制备晶体硅锭的加热器及铸锭炉制造技术

本发明专利技术涉及一种制备晶体硅锭的加热器及铸锭炉，所述加热器包括顶部加热器和侧部加热器，或所述加热器包括顶部加热器、侧部加热器和底部加热器，所述铸锭炉包括所述加热器。通过改变顶部加热器、侧部加热器和底部加热器的电阻分布情况，即所述顶部加热器的电阻分布为自中间向四周逐渐降低，所述侧部加热器的电阻分布为自上而下逐渐降低，所述底部加热器的电阻分布为自中间向四周逐渐降低，从而实现电阻的分布不均匀，使得在制备晶体硅锭的过程中，能够调整长晶时的固液界面，使其固液界面变平。

【技术实现步骤摘要】
制备晶体硅锭的加热器及铸锭炉
本专利技术涉及硅锭铸锭制备领域，特别是涉及一种制备晶体硅锭的加热器及铸锭炉。
技术介绍
目前，在使用定向凝固法制备晶体硅锭的过程中，将坩埚放置在铸锭炉中进行加热，在铸锭炉使用的加热器中，每个加热器的电阻分布都是均匀的，发热量在各个区域也都是相同的。在实现传统的技术过程中，申请人发现以下问题：单个加热器的电阻分布都是均匀的，其发热量在各个区域也都是相同的，由于受到顶部气流及散热不均匀的影响，在定向凝固法制备晶体硅锭的过程中，使得固液界面呈现“W”型，固液界面的凹点在边缘小方锭中，不利于晶体中杂质的外排。同时，中间部分凸区域也对长晶质量产生负面影响。例如，在定向凝固法制备铸造单晶时，由于受传统固液界面的影响，边缘有大量的多晶区域向硅锭内部扩展，导致铸造单晶的面积较低，且单多晶交界区域的缺陷较多，中间较凸也会使中间的缺陷大量增殖，降低了铸造单晶的质量。
技术实现思路
基于此，有必要针对保持固液界面平整问题，提供一种制备晶体硅锭的加热器及铸锭炉。一种制备晶体硅锭的加热器，所述加热器包括顶部加热器和侧部加热器，其中所述顶部加热器和侧部加热器的电阻分布不均匀，所述顶部加本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制备晶体硅锭的加热器，其特征在于，所述加热器包括顶部加热器和侧部加热器，其中所述顶部加热器和侧部加热器的电阻分布不均匀，所述顶部加热器的电阻分布为自中间向四周逐渐降低，所述侧部加热器的电阻分布为自上而下逐渐降低。

【技术特征摘要】
1.一种制备晶体硅锭的加热器，其特征在于，所述加热器包括顶部加热器和侧部加热器，其中所述顶部加热器和侧部加热器的电阻分布不均匀，所述顶部加热器的电阻分布为自中间向四周逐渐降低，所述侧部加热器的电阻分布为自上而下逐渐降低。2.根据权利要求1所述的制备晶体硅锭的加热器，其特征在于，所述顶部加热器的电阻率分布为自中间向四周逐渐降低。3.根据权利要求1所述的制备晶体硅锭的加热器，其特征在于，所述侧部加热器的电阻率分布为自上而下逐渐降低。4.根据权利要求1所述的制备晶体硅锭的加热器，其特征在于，所述顶部加热器由两个顶部加热板拼接而成，其中一端由拼接板连接，另一端由一个石墨电极连接。5.一种制备晶体硅锭的加热器，其特征在于，所述加热器包括顶部加热器、侧部加热器和底部加热器，其中所述顶部加热器、侧部加热器和底部加热器的电阻分布不均匀，所述顶部加热器的电阻分布为自中间向四周逐渐降低，所述侧部加热器的电阻分布为自上而下...

【专利技术属性】
技术研发人员：武鹏，王双丽，徐岩，
申请(专利权)人：江苏协鑫硅材料科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32