A diode module consists of a semiconductor substrate layer, a diode epitaxial layer and an optical waveguide. The semiconductor substrate layer has a surface, which includes an epitaxial layer growth area, an optical waveguide fixed area and an optical fiber access area arranged in sequence. The optical fiber access area is provided with an optical fiber receiving groove, and the extension direction of the optical fiber receiving groove is directed towards the optical waveguide fixed area. The epitaxial layer of the diode is formed in the growth area of the epitaxial layer. The epitaxial layer of the diode includes a semiconductor buffer layer and a PN junction arranged sequentially along the surface, and a multi weight sub well structure layer is formed between the PN junction. The optical waveguide is formed in the fixed area of the optical waveguide, and one side of the optical waveguide is relative to the side of the multi - weight well structure layer. The invention also relates to the making method of the diode module and the optical interconnect device.
【技术实现步骤摘要】
二极管模组本申请是申请号为2013101267744、申请日为2013年04月12日、专利技术创造名称为“二极管模组和其制作方法及光互连装置”的专利的分案申请。
本专利技术涉及光电半导体磊晶及光互连装置,特别涉及一种二极管磊晶模组。
技术介绍
在光通讯装置中,通常包括激光二极管、光电二极管及设置于激光二极管与光电二极管之间用于将激光二极管发出的光线传输至光电极体的光波导和光纤。一般地,激光二极管和光电二极管为分离的结构,使用时,将已经封装的激光二极管和光电二极管与光波导作进一步封装形成模组化的结构,进而形成光互连装置。然而,此种光互连装置经过了多次的模组化封装,体积较大,不利于光电产品小型化需求。
技术实现思路
有鉴于此,提供一种体积较小的二极管模组和其制作方法及光互连装置实为必要。一种二极管模组,包括半导体基底层、二极管外延层及光波导。该半导体基底层具有一表面,该表面包括依次相邻设置的外延层生长区、光波导固定区及光纤接入区,该光纤接入区开设有光纤收容沟槽,该光纤收容沟槽的延伸方向指向该光波导固定区。该二极管外延层形成于该外延层生长区,该二极管外延层包括沿远离该表面依次排列的半导体缓冲层和PN结,该PN结之间形成有多重量子井结构层。该光波导形成于该光波导固定区,该光波导其中一侧面与该多重量子井结构层一侧面相对。一种二极管模组的制作方法,包括步骤:提供半导体基底层,该半导体基底层具有一表面,该表面包括依次相邻设置的外延层生长区、光波导固定区及光纤接入区;在半导体基底层的表面的光纤接入区开设光纤收容沟槽,该光纤收容沟槽的延伸方向指向光波导固定区;采用外延生长法在该 ...
【技术保护点】
一种二极管模组,包括:半导体基底层,具有一表面,该表面包括依次相邻设置的外延层生长区、光波导固定区及光纤接入区,该光纤接入区开设有光纤收容沟槽,该光纤收容沟槽的延伸方向指向该光波导固定区;二极管外延层,形成于该外延层生长区,该二极管外延层包括沿远离该表面依次排列的半导体缓冲层和PN结,该PN结之间形成有多重量子井结构层;及光波导,形成于该光波导固定区,该光波导其中一侧面与该多重量子井结构层一侧面相对。
【技术特征摘要】
1.一种二极管模组,包括:半导体基底层,具有一表面,该表面包括依次相邻设置的外延层生长区、光波导固定区及光纤接入区,该光纤接入区开设有光纤收容沟槽,该光纤收容沟槽的延伸方向指向该光波导固定区;二极管外延层,形成于该外延层生长区,该二极管外延层包括沿远离该表面依次排列的半导体缓冲层和PN结,该PN结之间形成有多重量子井结构层;及光波导,形成于该光波导固定区,该光波导其中一侧面与该多重量子井结构层一侧面相对。2.如权利要求1所述的二极管模组...
【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人,
申请(专利权)人:深圳迈辽技术转移中心有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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