本专利技术涉及一种超纯水制备系统，属于水处理设备

技术介绍
超纯水常用于集成电路工业中，用于半导体原材料的清洗，光刻掩膜版的制备，同时超纯水也是实验室中使用最多的物质，在仪器分析，高纯分析及配制化学试剂过程中，所使用的水的纯度非常重要，水中多余离子和可溶性有机物及杂质会对实验分析造成干扰，导致检测结果不准确，无法得到理想的实验结果。目前，大多数的实验室都存在实验用水制取困难且成本高，而传统的制水方法往往无法彻底的去除水中的多余离子，无法完全满足实验用水的需求。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，本专利技术提供一种超纯水制备系统，采用二级反渗透装置，可制备出符合电阻率要求的超纯水。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种超纯水制备系统，包括原水箱，多介质过滤器，活性炭过滤器，精密过滤器，一级反渗透装置，中间水箱，二级反渗透装置，EDI电除盐装置，多级树脂柱，囊式过滤器，纯水检测装置和超纯水检测装置；所述原水箱与多介质过滤器通过原水泵连接；所述多介质过滤器和活性炭过滤器直接通过管道连接；所述活性炭过滤器和精密过滤器直接通过管道连接；所述精密过滤器和一级反渗透装置通过高压泵连接；所述一级反渗透装置和中间水箱直接通过管道连接；所述中间水箱和二级反渗透装置通过二级高压泵连接；所述二级反渗透装置和EDI电除盐装置通过增压泵连接；所述EDI电除盐装置依次连接多级树脂柱和囊式过滤器；所述囊式过滤器的出口与循环阀的一端连接，循环阀的另一端连接EDI电除盐装置的出口管道。前述的活性炭过滤器与精密过滤器之间的管路上设置阻垢剂投加装置。前述的一级反渗透装置和中间水箱之间的管道上设置pH值调节装置。前述的囊式过滤器选用亲水性聚丙烯滤膜。前述的纯水检测装置为纯水取样阀和与之连接的纯水取样槽，纯水取样阀设置在多级树脂柱前的管道上。前述的超纯水检测装置为超纯水取样阀和与之连接的超纯水取样槽，超纯水取样阀设置在囊式过滤器之后的管道上。本专利技术所达到的有益效果：本专利技术采用二级反渗透装置，可制备出符合电阻率要求的超纯水，在管路上设纯水检测装置和超纯水检测装置，可对不同处理阶段的水质进行检测分析，然后进行不同的处理。本专利技术通过设置两级反渗透过滤，多级树脂柱，囊式过滤器，EDI电除盐装置进行多重处理，过滤，有效去除了水中多余离子和可溶性有机物，提高了超纯水的质量。附图说明图1为本专利技术的超纯水制备系统结构图。具体实施方式下面对本专利技术作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本专利技术的技术方案，而不能以此来限制本专利技术的保护范围。如图1所示，本专利技术的超纯水制备系统包括原水箱1，多介质过滤器3，活性炭过滤器4，精密过滤器6，一级反渗透装置8，中间水箱10，二级反渗透装置12，EDI电除盐装置14，多级树脂柱17，囊式过滤器18，纯水检测装置和超纯水检测装置。具体的，自来水进入原水箱1，通过原水泵2压入到多介质过滤器3，利用介质去除水中各种悬浮物、微生物、以及其他微细颗粒，最终降低水浊度，然后再进入活性炭过滤器4，降低水中的余氯含量，去除水中的异味、有机物、胶体以及铁质，粗步过滤后的水进入精密过滤器6，截留大于5μm的颗粒，以防止大颗粒物质进入一级反渗透装置，大颗粒物质经高压泵加速后可能击穿一级反渗透膜，造成大量漏盐的情况，同时划伤高压泵的叶轮。经精密过滤器6后的水在高压泵7的作用下进入一级反渗透装置8，一级反渗透装置8对原水进行精度极高的过滤，脱盐率可达到95%以上，然后进入中间水箱10，再经过二级高压泵11对水继续增压，提供足够动力通过二级反渗透膜装置12，再次对原水进行过滤，进一步提高脱盐率，然后经增压泵13后进入EDI电除盐装置14，在EDI电除盐装置14中根据去离子水用途和系统配置设置，制备出符合电阻率要求的纯水。经EDI电除盐装置后的纯水依次进入多级树脂柱17和囊式过滤器18，多级树脂柱可以进一步去除纯水中的金属离子。囊式过滤器18的出口与循环阀21的一端连接，循环阀21的另一端连接EDI电除盐装置14的出口管道。进一步的，在活性炭过滤器4与精密过滤器6之间的管路上设置阻垢剂投加装置5，阻垢剂可通过阻垢剂投加装置进入到精密过滤器的入口管路中，与入口液体混合后进入精密过滤器中，从而保证在液体进入精密过滤器的滤芯部位前与阻垢剂充分混合，从而可靠的避免难溶性的无机盐成分在精密过滤器的滤芯表面沉淀或者结垢，从而有效的将杂质过滤后阻止在滤芯外面。进一步的，在一级反渗透装置8和中间水箱10之间的管道上设置pH值调节装置9，pH值调节装置用于调节二级反渗透装置进水的pH值，将CO2转化为HCO3-，通过二级反渗透装置去除HCO3-，从而达到降低CO2含量。进一步的，囊式过滤器选用亲水性聚丙烯（PP）滤膜。进一步的，纯水检测装置为纯水取样阀16和与之连接的纯水取样槽15，纯水取样阀16设置在多级树脂柱17前的管道上，打开纯水取样阀，可以对经EDI电除盐后的纯水进行水质检测。进一步的，超纯水检测装置为超纯水取样阀20和与之连接的超纯水取样槽19，超纯水取样阀20设置在囊式过滤器18之后的管道上，打开超纯水取样阀，可以对经多级树脂柱和囊式过滤器处理后的超纯水进行水质检测。以上所述仅是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
超纯水制备系统，其特征在于，包括原水箱，多介质过滤器，活性炭过滤器，精密过滤器，一级反渗透装置，中间水箱，二级反渗透装置， EDI 电除盐装置，多级树脂柱，囊式过滤器，纯水检测装置和超纯水检测装置；所述原水箱与多介质过滤器通过原水泵连接；所述多介质过滤器和活性炭过滤器直接通过管道连接；所述活性炭过滤器和精密过滤器直接通过管道连接；所述精密过滤器和一级反渗透装置通过高压泵连接；所述一级反渗透装置和中间水箱直接通过管道连接；所述中间水箱和二级反渗透装置通过二级高压泵连接；所述二级反渗透装置和EDI 电除盐装置通过增压泵连接；所述EDI 电除盐装置依次连接多级树脂柱和囊式过滤器；所述囊式过滤器的出口与循环阀的一端连接，循环阀的另一端连接EDI 电除盐装置的出口管道。

【技术特征摘要】
1.超纯水制备系统，其特征在于，包括原水箱，多介质过滤器，活性炭过滤器，精密过滤器，一级反渗透装置，中间水箱，二级反渗透装置，EDI电除盐装置，多级树脂柱，囊式过滤器，纯水检测装置和超纯水检测装置；所述原水箱与多介质过滤器通过原水泵连接；所述多介质过滤器和活性炭过滤器直接通过管道连接；所述活性炭过滤器和精密过滤器直接通过管道连接；所述精密过滤器和一级反渗透装置通过高压泵连接；所述一级反渗透装置和中间水箱直接通过管道连接；所述中间水箱和二级反渗透装置通过二级高压泵连接；所述二级反渗透装置和EDI电除盐装置通过增压泵连接；所述EDI电除盐装置依次连接多级树脂柱和囊式过滤器；所述囊式过滤器的出口与循环阀的一端连接，循环阀的另一端连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：张银华，
申请(专利权)人：张银华，
类型：发明
国别省市：江苏,32