一种多棱角整板电极制造技术

本发明专利技术公开了一种多棱角整板电极，包括整板电极本体，所述整板电极本体的顶面与底面分别设置有凸起的棱角，所述棱角等间距的设置有多组，相邻的两个所述棱角的间距为10mm或15mm，所述棱角的最高点距整板电极本体的表层的距离为2mm。本发明专利技术通过在整板电极本体的侧部设置棱角，利用尖端放电的原理，在等离子清洗中，避免了棱角尖端部位附着清洗副产物，从而保证生产过程中清洗速度和均匀性的稳定，延长电极的使用周期。

A kind of multi angled whole plate electrode

The invention discloses a multi angular whole plate electrode, electrode plate including the whole body, the top surface and the bottom of the whole plate electrode surface of the body are respectively provided with convex edges, the angular spacing is provided with a plurality of groups, the distance between the two adjacent edges is 10mm or 15mm, the highest point the edge angle of the whole body of the surface of the electrode plate distance is 2mm. By setting the edges in the side of the whole body plate electrode, using the discharge principle, in plasma cleaning, avoid the edges of tip cleaning by-products, so as to ensure the cleaning speed and uniformity of the stable production process, prolong the life cycle of the electrodes.

【技术实现步骤摘要】
一种多棱角整板电极
本专利技术涉及等离子电极板
，具体涉及一种多棱角整板电极。
技术介绍
等离子机通常又被人们称呼等离子表面处理机、等离子表面处理器，等离子打磨机和等离子清洗机等。等离子机采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染，等离子机广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。整板电极作为等离子机的重要组成部分，往往决定着等离子机的使用寿命及工作效率。但是，目前市面上的等离子机整板电极表面是平整的，当整板电极是新的，或干净时，所放电的面积越大，放电越均匀。从而清洗的速度越快，整个腔体的均匀性越好。当电极使用一段时间过后(一般为两到三个月后)整板电极的大部分区域(表面)被清洗过后的副产物给附着。从而大大减少了电极的放电面积，放电区域出现不均匀，而导致清洗的速度下降，清洗的均匀性也下降，使得电极的使用周期大大降低。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种多棱角整板电极，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种多棱角整板电极，包括整板电极本体，所述整板电极本体的顶面与底面分别设置有凸起的棱角，所述棱角等间距的设置有多组，相邻的两个所述棱角的间距为10mm或15mm，所述棱角的最高点距整板电极本体的表层的距离为2mm。优选地，所述整板电极本体及棱角均采用导电材料。优选地，所述棱角为等边三角形形状。优选地，所述棱角相对于整板电极本体呈对称布置。本专利技术的技术效果和优点：本专利技术通过在整板电极本体的侧部设置棱角，利用尖端放电的原理，在等离子清洗中，避免了棱角尖端部位附着清洗副产物，从而保证生产过程中清洗速度和均匀性的稳定，延长电极的使用周期。附图说明图1为本专利技术的结构示意图；图2为本专利技术的侧视图。图中：1、整板电极本体；2、棱角；3、副产物。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-2，本专利技术提供一种多棱角整板电极，包括整板电极本体1，所述整板电极本体1的顶面与底面分别设置有凸起的棱角2，所述棱角2等间距的设置有多组，相邻的两个所述棱角2的间距为10mm或15mm，所述棱角2的最高点距整板电极本体1的表层的距离为2mm。该多棱角电极是对现有的整板电极基础上进行改善，通过尖端放电原理，在整板电极本体1的表面增加可放电的棱角2，间距为10mm或15mm，等距排列。放电棱角2不会被生产的副产物给附着，副产物会附着在整板电极本体1和棱角2的表壁上，而棱角2的尖端部位不会被附着。随等离子机清洗时间的增加，多棱角电极因为有放电棱角2。放电面积稳定，从而保证生产过程中清洗速度和均匀性的稳定。进一步的，所述整板电极本体1与棱角2采用导电材料，确保电极功能完好，可靠。进一步的，所述棱角2为等边三角形形状，确保棱角2不被副产物3附着，并充分缩小整板电极本体1占用的空间。进一步的，所述棱角2相对于整板电极本体1呈对称布置，有利于多组的整板电极的功能实现。本专利技术通过在整板电极本体1的侧部设置棱角2，利用尖端放电的原理，在等离子清洗中，避免了棱角2尖端部位附着副产物3，从而保证生产过程中清洗速度和均匀性的稳定，延长电极的使用周期。最后应说明的是：以上所述仅为优选实施例而已，并不用于限制本专利技术，尽管参照前述实施例对本专利技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，在本专利技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均包含在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多棱角整板电极，包括整板电极本体(1)，其特征在于：所述整板电极本体(1)的顶面与底面分别设置有凸起的棱角(2)，所述棱角(2)等间距的设置有多组，相邻的两个所述棱角(2)的间距为10mm或15mm，所述棱角(2)的最高点距整板电极本体(1)的表层的距离为2mm。

【技术特征摘要】
1.一种多棱角整板电极，包括整板电极本体(1)，其特征在于：所述整板电极本体(1)的顶面与底面分别设置有凸起的棱角(2)，所述棱角(2)等间距的设置有多组，相邻的两个所述棱角(2)的间距为10mm或15mm，所述棱角(2)的最高点距整板电极本体(1)的表层的距离为2mm。2.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑志伟，廖文晗，陈磊，李志华，
申请(专利权)人：珠海倍力高科科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44