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本实用新型提供一种驱动物体运动的装置,包括:至少一个弹性结构、定子、动子;所述弹性结构部分固定于定子上;所述定子上有至少一个电极,所述电极施加静电力于弹性结构,通过控制电极施加的电压极性和时间,静电力在弹性结构进行往复运动时,在一定时间区间...该专利属于格科微电子(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过格科微电子(上海)有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种驱动物体运动的装置,包括:至少一个弹性结构、定子、动子;所述弹性结构部分固定于定子上;所述定子上有至少一个电极,所述电极施加静电力于弹性结构,通过控制电极施加的电压极性和时间,静电力在弹性结构进行往复运动时,在一定时间区间...