半导体行业研磨废水的回收利用装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体行业研磨废水的回收利用装置，其包括彼此之间通过管路依次连接的研磨废水调节池、自清洗式过滤器、第一袋式过滤器、保安过滤器和超滤系统，超滤系统的出水端连接回用水出水管。本实用新型专利技术的装置无需加入其他药剂，水质稳定性好。

Recovery and utilization device of lapping wastewater in semiconductor industry

The utility model discloses a recovery of the semiconductor industry wastewater by grinding device, which comprises sequentially connected by a pipeline between the grinding waste water regulating pond, self-cleaning filter, bag filter, filter and ultrafiltration system, ultrafiltration system outlet is connected to the water outlet pipe. The device of the utility model does not need to add other medicaments, and the water quality is stable.

【技术实现步骤摘要】
半导体行业研磨废水的回收利用装置
本技术涉及研磨废水处理系统的
，具体涉及一种半导体行业研磨废水的回收利用装置。
技术介绍
半导体行业的研磨废水，常规工艺是通过投加混凝剂以及絮凝剂等药剂使废水中的细小悬浮物聚集成沉淀物从而与水分离出来，如此通过一级或二级反应之后的废水可以达到排放标准排放，污泥通过压滤机压滤后送交有资质的单位进行处理。采用传统方法处理半导体行业研磨废水需要投加多种药剂进行反应，投加量也较大，因此产生较高的药剂费用，而且废水由于加药量较大，经过沉淀后会产生大量的污泥，通过压滤之后污泥量也极大，相应的产生较高的污泥处理费用，通常采用加多种药剂的处理方法由于需要建造各种水池与设备间，所需占地面积较大。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术存在的以上问题，提供一种半导体行业研磨废水的回收利用装置，本技术的装置无需加入其他药剂，水质稳定性好。为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本技术通过以下技术方案实现：提供一种半导体行业研磨废水的回收利用装置，其包括彼此之间通过管路依次连接的研磨废水调节池、自清洗式过滤器、第一袋式过滤器、保安过滤器和超滤系统，所述超滤系统的出水端连接回用水出水管，其中，所述自清洗过滤器用于去除水中的悬浮物、颗粒物；所述第一袋式过滤器和保安过滤器用于去除水中的悬浮物；所述超滤系统用于净化水质；所述研磨废水调节池和自清洗式过滤器之间、所述自清洗式过滤器和第一袋式过滤器之间、所述第一袋式过滤器和保安过滤器之间、所述保安过滤器和超滤系统之间均设有提升水泵。作为优选，所述自清洗式过滤器与所述第一袋式过滤器之间设有中间水池。作为优选，所述第一袋式过滤器和保安过滤器之间设有浊度计，所述回收利用装置还包括二次过滤连通支管，所述二次过滤连通支管的始端与所述浊度计和保安过滤器之间的管路连通，所述二次过滤连通支管上设有三通阀和提升水泵，所述三通阀的一出口与所述中间水池管路连通，所述三通阀的另一出口与所述保安过滤器管路连通且所述三通阀与所述保安过滤器之间设有第二袋式过滤器，所述第二袋式过滤器的过滤精度不低于所述第一袋式过滤器。本技术的有益效果是：(1)本技术的半导体行业研磨废水的回收利用装置处理过程中，半导体行业研磨废水首先通过自清洗过滤器，去除水中的悬浮物、颗粒物，降低浊度，净化水质，然后通过提升水泵将废水依次打入袋式过滤器与保安过滤器，进一步去除水中的悬浮物，然后废水进入超滤系统净化水质，超滤出水可以回用于生产；(2)由于该装置处理过程不需要投加药剂，因此产生的药剂费用大大降低，从而节省资源与能源；而且由于不需要投加药剂，因此对废水的水质影响小，可以保证回用水的水质稳定；(3)由于使用本技术装置无需投加药剂，产生的污泥量也相应减少，而且废水可以回用，这不但可以节省资源，而且具有一定的经济效益；(4)本技术的装置通过二次过滤连通支管灵活控制研磨废水的处理过程，与主管路之间双重保证了研磨废水处理的质量的稳定性。上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本技术的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例技术中的技术方案，下面将对实施例技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术的半导体行业研磨废水的回收利用装置示意图；其中，1.研磨废水调节池，2.自清洗式过滤器，3.第一袋式过滤器，4.保安过滤器，5.超滤系统，6.回用水出水管，7.提升水泵，8.中间水池，9.浊度计，10.三通阀，11.第二袋式过滤器。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。参照图示，提供一种半导体行业研磨废水的回收利用装置，其包括彼此之间通过管路依次连接的研磨废水调节池1、自清洗式过滤器2、第一袋式过滤器3、保安过滤器4和超滤系统5，超滤系统5的出水端连接回用水出水管6，其中，自清洗过滤器2用于去除水中的悬浮物、颗粒物；第一袋式过滤器3和保安过滤器4用于去除水中的悬浮物；超滤系统5用于净化水质；研磨废水调节池1和自清洗式过滤器2之间、自清洗式过滤器2和第一袋式过滤器3之间、第一袋式过滤器3和保安过滤器4之间、保安过滤器4和超滤系统5之间均设有提升水泵7。自清洗式过滤器2与第一袋式过滤器3之间设有中间水池8。第一袋式过滤器3和保安过滤器4之间设有浊度计9，回收利用装置还包括二次过滤连通支管，二次过滤连通支管的始端与浊度计9和保安过滤器4之间的管路连通，二次过滤连通支管上设有三通阀10和提升水泵，三通阀10的一出口与中间水池8管路连通，三通阀10的另一出口与保安过滤器4管路连通且三通阀10与保安过滤器4之间设有第二袋式过滤器11，第二袋式过滤器11的过滤精度不低于第一袋式过滤器3。本实施例的工作原理如下：本技术的半导体行业研磨废水的回收利用装置处理过程中，半导体行业研磨废水首先由研磨废水调节池1通过提升水泵打入自清洗过滤器2，去除水中的悬浮物、颗粒物，降低浊度，净化水质，然后通过提升水泵将废水依次打入第一袋式过滤器3与保安过滤器4，进一步去除水中的悬浮物，然后废水进入超滤系统5净化水质，超滤出水由回用水出水管6引出可回用于生产。在废水处理过程中，浊度计9能够实时监控经过第一袋式过滤器3过滤后的水浊度，如果水浊度与预设定的浊度差距较大，则打开三通阀10与中间水池8管路连通的一出口，使废水再次直接进入第一袋式过滤器3重新过滤一次；若水浊度与预设定的浊度差距较小，则打开三通阀10与保安过滤器4管路连通的另一出口，使废水进入第二袋式过滤器11，然后再经过提升水泵泵入保安过滤器4中进行后续过滤，多重保证过滤效果。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本技术。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体行业研磨废水的回收利用装置，其特征在于：包括彼此之间通过管路依次连接的研磨废水调节池、自清洗式过滤器、第一袋式过滤器、保安过滤器和超滤系统，所述超滤系统的出水端连接回用水出水管，其中，所述自清洗过滤器用于去除水中的悬浮物、颗粒物；所述第一袋式过滤器和保安过滤器用于去除水中的悬浮物；所述超滤系统用于净化水质；所述研磨废水调节池和自清洗式过滤器之间、所述自清洗式过滤器和第一袋式过滤器之间、所述第一袋式过滤器和保安过滤器之间、所述保安过滤器和超滤系统之间均设有提升水泵。

【技术特征摘要】
1.一种半导体行业研磨废水的回收利用装置，其特征在于：包括彼此之间通过管路依次连接的研磨废水调节池、自清洗式过滤器、第一袋式过滤器、保安过滤器和超滤系统，所述超滤系统的出水端连接回用水出水管，其中，所述自清洗过滤器用于去除水中的悬浮物、颗粒物；所述第一袋式过滤器和保安过滤器用于去除水中的悬浮物；所述超滤系统用于净化水质；所述研磨废水调节池和自清洗式过滤器之间、所述自清洗式过滤器和第一袋式过滤器之间、所述第一袋式过滤器和保安过滤器之间、所述保安过滤器和超滤系统之间均设有提升水泵。2.根据权利要求1所述的半导体行业研磨废水的回收利...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹升全，董廷寰，张冠华，谢愉，王刚，
申请(专利权)人：苏州格胜环保设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32