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一种低散射损耗的高反射薄膜制造技术
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下载一种低散射损耗的高反射薄膜的技术资料
文档序号:17385971
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本发明涉及一种低散射损耗的高反射薄膜,包括由下而上依次设置的基板、第一薄膜、第二薄膜和第三薄膜,第一薄膜、第二薄膜和第三薄膜均由高折射率材料膜层H和低折射率材料膜层L交替设置构成,第一薄膜为1/4中心波长光学厚度的标准高反射薄膜结构,第二薄...
该专利属于同济大学所有,仅供学习研究参考,未经过同济大学授权不得商用。
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