一种差压传感器装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种差压传感器装置，其中所述差压传感器装置包括：一差压传感器本体，其具有两个感压面；一差压传感器管座；一差压传感器套管；两个感压膜片，所述感压膜片与所述感压面相连接；和一隔离件，其被设置于所述差压传感器本体内孔操作空间的一支撑部，其中所述感压面通过机械加工形成8个波形槽的纹路结构，同时增加波形槽的深度，使得容纳空间内的导压介质存量增多；所述隔离件具有一插接孔，所述插接孔对应于所述差压传感器管座的限位部，当所述差压传感器管座通过所述隔离件沉入差压传感器本体内孔操作空间时，所述隔离件受所述差压传感器管座压入力而导致形变，以固定所述差压传感器管座于差压传感器本体内孔操作空间，同时密封所述限位部与所述支撑部的连接处缝隙。

A differential pressure sensor device

The utility model discloses a pressure sensor device, wherein the differential pressure sensor device comprises a differential pressure sensor body, which has two pressure sensitive surface; a pressure sensor tube; a differential pressure sensor casing; two sense film, the pressure is connected with the pressure sensing diaphragm and isolation; part, a supporting part which is arranged on the differential pressure sensor body hole operation space, wherein the sense of texture structure surface pressure by machining form 8 waveform groove, while increasing the waveform of the depth of the groove, the accommodation space within the pressure medium stock increased; the isolation piece is provided with an inserting hole and the insertion hole corresponding to the differential pressure sensor tube spacing, when the differential pressure sensor tube through the spacer into the hole space differential pressure sensor body, the spacer By the differential pressure sensor tube pressing force caused by deformation, fixing the differential pressure sensor socket on the differential pressure sensor body hole operation space, the gap between the joint and sealing the limiting part and the supporting part.

【技术实现步骤摘要】
一种差压传感器装置
本技术涉及一种检测工具，尤其涉及一种差压传感器装置。
技术介绍
传感器是一种电子元器件，用来测量液体或气体的压力差值的常用工具，具有体积小、重量轻、精度高、灵敏度高、成本低的特点，已经成为微电子机械系统领域不可或缺的一种电子元件。随着微电子技术的快速发展，目前差压传感器作为检测系统已广泛用于汽车与机车装备、火力发电、医疗卫生、化工、石油冶炼、工业电子、物联网等各行各业，例如，汽车电子领域的用于测量汽车发动机尾气颗粒捕集器(DPF)前后通道的尾气压力差的差压传感器、用于汽车制动主缸气密性能检测的差压传感器、控制负荷差压传感器液压的差压传感器、用于汽车刹车系统的差压传感器、用于气囊压力测量的差压传感器、用于汽车底盘电子控制系统的差压传感器；医疗领域的血压计、胎压计；工业电子领域的数字流量表、数字压力表等，并且随着技术不断进步创新以及经济水平的不断提高，智能差压传感器在微流量测量、泄漏测试、洁净间监测、气体流量测量、液位高低测量等许多高精度测量场合都有着广泛的应用，已成为微电子行业不可或缺的一种电子元器件。目前，主流的差压传感器工作原理是，差压传感器本体设有感压面，通常与感压膜片配合来测量某一设备或部件前后两端的压差。具体地说，通过充油管道向传感器本体内部注入硅油，使得传感器本体内的各个导压孔内充满用于传导压力的硅油，当差压传感器的两侧感压膜片受力不一致时，感压膜片受到外界的压力后产生位移，当感压膜面与感压面之间的距离发生变化时，对差压传感器内部硅油(即导压介质)产生一个作用力，通过硅油进行压力的无损传递，从导压孔分别打压在差压传感器内的芯片(例如德尔森MD芯片)的正反两面，从而导致芯片内部的桥路电阻的阻值发生变化，通过振荡和解调环节，转换成与压力成正比的信号，经过放大等处理变为标准电信号输出，进而得以测量外界压力的变化。在应用差压传感器的感压面时需要考虑比较多的一个问题是其的感压性能，对于差压传感器的灵敏使用尤其要考虑这样的问题，差压传感器感压面是专门按照差压传感器芯片的特性设计的，因此感压面的纹路深度、纹路距离都影响感压面的工作性能。在传统的结构中，差压传感器的感压面外形纹路选五个或六个纹路数量的正弦曲线，但随着微电子技术的快速发展，目前常用的感压面的缺陷也逐渐暴露出来，主要表现为感压性能不够好不能适应更多的应用场合，在某些场合，由于某些限制，表现为由于温飘比较大，差压传感器内的油量平衡也不够好，导致测量数据不够精确。随着应用场合越来越复杂，为了提高差压传感器的灵敏度，简单的增大感压面的厚度或者增加纹路数量都会影响差压传感器内的硅油量平衡，油量的不平衡会导致差压传感器在不同的环境工作温度下，硅油发生膨胀，对芯片的打压力度也会不一样，这样就会造成差压传感器精度的偏差，和差压传感器装置检测的不稳定性。因此，传感器的好坏与传感器内部的油量平衡十分有关，通过研究人员反复的实验测试和实验数据结果来设计和加工感压面来实现差压传感器内的油量平衡，而油量平衡越好，差压传感器的感压性能也越好，从而改善差压传感器装置的测量精度和响应灵敏度。此外，传统的差压传感器装置存在的问题和缺陷限制了其应用范围，随着科学技术的不断发展，对差压传感器装置的需求不断加大，因此，解决现有技术中存在的问题并进一步研究精度更高的差压传感器装置势在必行。本技术针对差压传感器装置传统结构的问题和缺陷，提出针对性的改进，以提高差压传感器装置的测量精度和稳定性。
技术实现思路
本技术的一个目的在于提供一种差压传感器装置，通过对传统差压传感器装置的感压面进行修正，使所述差压传感器具有更好的感压性能，能更好的抵抗外界温度和应力变化对其造成的输出变化，以提高所述差压传感器的灵敏度，扩大所述差压传感器的应用范围。本技术的另一个目的在于提供一种差压传感器装置，通过机械加工在传统感压面上增加波形槽的数量，同时增加波形槽的深度，使得波形槽内的导压介质存量增多，以保证正负压腔内的导压介质体积相等，以提高所述差压传感器内部的导压介质的平衡性，解决传统差压传感器装置感压性能差的问题，以确保所述差压传感器装置测量结果的可靠性。本技术的另一个目的在于提供一种差压传感器装置，通过在所述差压传感器本体内孔的操作空间与所述差压传感器管座的连接处设置一隔离件，来保证所述差压传感器管座固定于所述差压传感器本体内孔操作空间。本技术的另一个目的在于提供一种差压传感器装置，有利于在所述差压传感器管座安装不当时，可拆卸所述差压传感器管座重新安装，进而方便更换使用。本技术的另一个目的在于提供一种差压传感器装置，通过所述隔离件来封闭差压传感器管座与所述差压传感器本体的连接处缝隙，以隔离正负压腔，防止正负压腔内的导压介质相连接，对所述芯片的正常测量产生影响，进而影响所述差压传感器的正常使用。本技术的另一个目的在于提供一种差压传感器装置，通过所述隔离件，以解决传统采取焊接工序时产生能量过高、温度过高的问题，更不用担心传感器装置的散热影响到所述差压传感器芯片的正常使用，以提高良品率。本技术的另一个目的在于提供一种差压传感器装置，通过用所述隔离件使得差压传感器管座沉入差压传感器本体内孔底部的结构操作使步骤简化，能更好的提高安装效率，以提高差压传感器的生产效率。本技术的另一个目的在于提供一种差压传感器装置，减少材料浪费，与常规差压传感器制造工艺流程兼容，应用领域广泛。本技术的另一个目的在于提供一种差压传感器装置，不需要改变传统差压传感器装置即可实现所述隔离件的安装，以形成本技术提供的所述差压传感器，通过这样的方式能够减少所述差压传感器的普及成本，同时有利于所述差压传感器的大规模推广。本技术的另一个目的在于提供一种差压传感器装置，和传统的差压传感器相比，在成本较低的基础上实现了高精度的输出和输出的稳定性，同时不需要增加成本就能批量化制造生产。为了满足本技术的以上目的以及本技术的其他目的及优势，本技术提供一差压传感器装置，包括：一差压传感器本体，其具有两个感压面；一差压传感器管座；两个感压膜片，所述感压膜片与所述感压面相连接；和一隔离件，其被设置于所述差压传感器本体内孔操作空间的一支撑部，所述隔离件具有一插接孔，所述插接孔对应于所述差压传感器管座的限位部，当所述差压传感器管座通过所述隔离件沉入差压传感器本体内孔操作空间时，所述隔离件受所述差压传感器管座压入力而导致形变，以固定所述差压传感器管座于差压传感器本体内孔操作空间，同时密封所述限位部与所述支撑部的连接处缝隙。根据本技术的一个优选的实施例，所述感压膜片与所述感压面相连接并形成一容纳空间，以容纳所述导压介质。优选地，所述差压传感器本体进一步包括两个导压孔，所述容纳空间分别通过连接与一导压孔，使得所述差压传感器具有一正压腔和一负压腔。优选地，所述感压面通过机械加工形成8个波形槽的纹路结构，比传统差压传感器的感压面波形槽在数量上增加了，同时增加了波形槽的深度，使得容纳空间内的导压介质存量增多，以解决传统差压传感器装置感压性能差的问题，以确保差压传感器装置测量结果的可靠性。值得一提地是，由于传感器内的导压介质体积是一定的，导压介质在容纳空间内的量越多，占整个所述传感本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种差压传感器装置，包括：一差压传感器本体，其具有两个感压面；一差压传感器管座；两个感压膜片，所述感压膜片与所述感压面相连接；和一隔离件，其被设置于所述差压传感器本体内孔操作空间的一支撑部，所述隔离件具有一插接孔，所述插接孔对应于所述差压传感器管座的限位部。

【技术特征摘要】
1.一种差压传感器装置，包括：一差压传感器本体，其具有两个感压面；一差压传感器管座；两个感压膜片，所述感压膜片与所述感压面相连接；和一隔离件，其被设置于所述差压传感器本体内孔操作空间的一支撑部，所述隔离件具有一插接孔，所述插接孔对应于所述差压传感器管座的限位部。2.如权利要求1所述的差压传感器装置，其中所述隔离件为弹性元件。3.如权利要求1所述的差压传感器装置，其中所述感压膜片与所述感压面相连接并形成一容纳空间，以容纳导压介质。4.如权利要求3所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：牟恒，王峥，
申请(专利权)人：江苏德尔科测控技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32