一种石英微振动陀螺制造技术

本发明专利技术公开了一种石英微振动陀螺，包括驱动梁和对应的检测梁，所述驱动梁和检测梁均为相同的四根，四根检测梁一端按90°间隔等分固接于固定块四个方向，四根驱动梁的中部分别固定于检测梁的另一端并与对应的检测梁垂直；四根驱动梁、四根检测梁及固定块位于同一平面；第一检测梁和第二检测梁位于同一直线上，第三检测梁和第四检测梁位于同一直线上。本发明专利技术陀螺结构灵敏度高，体积小，且检测模态和振动模态对固定块的力和力矩相互抵消，在芯片安装到外壳时，无需设置专用的隔离振动结构，降低了封装工艺的复杂度，成本更低。

A quartz micro vibratory gyroscope

The invention discloses a micro quartz vibrating gyroscope, including the detection beam and the corresponding driving beam, the driving beam and detecting beams are the same four, four detection beam end at interval of 90 DEG equant is fixedly connected with the fixed block in four directions, four driving beams are respectively fixed on the central inspection the other end of the beam and the vertical beam and the corresponding detection; four driving beam, four beam detection and fixed block is located in the same plane; the first detection beam and second beam detection in the same line, third beam and fourth beam detection detection in the same line. The gyroscope structure has high sensitivity and small volume, and the detection mode and vibration mode cancel each other's force and torque. When the chip is mounted to the shell, no special isolation vibration structure is needed, which reduces the complexity and lower cost of the packaging process.

【技术实现步骤摘要】
一种石英微振动陀螺
本专利技术涉及角速度检测技术，具体涉及一种石英微振动陀螺，属于惯性传感

技术介绍
陀螺为惯性传感器的一种，具有军民两用性。基于MEMS（微电子机械系统）工艺制作的微机械陀螺多为振动陀螺，具有体积小、成本低、可靠性高和适合大批量生产等独特优势，特别适合于对精度要求不高但对价格、体积和功耗要求严格的领域。硅微机械陀螺和石英微机械陀螺是最为常见也是国际上研究最为热点的两类微型陀螺，二者各具特色，在军民领域并行发展。音叉结构是较为常用的一种石英微机械陀螺芯片结构，有单端音叉和双端音叉两种。单端音叉芯片结构简单易于微型化，但由于驱动电极和检测电极的面积较小，灵敏度较低。双端音叉芯片的驱动电极和检测电极的面积大，灵敏度高，但由于驱动音叉和检测音叉相对分开设置，体积较大，不利于芯片的微型化。针对于此，日本的EPSON公司在专利文献US20080314145A1中提出了一种双T形状的陀螺芯片结构，具有芯片灵敏度高以及体积微型化的双重优点。但该芯片的检测模态产生一个对固定位置的力矩，在芯片安装到外壳时，需要设置专用的微细支撑金属梁隔离检测模态的振动，增加了封装工艺的复杂度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石英微振动陀螺，包括驱动梁和对应的检测梁，其特征在于：所述驱动梁和检测梁均为相同的四根，分别为第一驱动梁、第二驱动梁、第三驱动梁、第四驱动梁、第一检测梁、第二检测梁、第三检测梁和第四检测梁，四根检测梁一端按90°间隔等分固接于固定块四个方向，四根驱动梁的中部分别固定于检测梁的另一端并与对应的检测梁垂直；四根驱动梁、四根检测梁及固定块位于同一平面；其中，第一驱动梁与第一检测梁对应，第二驱动梁与第二检测梁对应，第三驱动梁与第三检测梁对应，第四驱动梁与第四检测梁对应；第一检测梁和第二检测梁位于同一直线上，第三检测梁和第四检测梁位于同一直线上。

【技术特征摘要】
1.一种石英微振动陀螺，包括驱动梁和对应的检测梁，其特征在于：所述驱动梁和检测梁均为相同的四根，分别为第一驱动梁、第二驱动梁、第三驱动梁、第四驱动梁、第一检测梁、第二检测梁、第三检测梁和第四检测梁，四根检测梁一端按90°间隔等分固接于固定块四个方向，四根驱动梁的中部分别固定于检测梁的另一端并与对应的检测梁垂直；四根驱动梁、四根检测梁及固定块位于同一平面；其中，第一驱动梁与第一检测梁对应，第二驱动梁与第二检测梁...

【专利技术属性】
技术研发人员：林丙涛，朱振忠，梅松，江黎，王宾，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第二十六研究所，
类型：发明
国别省市：重庆,50