一种用于多片超导薄膜热处理的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于多片超导薄膜热处理的装置，包括炉体；与炉体电性连接的工作台；安装在工作台上的流量表；设置在流量表一端的温控表；垂直安装在炉体中央位置的出气盘；与出气盘一端连接的进气管；依次与进气管连接的气体流量阀和加湿装置；在炉体的两端开口处均设置有密封法兰；导向杆和导向槽；驱动电机；与驱动电机输出轴连接的万向轴和石英管；在石英管的一端连接有装样夹具；安装在密封法兰上的磁流体密封装置；安装在炉体外侧壁上的自动加湿装置和自动换气装置。本发明专利技术烧制薄膜的基片夹具为同时烧制多片的夹具，不仅降低了成本消耗，而且能够实现高温超导薄膜的产业化生产，提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于多片超导薄膜热处理的装置
本专利技术涉及超导薄膜热处理
，更具体的说是涉及一种用于多片超导薄膜热处理的装置。
技术介绍
高质量大面积超导薄膜是微波电子器件领域必不可少的基础原材料。高温超导薄膜材料具有极低的微波表面电阻，其微波表面电阻比普通金属低两个数量级以上，因此应用超导材料制作的微波超导器件具有极低损耗和极低噪声的优良特性。90年代初期，美国、日本、英国、德国、俄罗斯等国投入巨资，进行了高温超导薄膜材料的研究开发。主要采用磁控溅射、激光蒸发和共(热)蒸发等真空方法制备，设备投资规模大、运行维护成本高，加上进口所需的各种费用，使得产品价格较昂贵，更重要的是交货期无法保证，加之以语言上的障碍和地理上的距离所导致的交流不便都严重削弱了国外厂家的市场竞争力。因此，寻找低成本高质量的薄膜制备技术对大面积高温超导薄膜的大规模应用开发和打破垄断具有重要的现实意义。目前的超导薄膜热处理装置多数只能一次性烧制1～3片大面积超导膜，为了进一步降低成本，提高生产效率，对设备进行改造，使其实现一次性多片大面积高温超导薄膜的烧制具有非常重要的现实意义，为此我们提供了一种用于多片超导薄膜热处理的装置。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提供的一种用于多片超导薄膜热处理的装置，不仅降低了成本消耗，而且能够实现高温超导薄膜的产业化生产，提高了工作效率。为了实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：一种用于多片超导薄膜热处理的装置，包括两端开口的炉体；与所述炉体电性连接，并控制所述炉体运作的工作台；安装在所述工作台上的流量表；设置在所述流量表一端的温控表；还包括：垂直安装在所述炉体中央位置的出气盘；与所述出气盘一端连接的进气管；依次与所述进气管连接，并设置在所述炉体外侧壁上的气体流量阀和加湿装置；在所述炉体的两端开口处均设置有密封法兰；所述密封法兰靠近所述炉体的侧壁两端均焊接有两个水平设置的导向杆；设置在所述炉体内部两侧的侧壁上，并与所述导向杆匹配连接的导向槽；所述密封法兰远离所述炉体的一侧侧壁上安装有支架；位于所述支架上的驱动电机；依次与所述驱动电机输出轴连接的万向轴和石英管；所述石英管转动连接在所述炉体的内部，并且在所述石英管的一端连接有装样夹具；位于所述万向轴和所述密封法兰的连接处，并安装在所述密封法兰上的磁流体密封装置；安装在所述炉体外侧壁上的自动换气装置；所述自动换气装置包括安装在所述工作台上的自动换气控制按钮、与所述自动换气控制按钮电性连接的控制电路二、一端延伸进所述炉体内部的氧气浓度探测报警头、依次设置在所述控制电路二上的进风风机和出气通道开关。优选的，在上述一种用于多片超导薄膜热处理的装置中，在所述进气管的另一端连接有氧气发生装置；所述氧气发生装置包括氧气发生器、氧气罐。优选的，在上述一种用于多片超导薄膜热处理的装置中，所述密封法兰上螺纹连接有多个螺钉，所述螺钉的一端螺纹连接在所述炉体上。优选的，在上述一种用于多片超导薄膜热处理的装置中，所述装样夹具为同时烧制8片超导薄膜的夹具。优选的，在上述一种用于多片超导薄膜热处理的装置中，所述密封法兰带动所述导向杆在所述导向槽内滑动，并通过所述螺钉将所述密封法兰固定连接在所述炉体上。优选的，在上述一种用于多片超导薄膜热处理的装置中，所述炉体设置有加热腔；安装在所述加热腔内部的导热装置；均匀盘布在所述加热腔内部的铜管。优选的，在上述一种用于多片超导薄膜热处理的装置中，在所述加热腔的内部安装有与所述温控表电性连接的热电偶。优选的，在上述一种用于多片超导薄膜热处理的装置中，所述出气盘为中空结构，阵列排布在所述出气盘两侧侧壁上的出气孔。优选的，在上述一种用于多片超导薄膜热处理的装置中，由所述出气通道开关控制，并安装在所述炉体上的出气通道；并且所述进风风机安装在所述炉体的侧壁上。优选的，在上述一种用于多片超导薄膜热处理的装置中，安装在所述工作台上的自动加湿控制按钮；所述自动加湿控制按钮与所述加湿装置电性连接。经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本专利技术公开提供了一种用于多片超导薄膜热处理的装置，一方面，温度稳定性可控，输出轴处采用磁流体密封技术，保证了设备的长寿命、高适应性；另外，热处理炉为双侧同时进片，双向侧吹气，自动换气，使得热处理炉温度大范围均匀稳定，保证了薄膜的高性能；另一方面，烧制薄膜的基片夹具为可同时烧制多片的夹具，不仅降低了成本消耗，而且能够实现高温超导薄膜的产业化生产，提高了工作效率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图1附图为本专利技术的结构示意图。图2附图为本专利技术局部的结构示意图。图3附图为本专利技术出气盘的结构示意图。图4附图为本专利技术自动换气装置的结构框架示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术实施例公开了一种用于多片超导薄膜热处理的装置，不仅降低了成本消耗，而且能够实现高温超导薄膜的产业化生产，提高了工作效率，极具市场应用与推广价值。参照附图1～4，本专利技术提供的一种用于多片超导薄膜热处理的装置，具体包括：两端开口的炉体1；与炉体1电性连接，并控制炉体1运作的工作台2；安装在工作台2上的流量表3；设置在流量表3一端的温控表4；还包括：垂直安装在炉体1中央位置的出气盘5；与出气盘5一端连接的进气管6；依次与进气管6连接，并设置在炉体1外侧壁上的气体流量阀7和加湿装置8；在炉体1的两端开口处均设置有密封法兰9；密封法兰9靠近炉体1的侧壁两端均焊接有两个水平设置的导向杆10；设置在炉体1内部两侧的侧壁上，并与导向杆10匹配连接的导向槽11；密封法兰9远离炉体1的一侧侧壁上安装有支架12；位于支架12上的驱动电机13；依次与驱动电机13输出轴连接的万向轴14和石英管15；石英管15转动连接在炉体1的内部，并且在石英管15的一端连接有装样夹具16；位于万向轴14和密封法兰9的连接处，并安装在密封法兰9上的磁流体密封装置17；安装在炉体1外侧壁上的自动换气装置19。为了进一步优化上述技术方案，密封法兰9带动导向杆10在导向槽11内滑动，并通过螺钉将密封法兰9固定连接在炉体1上。为了进一步优化上述技术方案，炉体1设置有加热腔20；安装在加热腔20内部的导热装置；均匀盘布在加热腔20内部的铜管21。为了进一步优化上述技术方案，在加热腔20的内部安装有与温控表4电性连接的热电偶。需要说明的是，通过铜管21对炉体1的加热腔20进行加热，并通过导热装置将热量均匀传递到加热腔20的内部，利用热电偶检测加热腔20内部的温度并将加热腔20内部的温度值实时显示在温控表4上，待升温到55℃，将石英管15以及装样夹具16通过磁流体密封装置17固定放入炉体1内部，通过密封法兰9带动导向杆1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于多片超导薄膜热处理的装置，包括：两端开口的炉体(1)；与所述炉体(1)电性连接，并控制所述炉体(1)运作的工作台(2)；安装在所述工作台(2)上的流量表(3)；设置在所述流量表(3)一端的温控表(4)；其特征在于，还包括：垂直安装在所述炉体(1)中央位置的出气盘(5)；与所述出气盘(5)一端连接的进气管(6)；依次与所述进气管(6)连接，并设置在所述炉体(1)外侧壁上的气体流量阀(7)和加湿装置(8)；在所述炉体(1)的两端开口处均设置有密封法兰(9)；所述密封法兰(9)靠近所述炉体(1)的侧壁两端均焊接有两个水平设置的导向杆(10)；设置在所述炉体(1)内部两侧的侧壁上，并与所述导向杆(10)匹配连接的导向槽(11)；所述密封法兰(9)远离所述炉体(1)的一侧侧壁上安装有支架(12)；位于所述支架(12)上的驱动电机(13)；依次与所述驱动电机(13)输出轴连接的万向轴(14)和石英管(15)；所述石英管(15)转动连接在所述炉体(1)的内部，并且在所述石英管(15)的一端连接有装样夹具(16)；位于所述万向轴(14)和所述密封法兰(9)的连接处，并安装在所述密封法兰(9)上的磁流体密封装置(17)；安装在所述炉体(1)外侧壁上的自动换气装置(19)；所述自动换气装置(19)包括安装在所述工作台(2)上的自动换气控制按钮(191)、与所述自动换气控制按钮(191)电性连接的控制电路二(192)、一端延伸进所述炉体(1)内部的氧气浓度探测报警头(193)、依次设置在所述控制电路二(192)上的进风风机(194)和出气通道开关(195)。...

【技术特征摘要】
1.一种用于多片超导薄膜热处理的装置，包括：两端开口的炉体(1)；与所述炉体(1)电性连接，并控制所述炉体(1)运作的工作台(2)；安装在所述工作台(2)上的流量表(3)；设置在所述流量表(3)一端的温控表(4)；其特征在于，还包括：垂直安装在所述炉体(1)中央位置的出气盘(5)；与所述出气盘(5)一端连接的进气管(6)；依次与所述进气管(6)连接，并设置在所述炉体(1)外侧壁上的气体流量阀(7)和加湿装置(8)；在所述炉体(1)的两端开口处均设置有密封法兰(9)；所述密封法兰(9)靠近所述炉体(1)的侧壁两端均焊接有两个水平设置的导向杆(10)；设置在所述炉体(1)内部两侧的侧壁上，并与所述导向杆(10)匹配连接的导向槽(11)；所述密封法兰(9)远离所述炉体(1)的一侧侧壁上安装有支架(12)；位于所述支架(12)上的驱动电机(13)；依次与所述驱动电机(13)输出轴连接的万向轴(14)和石英管(15)；所述石英管(15)转动连接在所述炉体(1)的内部，并且在所述石英管(15)的一端连接有装样夹具(16)；位于所述万向轴(14)和所述密封法兰(9)的连接处，并安装在所述密封法兰(9)上的磁流体密封装置(17)；安装在所述炉体(1)外侧壁上的自动换气装置(19)；所述自动换气装置(19)包括安装在所述工作台(2)上的自动换气控制按钮(191)、与所述自动换气控制按钮(191)电性连接的控制电路二(192)、一端延伸进所述炉体(1)内部的氧气浓度探测报警头(193)、依次设置在所述控制电路二(192)上的进风风机(194)和出气通道开关(195)。2.根据权利要求1所述的一种用于多片超导薄膜热处理的装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：王三胜，陈伟明，
申请(专利权)人：北京鼎臣世纪超导科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11