一种低散射损耗的高反射薄膜制造技术

本发明专利技术涉及一种低散射损耗的高反射薄膜，包括由下而上依次设置的基板、第一薄膜、第二薄膜和第三薄膜，第一薄膜、第二薄膜和第三薄膜均由高折射率材料膜层H和低折射率材料膜层L交替设置构成，第一薄膜为1/4中心波长光学厚度的标准高反射薄膜结构，第二薄膜和第三薄膜均为全介质法珀腔薄膜结构，第一薄膜与基板接触的一侧为高折射率材料膜层H，第三薄膜与空气接触的一侧为高折射率材料膜层H，第一薄膜、第二薄膜和第三薄膜连接处高折射率材料膜层H和低折射率材料膜层L交替设置。与现有技术相比，本发明专利技术具有有效降低散射、材料选择范围广、制作成本低和易于推广等优点，在超高精度激光测量领域具有广泛的应用前景。

A high reflective thin film with low scattering loss

High reflection film of the present invention relates to a low scattering loss, which comprises a substrate, a first thin film are sequentially arranged from bottom to top, second film and third film, the first film, the second film and third film by the high refractive index material H and low refractive index material L alternately arranged, the first film for optical thickness of 1/4 the center of the standard high reflection film structure, second film and third film are all dielectric Fabry Perot thin film structure, the contact side of the first thin film and the substrate as the high refractive index material H, one side of the third film in contact with the air as the material of high refractive index of H film, the first film, the second film and third film at the junction of high refractive index material H and low refractive index material L arranged alternately. Compared with the existing technology, the invention has the advantages of effective reduction of scattering, wide selection of materials, low cost and easy popularization, and has wide application prospects in the field of ultra high precision laser measurement.

【技术实现步骤摘要】
一种低散射损耗的高反射薄膜
本专利技术属于激光器领域，涉及一种光学薄膜，尤其是涉及一种低散射损耗的高反射薄膜。
技术介绍
超高精度激光测量系统如激光陀螺、引力波探测系统、光腔衰荡光谱测量系统和飞秒“光钟”是基础科学、应用技术和国防领域中重要的前沿激光测试设备。超低损耗激光薄膜是组成超高精度激光测量系统的核心光学元件。薄膜总损耗的高低对超高精度激光测量系统的基本功能、灵敏度和信噪比等因素造成极大的影响。超高精度激光测试系统中使用了多种低损耗薄膜元件，其中高反射薄膜的损耗对系统性能的影响最大，控制高反射薄膜的损耗就成为该系统关键技术之一。如何降低高反射薄膜的损耗一直是低损耗高反射薄膜研究的重点和热点，根据能量守恒定律，高反射薄膜的反射率R可表示为：R＝1-(S+A+T)(1)其中，S为散射损耗，A为吸收损耗，T为透射损耗。当反射膜的反射率高于99.9％，或者总损耗小于1000ppm时，就可以称之为低损耗高反射薄膜。目前通过改善抛光、清洗和镀膜工艺来降低表面粗糙度和减少内部缺陷，已经可以极大地降低散射值。如何在现有加工工艺的基础上，通过对高反射薄膜的优化设计来降低散射值，其优化设计的主要依本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低散射损耗的高反射薄膜，其特征在于，包括由下而上依次设置的基板(1)、第一薄膜(2)、第二薄膜(3)和第三薄膜(4)，所述第一薄膜(2)、第二薄膜(3)和第三薄膜(4)均由高折射率材料膜层H和低折射率材料膜层L交替设置构成，所述第一薄膜(2)为1/4中心波长光学厚度的标准高反射薄膜结构，所述第二薄膜(3)和第三薄膜(4)均为全介质法珀腔薄膜结构，所述第一薄膜(2)与所述基板(1)接触的一侧为高折射率材料膜层H，所述第三薄膜(4)与空气接触的一侧为高折射率材料膜层H，所述第一薄膜(2)、第二薄膜(3)和第三薄膜(4)连接处高折射率材料膜层H和低折射率材料膜层L交替设置。

【技术特征摘要】
1.一种低散射损耗的高反射薄膜，其特征在于，包括由下而上依次设置的基板(1)、第一薄膜(2)、第二薄膜(3)和第三薄膜(4)，所述第一薄膜(2)、第二薄膜(3)和第三薄膜(4)均由高折射率材料膜层H和低折射率材料膜层L交替设置构成，所述第一薄膜(2)为1/4中心波长光学厚度的标准高反射薄膜结构，所述第二薄膜(3)和第三薄膜(4)均为全介质法珀腔薄膜结构，所述第一薄膜(2)与所述基板(1)接触的一侧为高折射率材料膜层H，所述第三薄膜(4)与空气接触的一侧为高折射率材料膜层H，所述第一薄膜(2)、第二薄膜(3)和第三薄膜(4)连接处高折射率材料膜层H和低折射率材料膜层L交替设置。2.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张锦龙，程鑫彬，焦宏飞，吴晗，王占山，
申请(专利权)人：同济大学，
类型：发明
国别省市：上海,31