驱动物体运动的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种驱动物体运动的装置，包括：至少一个弹性结构、定子、动子；所述弹性结构部分固定于定子上；所述定子上有至少一个电极，所述电极施加静电力于弹性结构，通过控制电极施加的电压极性和时间，静电力在弹性结构进行往复运动时，在一定时间区间内，所做的正功大于负功，静电力所做的功积累为弹性结构的弹性势能和动能，弹性结构的顶部接触动子，将弹性结构的部分弹性势能和动能转换为驱动动子运动的能量，驱动动子向某一方向运动。

A device that drives the motion of an object

The utility model provides a device driver object includes at least one elastic structure, stator and rotor; the elastic structure part is fixed on the stator; at least one electrode of the stator, the electrode applied static electricity on the elastic structure, by controlling the electric voltage applied polarity and time, static electricity reciprocating motion in the elastic structure, in a certain time interval, positive work done is greater than the negative power, the static power of the work done by the accumulation of elastic potential energy and kinetic energy of elastic structure, top elastic structure dynamic contact, elastic structure part of the elastic potential energy and kinetic energy converted to drive the rotor motion energy, drive rotor to a certain direction of motion.

【技术实现步骤摘要】
驱动物体运动的装置
本技术涉及半导体领域，尤其是涉及半导体领域中一种驱动物体运动的装置。
技术介绍
半导体是现代工业的基础，随着信息化、数字化时代的来临，电子产品的普及率已经达到了很高的水平，作为电子产品的基本元器件，半导体起到了举足轻重的地位。在半导体器件进行工作中，有一定的功能需要控制驱动半导体器件进行朝一方向运动，现有技术中往往采用电磁控制或者MEMS的方式控制，在控制精度方面有待提高，此外现有的驱动控制方式需要较大的机械装置，这与电子集成度需求更高的发展方向是不一致的，因此，在半导体领域如何提供一种驱动物体运动的装置为业内的需求之一。
技术实现思路
本技术解决的问题是提供一种驱动物体运动的装置，包括：至少一个弹性结构、定子、动子；所述弹性结构部分固定于定子上，所述定子、动子均能向所述弹性结构提供静电力；施加静电力于弹性结构上，在一定时间内，静电力向所述弹性结构做功，所述弹性结构积累机械能；通过控制定子、动子向该弹性结构施加的静电力的大小、方向、时间，弹性结构的部分机械能转换为驱动动子向指定方向运动的能量；同时，动子的部分静电力通过弹性结构转换为驱动动子向指定方向运动的力。可选的，还包本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种驱动物体运动的装置，其特征在于，包括：至少一个弹性结构、定子、动子；所述弹性结构部分固定于定子上，所述定子、动子均能向所述弹性结构提供静电力，弹性结构为两段梁结构，两段梁结构包括：位于底部区域的支点，中部区域的触点和顶部区域的顶点；所述定子上设置有：至少两个独立的第一电极、第二电极；所述第一电极、第二电极分时分别吸放或释放两段梁结构；施加静电力于弹性结构上，在一定时间内，静电力向所述弹性结构做功，所述弹性结构积累机械能；通过控制定子、动子向该弹性结构施加的静电力的大小、方向、时间，弹性结构的部分机械能转换为驱动动子向指定方向运动的能量；同时，动子的部分静电力通过弹性结构转换为驱动动子向指定...

【技术特征摘要】
1.一种驱动物体运动的装置，其特征在于，包括：至少一个弹性结构、定子、动子；所述弹性结构部分固定于定子上，所述定子、动子均能向所述弹性结构提供静电力，弹性结构为两段梁结构，两段梁结构包括：位于底部区域的支点，中部区域的触点和顶部区域的顶点；所述定子上设置有：至少两个独立的第一电极、第二电极；所述第一电极、第二电极分时分别吸放或释放两段梁结构；施加静电力于弹性结构上，在一定时间内，静电力向所述弹性结构做功，所述弹性结构积累机械能；通过控制定子、动子向该弹性结构施加的静电力的大小、方向、时间，弹性结构的部分机械能转换为驱动动子向指定方向运动的能量；同时，动子的部分静电力通过弹性结构转换为驱动动子向指定方向运动的力。2.根据权利要求1所述的驱动物体运动的装置，其特征在于，还包括限位结构，通过限位结构的相位控制，以限位定子和动子保持距离。3.根据权利要求1所述的驱动物体运动的装置，其特征在于，设置多组各个方向的弹性结构进行驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵立新，
申请(专利权)人：格科微电子上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31