【技术实现步骤摘要】
一种超纯水储存装置
本技术属于超纯水保存
,具体涉及一种超纯水储存装置。
技术介绍
超纯水,又称UP水,是在25℃下电阻率达到18MΩ*cm的水,常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外,其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。超纯水处理,是一般工艺很难达到的程度,采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤,多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法,但是也由于超纯水的洁净度,因此很容易受到污染,尤其是在超纯水从存储装置输出时极易与空气接触而被污染。专利一种纯水机储水装置(公告号:CN201737718U)公开了一种纯水机储水装置,包括纯水制造机(4),以及与纯水制造机(4)底部相连的储水罐(1),所述储水罐(1)内设置有用来控制水位电磁阀(5),电磁阀(5)的停水高度950L,储水罐(1)还与另外两个储水罐(2)、储水罐(3)底部相连。储水罐(1)与另外两个储水罐(2)、储水罐(3)底部设置有接口,接口之间通过水管(6 ...
【技术保护点】
一种超纯水储存装置,包括箱体,其特征在于,所述箱体内设有隔层,所述隔层将所述箱体由上至下分为存水箱和输水箱,所述输水箱内设有U形管,所述U形管的两个开口端分别通过所述隔层与所述存水箱相通,所述U形管的底端上连接有输水管,所述输水管依次通过所述隔层和所述存水箱延伸至所述箱体外。
【技术特征摘要】
1.一种超纯水储存装置,包括箱体,其特征在于,所述箱体内设有隔层,所述隔层将所述箱体由上至下分为存水箱和输水箱,所述输水箱内设有U形管,所述U形管的两个开口端分别通过所述隔层与所述存水箱相通,所述U形管的底端上连接有输水管,所述输水管依次通过所述隔层和所述存水箱延伸至所述箱体外。2.根据权利要求1所述的一种超纯水储存装置,其特征在于,所述输水管的管径大于所述U形管的管径。3.根据权利要求1所述的一种超纯水储存装置,其特征在于,所述存水箱上设有进水口,所述进水口包括进水头和与所述存水...
【专利技术属性】
技术研发人员:龚政,叶新建,唐肖雷,
申请(专利权)人:江苏解码生物医药科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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