驱动物体运动的方法技术

本发明专利技术提供一种驱动物体运动的方法，提供至少一个弹性结构、定子、动子；所述弹性结构部分固定于定子上，所述定子、动子均能向所述弹性结构提供静电力；施加静电力于弹性结构上，在一定时间内，静电力向所述弹性结构做功，所述弹性结构积累机械能；通过控制定子、动子向该弹性结构施加的静电力的大小、方向、时间，弹性结构的部分机械能转换为驱动动子向指定方向运动的能量；同时，动子的部分静电力通过弹性结构转换为驱动动子向指定方向运动的力。

【技术实现步骤摘要】
驱动物体运动的方法
本专利技术涉及半导体领域，尤其是涉及半导体领域中一种驱动物体运动的方法。
技术介绍
半导体是现代工业的基础，随着信息化、数字化时代的来临，电子产品的普及率已经达到了很高的水平，作为电子产品的基本元器件，半导体起到了举足轻重的地位。在半导体器件进行工作中，有一定的功能需要控制驱动半导体器件进行朝一方向运动，现有技术中往往采用电磁控制或者MEMS的方式控制，在控制精度方面有待提高，此外现有的驱动控制方式需要较大的机械装置，这与电子集成度需求更高的发展方向是不一致的，因此，在半导体领域如何提供一种驱动物体运动的方法为业内的需求之一。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是提供一种驱动物体运动的方法，提供至少一个弹性结构、定子、动子；所述弹性结构部分固定于定子上，所述定子、动子均能向所述弹性结构提供静电力；施加静电力于弹性结构上，在一定时间内，静电力向所述弹性结构做功，所述弹性结构积累机械能；通过控制定子、动子向该弹性结构施加的静电力的大小、方向、时间，弹性结构的部分机械能转换为驱动动子向指定方向运动的能量；同时，动子的部分静电力通过弹性结构转换为驱动动子向指定方向运动的力。可本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种驱动物体运动的方法，其特征在于：提供至少一个弹性结构、定子、动子；所述弹性结构部分固定于定子上，所述定子、动子均能向所述弹性结构提供静电力；施加静电力于弹性结构上，在一定时间内，静电力向所述弹性结构做功，所述弹性结构积累机械能；通过控制定子、动子向该弹性结构施加的静电力的大小、方向、时间，弹性结构的部分机械能转换为驱动动子向指定方向运动的能量；同时，动子的部分静电力通过弹性结构转换为驱动动子向指定方向运动的力。

【技术特征摘要】
2017.02.28 CN 20171011225461.一种驱动物体运动的方法，其特征在于：提供至少一个弹性结构、定子、动子；所述弹性结构部分固定于定子上，所述定子、动子均能向所述弹性结构提供静电力；施加静电力于弹性结构上，在一定时间内，静电力向所述弹性结构做功，所述弹性结构积累机械能；通过控制定子、动子向该弹性结构施加的静电力的大小、方向、时间，弹性结构的部分机械能转换为驱动动子向指定方向运动的能量；同时，动子的部分静电力通过弹性结构转换为驱动动子向指定方向运动的力。2.根据权利要求1所述的驱动物体运动的方法，其特征在于，提供所述动子向定子方向的对弹性结构的压力，通过所述压力保证动子与定子的位置稳定；所述压力由外部系统提供、或定子动子之间的静电吸引装置提供、或所述动子和弹性结构的静电吸引提供。3.根据权利要求1所述的驱动物体运动的方法，其特征在于，所述弹性结构的顶部区域接触动子后，动子的部分静电力或弹性结构的部分机械能致使弹性结构发生形变，弹性结构于指定方向的长度增加。4.根据权利要求1所述的驱动物体运动的方法，其特征在于，提供限位结构，通过限位结构以限位定子和动子的相对距离。5.根据权利要求1所述的驱动物体运动的方法，其特征在于，设置多组多个方向的弹性结构进行驱动，以驱动动子沿水平多个方向运动。6.根据权利要求1所述的驱动物体运动的方法，其特征在于，启动时，动子吸引弹性结构发生上下振动，释放弹性结构使其靠近定子；定子控制多个弹性结构，使不参与驱动工作的一部分弹性结构吸引至定子，减小这一部分的弹性结构与动子之间的摩擦力；使参与驱动工作的另一部分弹性结构在定子、动子的轮转吸引作用下驱动动子运动。7.根据权利要求6所述的驱动物体运动的方法，其特征在于，定子释放弹性结构，动子吸引弹性结构的顶部区域，使更多的顶部区域靠近并接触动...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵立新，
申请(专利权)人：格科微电子上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31