一种钻石丸片抛光垫修整轮治具制造技术

本实用新型专利技术提供的一种钻石丸片抛光垫修整轮治具，包括不锈钢基体，不锈钢基体为内有通孔的圆环结构，在不锈钢基体的外圆周侧面均匀分布200个平齿，不锈钢基体的正面设有外圆凹槽组和内圆凹槽组，外圆凹槽组由均匀分布的32个直径为16mm的圆形凹槽构成且凹槽圆心均落在不锈钢基体直径为390mm的圆周上，内圆凹槽组由均匀分的24个直径为16mm的圆形凹槽构成且凹槽圆心均落在不锈钢基体直径为340mm圆周上；外圆凹槽组和内圆凹槽组内均分别粘贴直径为16mm的钻石丸片；不锈钢基体的反面均匀设置有四个沟槽；平齿、通孔和钻石丸片三者的设置使修整效果明显提高，修整时间缩短，同时沟槽的设置促进修整液的流动，使研磨更均匀，散热更好，设计合理，结构简单，实用性高。

A polishing pad for diamond pill polishing pad

The utility model provides a diamond pellet polishing pad dressing wheel fixture, including stainless steel, stainless steel inner ring structure through hole, 200 flat teeth evenly distributed on the outer circumferential side of stainless steel, stainless steel is provided with a cylindrical positive groove group and inner circle groove group, circular groove group by 32 the diameter of uniform distribution of 16mm round groove and the groove center are located on the stainless steel substrate diameter circumferential 390mm, 24 diameter circular grooves by evenly divided into 16mm circular groove and groove center are located on the stainless steel substrate 340mm diameter on the circumference of the outer circle groove; within the group and group are respectively pasted round groove diameter diamond pellets 16mm; four grooves are uniformly arranged opposite stainless steel matrix; flat tooth, hole and diamond pellets three make the dressing effect significantly The dressing time is shortened, and the groove setting promotes the flow of the dressing fluid, making the grinding more uniform and heat dissipation better. The design is reasonable, the structure is simple and the practicability is high.

【技术实现步骤摘要】
一种钻石丸片抛光垫修整轮治具
本技术涉及化学机械抛光（CMP）设备
，具体涉及一种抛光垫修整轮治具。
技术介绍
化学机械抛光（CMP）是指利用机械化学的作用使工件表面粗糙度降低，以获得光亮、平整表面加工方法，是利用抛光工具和磨料颗粒或其他抛光介质对工件表面进行修饰加工的方法。化学机械抛光（CMP）技术广泛用于光学、窗口平面产品的抛光加工，既能实现高平坦化又能够达到高精度表面质量。随着平面光学应用及窗口领域的发展，对产品加工质量要求越来越高，成本要求越来越低，提高产品质量、提升生产效率成为行业内企业的主要挑战之一。抛光垫是化学机械抛光设备中的关键部件之一，抛光垫的性能对抛光效率和加工质量有着重要影响。对抛光垫进行适当的修整可以增加抛光垫表面的平整度、使材料去除率趋于一致，提高产品质量、提升生产效率。现有行业上对抛光垫的修整主要采用不锈钢修整轮与铸铁两种材质修整轮，其修整时间长效率低、效果差，使抛光垫抛光后的产品的平坦度和精度达不到质量要求，从而导致加工良品率低，成本居高不下。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种钻石丸片抛光垫修整轮治具，对抛光垫平整度修整效果、效率显著提升，大大降低了加工成本。为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种钻石丸片抛光垫修整轮治具，其特征在于，包括不锈钢基体，所述不锈钢基体为圆环状结构，所述不锈钢基体的外圆周侧面均匀分布200个平齿，所述平齿的齿顶圆直径为427mm，所述平齿的齿中圆直径为423mm，所述平齿的齿内圆直径为417mm；所述不锈钢基体中心设有通孔，所述通孔的内圆直径为300mm，所述通孔的边缘设置有半圆倒角，所述半圆倒角的直径为10mm；所述不锈钢基体的正面设有外圆凹槽组和内圆凹槽组，所述外圆凹槽组和所述内圆凹槽组分别由圆形凹槽构成，所述圆形凹槽的直径为16mm深度为2mm，所述外圆凹槽组由均匀分布的32个所述圆形凹槽构成，所述外圆凹槽组的凹槽圆心均落在所述不锈钢基体直径为390mm的圆周上，所述内圆凹槽组由均匀分布的24个所述圆形凹槽构成，所述内圆凹槽组的凹槽圆心均落在所述不锈钢基体直径为340mm圆周上；所述圆形凹槽内均分别粘贴直径为16mm的钻石丸片；所述不锈钢基体的反面均匀设置有四个沟槽；上述的一种钻石丸片抛光垫修整轮治具，其中，所述不锈钢基本的厚度为25mm；上述的一种钻石丸片抛光垫修整轮治具，其中，所述钻石丸片的高度为5.5mm、粒度为100#；上述的一种钻石丸片抛光垫修整轮治具，其中，所述沟槽的宽度为4mm，深度为4mm，长度为127.5mm。本技术的有益效果表现在：本技术提供的一种钻石丸片抛光垫修整轮治具，包括不锈钢基体，不锈钢基体的外圆周侧面设置有平齿，内部设置有同心通孔，且在不锈钢基体上粘贴有钻石丸片，三者相互配合，互相作用，使对抛光垫修整的效果明显提高，传统的修整轮治具的修正时间约为3小时，采用本技术的修整轮治具后的修整时间为20分钟，大大提高了修整效率，显著的降低成本；在修整轮治具的背面设有四个沟槽，促进修整液在整个修整轮治具的流动，增强修整效果，并且带走因摩擦产生的热量，而且本技术的设计合理，结构简单，实用性高。附图说明图1本技术主视图。图2本技术A-A向剖视图。具体实施方式下面结合附图对本技术做出具体的说明。如图所示的一种钻石丸片抛光垫修整轮治具，其特征在于，包括不锈钢基体1，所述不锈钢基体1为圆环状结构，所述不锈钢基体1的外圆周侧面均匀分布200个平齿，所述平齿11的齿顶圆直径为427mm，所述平齿11的齿中圆直径为423mm，所述平齿11的齿内圆直径为417mm；所述不锈钢基体1中心设有通孔12，所述通孔12的内圆直径为300mm，所述通孔12的边缘设置有半圆倒角13，所述半圆倒角13的直径为10mm；所述不锈钢基体1的正面设有外圆凹槽组14和内圆凹槽组15，所述外圆凹槽组14和所述内圆凹槽组15分别由圆形凹槽16构成，所述圆形凹槽16的直径为16mm深度为2mm，所述外圆凹槽组14由均匀分布的32个所述圆形凹槽16构成，所述外圆凹槽组14的凹槽圆心均落在所述不锈钢基体1直径为390mm的圆周上，所述内圆凹槽组15由均匀分布的24个所述圆形凹槽16构成，所述内圆凹槽组15的凹槽圆心均落在所述不锈钢基体1直径为340mm圆周上；所述圆形凹槽16内均分别粘贴直径为16mm的钻石丸片2；所述不锈钢基体1的反面均匀设有四个沟槽17；上述的一种钻石丸片抛光垫修整轮治具，其中，所述不锈钢基本1的厚度为25mm；上述的一种钻石丸片抛光垫修整轮治具，其中，所述钻石丸片2的高度为5.5mm、粒度为100#；上述的一种钻石丸片抛光垫修整轮治具，其中，所述沟槽17的宽度为4mm，深度为4mm，长度为127.5mm。一种钻石丸片抛光垫修整轮治具的具体加工方法如下：（1）将25mm厚度的不锈钢基体分别用记号笔标记所需要开圆形凹槽的位置，采用铣床加工成深2mm凹槽；（2）在上述的凹槽内涂抹环氧树脂胶，待环氧树脂胶风干约2min，将直径16mm、高5.5mm、粒度100#的钻石丸片粘贴在环氧树脂胶上；（3）在粘贴钻石丸片的不锈钢基体表面垫压硬质隔离板，再将约20KG重量物体均匀放置在隔离板上，静置压合24小时，待环氧树脂胶完全风干；（4）将步骤（3）中粘贴好的钻石丸片修整轮治具放入平面磨床中进行加工，其加工标准为：平整度正负5um，即得所述钻石丸片抛光垫修整轮治具。本技术提供的一种钻石丸片抛光垫修整轮治具，包括不锈钢基体，不锈钢基体的外圆周侧面设置有平齿，内部设置有同心通孔，且在不锈钢基体上粘贴有钻石丸片，三者相互配合，互相作用，使对抛光垫修整的效果明显提高，传统的修整轮治具的修正时间约为3小时，采用本技术的修整轮治具后的修整时间为20分钟，大大提高了修整效率，显著的降低成本；在修整轮治具的背面设有四个沟槽，促进修整液在整个修整轮治具的流动，增强修整效果，并且带走因摩擦产生的热量，而且本技术的设计合理，结构简单，实用性高。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围内。因此，本技术的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种钻石丸片抛光垫修整轮治具，其特征在于，包括不锈钢基体，所述不锈钢基体为圆环状结构，所述不锈钢基体的外圆周侧面均匀分布200个平齿，所述平齿的齿顶圆直径为427mm，所述平齿的齿中圆直径为423mm，所述平齿的齿内圆直径为417mm；所述不锈钢基体中心设有通孔，所述通孔的内圆直径为300mm，所述通孔的边缘设置有半圆倒角，所述半圆倒角的直径为10mm；所述不锈钢基体的正面设有外圆凹槽组和内圆凹槽组，所述外圆凹槽组和所述内圆凹槽组分别由圆形凹槽构成，所述圆形凹槽的直径为16mm深度为2mm，所述外圆凹槽组由均匀分布的32个所述圆形凹槽构成，所述外圆凹槽组的凹槽圆心均落在所述不锈钢基体直径为390mm的圆周上，所述内圆凹槽组由均匀分布的24个所述圆形凹槽构成，所述内圆凹槽组的凹槽圆心均落在所述不锈钢基体直径为340mm圆周上；所述圆形凹槽内均分别粘贴直径为16mm的钻石丸片；所述不锈钢基体的反面均匀设置有四个沟槽。

【技术特征摘要】
1.一种钻石丸片抛光垫修整轮治具，其特征在于，包括不锈钢基体，所述不锈钢基体为圆环状结构，所述不锈钢基体的外圆周侧面均匀分布200个平齿，所述平齿的齿顶圆直径为427mm，所述平齿的齿中圆直径为423mm，所述平齿的齿内圆直径为417mm；所述不锈钢基体中心设有通孔，所述通孔的内圆直径为300mm，所述通孔的边缘设置有半圆倒角，所述半圆倒角的直径为10mm；所述不锈钢基体的正面设有外圆凹槽组和内圆凹槽组，所述外圆凹槽组和所述内圆凹槽组分别由圆形凹槽构成，所述圆形凹槽的直径为16mm深度为2mm，所述外圆凹槽组由均匀分布的32个所述圆形凹槽构成，所述外圆凹槽组的凹槽圆心均落在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡孔林，王晨宇，蔡金荣，
申请(专利权)人：江苏吉星新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32