用于制造液体喷射头的方法技术

本发明专利技术公开了用于制造液体喷射头的方法。用于制造液体喷射头的方法包括：在基板上设置负型的第一感光树脂层；通过选择性地曝光所述第一感光树脂层来形成流路的图案；在所述第一感光树脂层上设置负型的第二感光树脂层；在所述第二感光树脂层上设置负型的第三感光树脂层；通过选择性地曝光所述第二和第三感光树脂层来形成喷射端口的图案；使所述第一、第二和第三感光树脂层显影；在显影之后在至少所述第三感光树脂层上照射活化能量线；以及在活化能量线的照射之后热固化所述第一、第二和第三感光树脂层。

A method for making liquid jet head

The invention discloses a method for making a liquid jet head. For including a method for fabricating liquid ejection head: the first negative type photosensitive resin layer arranged on the substrate; forming a flow path pattern by selectively exposing the first photosensitive resin layer; second negative type photosensitive resin layer disposed on the first photosensitive resin layer; third photosensitive resin layer is arranged in the negative type the second photosensitive resin layer; by selectively exposing the photosensitive resin layer second and third injection port pattern formation; the first, second and third photosensitive resin layer is developed; after developing in at least the third photosensitive resin layer on the activation energy and the irradiation line; after activation energy line irradiation heat curing of the first, second and third photosensitive resin layer.

【技术实现步骤摘要】
用于制造液体喷射头的方法
本公开涉及制造液体喷射头的方法。
技术介绍
喷射液体的液体喷射头的代表性示例包括应用到通过在记录介质上喷射墨水来执行记录的喷墨记录系统的墨水喷射头。一般地，墨水喷射头包括用于喷射墨水的喷射端口、与喷射端口连通的液体室和流路以及施加用于通过喷射端口喷射墨水的能量的能量产生元件。通过驱动能量产生元件，墨水喷射头通过喷射端口将墨水作为液滴喷射以执行打印。因此，喷射端口的尺寸和形状对墨水喷射性能具有影响。近年来，墨水喷射头正在变得微细化，并且能够喷射5pl或更少墨水的高清喷射端口以及其中流路的高度被减小并且喷射端口的长度被缩短的薄喷射端口形成部件被使用。近年来，流路和喷射端口的制造过程正在变得多样化。例如，制造过程包括在在流路形成部件中形成流路之后将其中形成喷射端口的板部件粘附到流路形成部件的方法、以及在在由正型材料形成的流路模子上涂布负型(negative)材料并且在负型材料中形成喷射端口之后去除由正型材料形成的流路模子的方法。日本专利公开No.4-216951公开了用于通过在形成流路的第一感光树脂层与形成喷射端口的第二感光树脂之间创建对曝光的灵敏度(sensitivity)的差异、并且通过执行曝光和显影来制造记录头的流路和喷射端口的方法。在这种制造方法中，在在基板上设置用于形成流路的第一感光树脂层之后执行曝光以便形成流路的图案的潜像。在在第一感光树脂层上设置用于形成喷射端口形成部件的第二感光树脂层之后执行曝光以便形成喷射端口的图案的潜像。两个感光树脂层具有对曝光的灵敏度的差异，并且特征在于，在曝光剂量曝光感光树脂层中的一个的同时，曝光剂量不曝光另一个感光树脂层。因此，即使当两个感光树脂层未被显影时，也可以形成感光树脂层的图案中的每一个。在形成潜像之后，感光树脂层被显影，并且流路和喷射端口被利用期望的流路形成部件和喷射端口形成部件成形。在日本专利公开No.4-216951中描述的方法中，随着流路形成部件和喷射端口形成部件的薄化进行，部件的强度降低，并且存在在部件的制造过程期间出现部件的变形的情况。作为增加部件的强度的方法，可以设想通过使用热固性材料形成部件并对其施加热处理来增加部件的硬度。然而，如日本专利公开No.4-216951中所描述的，在通过层压具有不同曝光灵敏度的两种类型的感光聚合物形成流路形成部件和喷射端口形成部件的情况下，当其硬度增加时，热固化期间的收缩率之间的差异可能变大。当热固化期间的部件的收缩率之间的差异变大时，可能在部件中的至少一个中出现变形，并且基板可能变得翘曲。抑制这种变形和翘曲出现的方法可以包括匹配具有不同曝光灵敏度的感光树脂层的热固化期间的收缩率；然而，难以制备具有不同的和期望的诸如感光性的特性并且具有类似的热固化收缩率的感光聚合物。并且，当在负型感光聚合物中形成喷射端口的图案时，喷射端口形成部件的强度因曝光剂量的增加而增加。然而，用于形成流路形成部件的感光树脂层的曝光灵敏度需要减小，并且需要改变用于形成流路形成部件的感光聚合物材料。此外，由于当形成喷射端口的图案时所需要的曝光剂量增加，因此触感增加。并且，在正型材料和负型材料两者中，可以通过向用于形成喷射端口的感光树脂层添加热固性粘合剂树脂来增加强度；然而，取决于粘合剂树脂的添加量，存在分辨率降低的情况，使得难以执行微加工。同时，与液体喷射头的微细化相关联，通过以各种方式改变喷射端口的微结构，可以实现液体喷射头的进一步功能提高和制造产量的提高。然而，在日本专利公开No.4-216951中描述的方法中，喷射端口形成部件由单层感光树脂层形成，使得当试图以各种方式改变喷射端口的形状时，存在要求添加复杂步骤的情况。
技术实现思路
根据本公开的制造液体喷射头的方法是用于制造液体喷射头的方法，所述液体喷射头包括具有能量产生元件的基板、形成流路的流路形成部件、喷射端口形成部件，所述喷射端口形成部件包括具有喷射端口的喷射端口表面，所述喷射端口利用来自所述能量产生元件的能量喷射从所述流路供给的液体，所述制造液体喷射头的方法包括：在基板上设置负型的第一感光树脂层；通过选择性地曝光所述第一感光树脂层来形成流路的图案；在所述第一感光树脂层上设置负型的第二感光树脂层；在所述第二感光树脂层上设置负型的第三感光树脂层；通过选择性地曝光所述第二和第三感光树脂层来形成喷射端口的图案；使所述第一、第二和第三感光树脂层显影；在显影之后在所述第二和第三感光树脂层中的至少一个上照射活化能量线(activationenergyline)；以及在活化能量线的照射之后热固化所述第一、第二和第三感光树脂层。从参考附图对大量示例实施例的以下描述，本公开的进一步特征和方面将变得清晰。附图说明图1是示出液体喷射头的配置的示例的示意性截面图。图2是示出液体喷射头的配置的示例的示意性部分截面图。图3A-3H是示出根据本公开的方面的制造液体喷射头的方法的示意性部分截面图。图4A-4C是示出根据本公开的方面的液体喷射头的配置示例的示意性部分截面图。具体实施方式本公开提供能够在不限制用于形成流路形成部件和喷射端口形成部件的材料的选择的情况下管理流路形成部件和喷射端口形成部件的强度的增加和微细化的液体喷射头的制造方法。本公开还提供能够在不限制形成喷射端口形成部件的材料的选择并且不使得制造过程复杂的情况下根据目的改变喷射端口的形状的液体喷射头的制造方法。根据本公开的液体喷射头包括其上设置能量产生元件的基板、形成流路的流路形成部件和包括喷射端口表面的喷射端口形成部件。喷射端口表面具有利用来自能量产生元件的能量喷射从流路供给的液体的喷射端口。喷射端口形成部件的喷射端口表面是从液体喷射头喷射液体的一侧的表面。喷射端口在喷射端口形成部件的厚度方向上从基板侧的表面到喷射端口表面穿过喷射端口形成部件，并且在喷射端口表面中形成开口。液体利用来自能量产生元件的能量通过在喷射端口表面中形成的喷射端口的开口被喷射。喷射端口表面包括由平坦表面形成的平坦部分和与平坦部分接触并围绕喷射端口的开口的开口边缘部分。根据本公开的制造液体喷射头的示例方法包括以下步骤：(1)在基板上设置负型的第一感光树脂层。(2)通过选择性地曝光第一感光树脂层来形成流路的图案。(3)在第一感光树脂层上设置负型的第二感光树脂层。(4)在第二感光树脂层上设置负型的第三感光树脂层。(5)通过选择性地曝光第二和第三感光树脂层来形成喷射端口的图案。(6)使第一、第二和第三感光树脂层显影。(7)热固化经显影的第一、第二和第三感光树脂层。在本公开中，由于通过显影第一到第三感光树脂层执行流路形成部件和喷射端口形成部件的形成，因此可以提供其中可以选择形成每个感光树脂层的材料并且可以增加强度以及可以响应于微细化的液体喷射头的制造方法。并且，在本公开中，由于通过曝光第二和第三感光树脂层执行喷射端口形成部件的形成，因此可以提供能够在选择形成每个感光树脂层的材料并且进行喷射端口的形状的各种改变时进行响应的液体喷射头的制造方法。并且，通过从各种市售或已知的材料广泛选择用于形成第一到第三感光树脂层中的每一个的材料，可以获得以上效果。利用在执行显影的步骤(6)之后执行热固化的步骤(7)，第一、第二和第三感光树脂层的硬度可以进一步增加。结果，即使本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于制造液体喷射头的方法，所述液体喷射头包括具有能量产生元件的基板、形成流路的流路形成部件、喷射端口形成部件，所述喷射端口形成部件包括具有喷射端口的喷射端口表面，所述喷射端口利用来自所述能量产生元件的能量喷射从所述流路供给的液体，所述制造液体喷射头的方法包括：在基板上设置负型的第一感光树脂层；通过选择性地曝光所述第一感光树脂层来形成流路的图案；在所述第一感光树脂层上设置负型的第二感光树脂层；在所述第二感光树脂层上设置负型的第三感光树脂层；通过选择性地曝光所述第二和第三感光树脂层来形成喷射端口的图案；使所述第一、第二和第三感光树脂层显影；在显影之后在所述第二和第三感光树脂层中的至少一个上照射活化能量线；以及在活化能量线的照射之后热固化所述第一、第二和第三感光树脂层。

【技术特征摘要】
2016.08.12 JP 2016-1588911.一种用于制造液体喷射头的方法，所述液体喷射头包括具有能量产生元件的基板、形成流路的流路形成部件、喷射端口形成部件，所述喷射端口形成部件包括具有喷射端口的喷射端口表面，所述喷射端口利用来自所述能量产生元件的能量喷射从所述流路供给的液体，所述制造液体喷射头的方法包括：在基板上设置负型的第一感光树脂层；通过选择性地曝光所述第一感光树脂层来形成流路的图案；在所述第一感光树脂层上设置负型的第二感光树脂层；在所述第二感光树脂层上设置负型的第三感光树脂层；通过选择性地曝光所述第二和第三感光树脂层来形成喷射端口的图案；使所述第一、第二和第三感光树脂层显影；在显影之后在所述第二和第三感光树脂层中的至少一个上照射活化能量线；以及在活化能量线的照射之后热固化所述第一、第二和第三感光树脂层。2.根据权利要求1所述的制造液体喷射头的方法，其中，所述喷射端口表面是平坦表面。3.根据权利要求2所述的制造液体喷射头的方法，其中，通过活化能量线的照射，所述第二感光树脂层与第三感光树脂层的热固化收缩率之间的差异减小。4.根据权利要求1所述的制造液体喷射头的方法，其中，所述喷射端口表面包括平坦表面和喷射端口的开口边缘部分，所述开口边缘部分在所述喷射端口形成部件的厚度方向上...

【专利技术属性】
技术研发人员：鱼桥邦仁，永田真吾，藤井谦儿，山室纯，笹木弘司，松本圭司，柳沼诚一郎，村上遼太郎，中野智彦，永井正隆，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP