用于高分辨率石英挠性加速度计的真空保持结构制造技术

本发明专利技术涉及一种用于高分辨率石英挠性加速度计的真空保持结构，包括上、下导磁环部件、摆部件和连接环，摆部件由石英摆片、力矩器线圈和线圈骨架组成，上、下导磁环部件均由导磁环、圆柱形永磁体、导磁盖和导磁底座组成，导磁环的底部同轴安装在导磁盖上，该导磁盖的中心同轴制出一个向上凸起且开口朝下的凹槽，该凹槽的内部由上至下依次同轴设置圆柱形永磁体和导磁底座，该导磁底座与导磁盖激光密封焊接在一起形成封闭的腔体；导磁环部件成对使用同轴镜像安装，通过连接环激光密封焊接在一起，摆部件固装在其间。本发明专利技术通过在现有石英挠性加速度计结构基础上改进导磁环部件结构、增加激光焊接密封设计，保持加速度计内部的真空度，保持加速度计分辨率随时间的稳定性。

Vacuum retaining structure for high resolution quartz flexible accelerometer

【技术实现步骤摘要】
用于高分辨率石英挠性加速度计的真空保持结构
本专利技术属于传感器
，尤其是一种用于高分辨率石英挠性加速度计的真空保持结构，是一种适用于高分辨率导航系统和重力梯度仪系统的加速度计测量元件。
技术介绍
石英挠性加速度计是一种差动电容式闭环高精度的传感器，最早由美国森的斯坦公司于二十世纪七十年代研制成功，具体结构在美国专利(专利号4250757)有详细描述，它的表芯结构如图1、图2所示，是目前国内惯性导航测量及制导系统普遍使用的结构最简单的高精度加速度计。图1是普通石英挠性加速度计三维爆炸视图，图2是普通石英挠性加速度计二维轴剖视图。它包括上、下导磁环部件10、摆部件20和连接环30。导磁环11、圆柱形永磁体12、导磁帽13组成导磁环部件10。石英摆片21、力矩器线圈22和线圈骨架23组成摆部件20。导磁环部件10成对使用同轴镜像安装，通过连接环30胶结或点焊31连接在一起，在两导磁环部件10之间固装摆部件20。石英挠性加速度计工作原理为：当产品有沿敏感轴方向的加速度作用时，由于没有合外力作用，石英摆片保持原有运动状态，因此相对上、下力矩器产生位移，使两侧平板电容形成电容差。差动电容本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于高分辨率石英挠性加速度计的真空保持结构，包括上、下导磁环部件、摆部件和连接环，摆部件由石英摆片、力矩器线圈和线圈骨架组成，其特征在于：上、下导磁环部件均由导磁环、圆柱形永磁体、导磁盖和导磁底座组成，导磁环的底部同轴安装在导磁盖上，该导磁盖的中心同轴制出一个向上凸起且开口朝下的凹槽，该凹槽的内部由上至下依次同轴设置圆柱形永磁体和导磁底座，该导磁底座与导磁盖激光密封焊接在一起形成封闭的腔体；导磁环部件成对使用同轴镜像安装，通过连接环激光密封焊接在一起，摆部件固装在其间。

【技术特征摘要】
1.一种用于高分辨率石英挠性加速度计的真空保持结构，包括上、下导磁环部件、摆部件和连接环，摆部件由石英摆片、力矩器线圈和线圈骨架组成，其特征在于：上、下导磁环部件均由导磁环、圆柱形永磁体、导磁盖和导磁底座组成，导磁环的底部同轴安装在导磁盖上，该导磁盖的中心同轴制出一个向上凸起且开口朝下的凹槽，该凹槽的内部由上至下依次同轴设置圆柱形永磁体和导磁底座，该导磁底座与导磁盖激光密封焊接在一起形成封...

【专利技术属性】
技术研发人员：聂鲁燕，刘晓东，侯文超，王得信，仇恺，李立杰，
申请(专利权)人：中国船舶重工集团公司第七零七研究所，
类型：发明
国别省市：天津,12