一种压力式循环射流电解加工微细阵列电极制备方法及装置制造方法及图纸

一种压力式循环射流电解加工微细阵列电极制备方法及装置，包括以下步骤：将待加工的工具电极连接电源正极，金属圆管连接电源的负极，待加工的工具电极位于金属圆管内，电解液充满壳体型腔时停止供液，打开加工电源，上部活塞推板和下部活塞推板循环推进，致使电解液因受压力沿金属圆管通孔作循环往复流动，参与待加工的工具电极与金属圆管内壁之间的电化学反应，且通过油流缸内的液压油输送致使工具电极进给，使工具电极工作表面不断溶蚀，获得所需要的微细群工具电极。本发明专利技术通过电解液不断在加工间隙循环冲刷实现了压力稳定、液体流速均匀，避免了带有锥度成型电极的出现，提高了阵列微细电极制备效率和质量。

A micro array electrode preparation method and device for pressure circulating jet ECM

A pressure type circulating jet electrochemical machining micro electrode array preparation method and device, which comprises the following steps: the tool electrode to be processed are connected to the power supply cathode, anode metal tube connected to the power supply, the tool electrode to be processed in a metal tube, stop for liquid electrolyte filled shell cavity, open the processing power, the upper plate and the lower part of the piston piston push push plate to promote circulation, the electrolyte due to pressure along the metal tube through holes in perpetual flow, to process the tool electrode and the electrochemical reaction between the inner wall of metal tube, and through the hydraulic oil flow in cylinder conveying the tool electrode feed, the tool electrode surface continuous dissolution, obtain micro tool electrode needed. The invention realizes constant pressure stability and uniform liquid flow rate through electrolyte continuous erosion in processing gap, avoids the appearance of forming electrode with taper, and improves the efficiency and quality of array micro electrode preparation.

【技术实现步骤摘要】
一种压力式循环射流电解加工微细阵列电极制备方法及装置
本专利技术属于射流电解加工中微米级阵列工具电极制作
，尤其涉及一种压力式循环射流电解加工微细阵列电极制备方法及装置。
技术介绍
射流电解加工是利用阳极电化学溶解原理进行材料蚀除，并最终将零件加工成形的工艺技术。该技术不受工件材料力学性能、机械性能限制，零件表面加工质量高，无应力、无热影响区、工具阴极无损耗等优点，因此广泛应用于航空航天、微电子、生物医学、模具制造等工程领域，尤其是带有矩阵微织构的零件应用愈加广泛。然而，微细阵列电极的制备是实现这种方法的关键环节。工具电极制作原理为电极通阳极，金属材料通阴极，从而达到电解液腐蚀工具电极的目的。工具电极的形状决定着加工工件的成型形状，现今工艺普遍存在电极形状固定，通用性差，大大增加加工成本等问题。现有的射流电解加工中阵列工具电极多采用柱状电极进行加工，传统工具电极的制作多为将电极和金属材料直接侵没于电解液中，电解液流动形式也多为静态，这种加工方法会导致电极工作面上的电场不均匀，致使成型电极是带有锥度的柱状体，而电解液静态腐蚀电极的方法效率也很低，同时采用单个电极顺序制作很难保证制本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压力式循环射流电解加工微细阵列电极制备方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：将待加工的工具电极连接电源正极，金属圆管连接电源的负极，待加工的工具电极位于金属圆管内，电解液充满壳体型腔时停止供液，打开加工电源，上部活塞推板和下部活塞推板循环推进，致使电解液因受压力沿金属圆管通孔作循环往复流动，参与待加工的工具电极与金属圆管内壁之间的电化学反应，阳极的工具电极按照金属圆管内壁形状被高速溶解，且通过油流缸内的液压油输送致使工具电极进给，使工具电极工作表面不断溶蚀，直到达到符合要求的加工形状和尺寸，切断加工电源，打开电解液截止阀让电解液沿电解液出液口流出，获得所需要的微细群工具电极。

【技术特征摘要】
1.一种压力式循环射流电解加工微细阵列电极制备方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：将待加工的工具电极连接电源正极，金属圆管连接电源的负极，待加工的工具电极位于金属圆管内，电解液充满壳体型腔时停止供液，打开加工电源，上部活塞推板和下部活塞推板循环推进，致使电解液因受压力沿金属圆管通孔作循环往复流动，参与待加工的工具电极与金属圆管内壁之间的电化学反应，阳极的工具电极按照金属圆管内壁形状被高速溶解，且通过油流缸内的液压油输送致使工具电极进给，使工具电极工作表面不断溶蚀，直到达到符合要求的加工形状和尺寸，切断加工电源，打开电解液截止阀让电解液沿电解液出液口流出，获得所需要的微细群工具电极。2.一种基于权利要求1所述电极制备方法的制备装置，其特征在于：所述制备装置包括电解液系统、液压系统、上部壳体部分、下部壳体部分和工具电极部分；所述液压系统包括液压循环部分和液压进给部分，所述液压循环部分包括双向定量泵、电磁换向阀、上部液压缸和下部液压缸，所述上部液压缸和下部液压缸均设有进油口，所述双向定量泵通过电磁换向阀分别与上部液压缸的进油口和下部液压缸的进油口连接；所述液压进给部分包括液压单向定量泵、液压节流阀和液压截止阀，所述液压单向定量泵通过液压节流阀与流道进油口连接，所述流道进油口通过液压截止阀与液压油槽连接；液压油槽分别通过液压过滤器与双向定量泵、液压单向定量泵连接；所述上部壳体部分包括上部壳体、上部活塞推板、夹体板和金属圆管，所述上部液压缸安装在上部壳体上，所述上部活塞推板呈“工”字型，所述上部活塞推板的上端安装在上部液压缸内且其下端安装在上部壳体内并能作往复滑动，所述夹体板卡接在上部壳体内且将型腔分成上部型腔和下部型腔，所述夹体板上设有阵列通孔，所述上部壳体的左侧设有电解液进液口，所述电解液进液口位于上部活塞推板与夹体板之间且与上部型腔连通；所述上部壳体的右下侧设有观液口，所述观液口与下部型腔连通，所述金属圆管呈阵列装配在所述夹体板的通孔内；所述下部壳体部分包括下部壳体、下部活塞推板、流油缸、双杆活塞和导向板，所述下部液压缸安装在下部壳体上，所述下部活塞推板呈“工”字型，所述下部活塞推板的上端安装在下部壳体内且其下端安装在下部液压缸内并能作上下往复滑动，所述下部壳体左上侧上设有电解液出液口，所述电解液出液口位于流油缸与下部活塞推板之间且与下部型腔连通，所述流油缸安装在下部壳体内并设有液压油流道，所述下部壳体的右侧上设有所述流道进油口，所述流道进油口与液压油通道连通，所述双杆活塞底部呈“工”字型且装配在所述流油缸上，所述导向板安装在双杆活塞的上端且其顶...

【专利技术属性】
技术研发人员：王明环，龚斌，童文俊，许雪峰，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：发明
国别省市：浙江,33