宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具制造技术

本专利公开了一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具，由上下真空腔体板组成真空密封腔体，在真空腔体表面加工真空吸附孔阵列，通过真空排气管对真空腔体抽气，从而固定测试样品。该结构的优点在于充分利用背光照射宝石电极板可以避免正光照射镀金图形存在强烈反射的问题。该结构真空吸附夹具采用透光材料制备，使测试样品可以背光照射，对宝石电极板上高密度镀金图形可以清晰分辨，并且采用真空吸附方式固定测试样品不会造成样品表面污染和表面损伤。该结构的真空吸附夹具结构简单，容易加工，特别适合于高密度电极布线的宝石电极板飞针电学测试时样品的固定。

Vacuum adsorption fixture for test of gems electrode board flying needle

This patent discloses a kind of vacuum adsorption jig for flying needle test of gemstone electrode plate. The vacuum sealing cavity is made up of the upper and lower vacuum chamber plates. The vacuum adsorption hole array is processed on the surface of the vacuum chamber, and the vacuum chamber is evacuated through the vacuum exhaust pipe, so that the test sample is fixed. The advantage of this structure is that the full use of the backlight to irradiate the gem electrode plate can avoid the problem of strong reflection in the gilding graph of the positive light. The vacuum absorption fixture of the structure is made of transparent material. The test sample can be irradiated backlight. The high density gold-plated pattern on the gem electrode plate can be clearly distinguished, and the vacuum adsorption method is used to fix the test sample, which will not cause the surface pollution and surface damage of the sample. The vacuum adsorption fixture of the structure is simple and easy to process, and is especially suitable for fixing the sample of the gem electrode plate flying needle when conducting high-voltage electrode test.

【技术实现步骤摘要】
宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具
本专利公开了一种宝石电极板真空吸附夹具，特别是一种用于高密度布线的宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具。
技术介绍
红外探测器组件是红外探测系统的核心元件，在航天和军事等领域有广泛的应用。组件大多数需要工作在低温，为了消除探测器芯片与基板之间的应力,一般采用与红外探测器芯片热匹配的材料进行信号引出,蓝宝石具有低出气率及与探测器材料应力匹配的优点,是目前红外探测器组件应用最多的一种引线基板材料。随着红外探测器组件的规模越来越大,宝石电极板布线密度越来越大,引线间距已经小于100μm，电极金层互联短路和铬残留已经影响到宝石电极板的成品率,采用万用表测试和显微镜镜检已经无法满足高密度布线宝石电极板成品率的筛选。飞针测试设备是一种PCB板内部各网络节点的通断关系，以及内部网络之间内埋电容、电阻、电感值、二极管、三极管的常规检测手段，由于其测试效率高、测试过程可以无压痕和定位精度高的优点，特别适合宝石电极板的通断检测。飞针设备用于高密度布线电极板筛选检测存在两个方面的问题，一是宝石电极板的固定，宝石电极板面积较小和中间存在孔洞，一般的真空吸附夹具稳定吸附存在问题，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具，包括上真空腔板(1)、下真空腔板(2)和真空排气管(3)，其特征在于：所述的真空吸附夹具由真空吸附夹具由上真空腔板(1)和下真空腔板(2)通过定位孔(1‑1)和定位螺纹孔(2‑1)螺接成真空密封腔体，通过夹具固定边(1‑3)将真空吸附夹具夹持在飞针测试设备上，宝石电极板等测试样品放置在上真空腔板(1)的真空吸附孔阵列(1‑2)区域，裸露的真空吸附孔阵列(1‑2)采用蓝膜覆盖，下真空腔板(2)内部镂空为中空腔体(4)，并加工真空排气孔(2‑2)紧配合真空排气管(3)，真空吸附夹具的抽气通道依次为下真空排气管(3)、真空排气孔(2‑2)、中空腔体(4)和真空吸...

【技术特征摘要】
1.一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具，包括上真空腔板(1)、下真空腔板(2)和真空排气管(3)，其特征在于：所述的真空吸附夹具由真空吸附夹具由上真空腔板(1)和下真空腔板(2)通过定位孔(1-1)和定位螺纹孔(2-1)螺接成真空密封腔体，通过夹具固定边(1-3)将真空吸附夹具夹持在飞针测试设备上，宝石电极板等测试样品放置在上真空腔板(1)的真空吸附孔阵列(1-2)区域，裸露的真空吸附孔阵列(1-2)采用蓝膜覆盖，下真空腔板(2)内部镂空为中空腔体(4)，并加工真空排气孔(2-2)紧配合真空排气管(...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪洋，莫德锋，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：新型
国别省市：上海,31