一种准分子激光退火ELA制程质量量测方法与系统技术方案

本发明专利技术涉及ELA制程质量量测技术领域，特别是一种准分子激光退火ELA制程质量量测方法与系统。将刻度尺置于ELA装置下方，使ELA装置输出的线激光落于刻度尺的刻度上，并保证刻度尺上的刻度与线激光垂直；采集激光照射于刻度尺所产生的光信号，并将所述光信号显示输出；观测电信号一段时间，根据电信号的异常与否判断输出激光是否稳定。本发明专利技术的准分子激光退火ELA制程质量量测方法与系统成本低廉，不仅能判断输出激光是否稳定，还能判断出导致输出激光不稳定的因素。

A method and system for measuring the quality of ELA process by excimer laser annealing

The invention relates to the technical field of ELA process quality measurement, in particular a method and system for measuring the ELA process quality of the excimer laser annealing process. To the bottom of the scale on the ELA device, the output device of ELA line laser down to the scale on the scale, and to ensure that the scale and the scale of the vertical line laser; optical signal acquisition in the scale produced by laser irradiation, and the optical signal output; observation signals for a period of time, according to the signal abnormalities and judging whether stable laser output. The excimer laser annealing ELA process quality measurement method and system cost is low, which not only can judge whether the output laser is stable, but also can identify the factors that cause the output laser instability.

【技术实现步骤摘要】
一种准分子激光退火ELA制程质量量测方法与系统
本专利技术涉及ELA制程质量量测
，特别是一种准分子激光退火ELA制程质量量测方法与系统。
技术介绍
ELA(ExcimerLaserAnnel准分子激光退火)MURA为AMOLED制程中好发及影响大的缺陷，一旦发生常常伴随大量的在线制程异常品，ELAMURA一般皆在后段模块点灯测试时才能发现，从发生到发现历时超过10天，造成产品不良风险高。通常激光输出不稳定为导致ELAMURA的主要因素，为了使ELA制程中ELAMURA能被时发现，需要对输出激光进行检测。常规的检测方法为人员判定或采用光学检测机检测。其中，采用人员判定没有统一的量化标准，对检测员的视力及经验都有较高的要求，且效率低下。采用光学检测机进行检测虽然效率相较于人力检测更高，但光学检测机成本高，且只能检测出输出的激光是否稳定，无法判断出导致输出激光不稳定的因素。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术的目的在于提供一种成本低廉，不仅能判断输出激光是否稳定，还能判断出导致输出激光不稳定的因素的准分子激光退火ELA制程质量量测方法与系统。本专利技术的准分子激光退火ELA制本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种准分子激光退火ELA制程质量量测方法，其特征在于包含步骤：S1：提供一刻度尺，使ELA装置输出的线激光垂直照射于刻度尺的刻度上；S2：采集激光照射于刻度尺上所产生的光信号并显示输出其信号图像；S3：根据一段时间内输出信号的异常与否判断输出激光是否稳定；所述刻度尺的基底和刻度线由不同的材料构成，所述ELA装置输出的线激光在所述刻度尺的基底和刻度线上产升的光信号不同。

【技术特征摘要】
1.一种准分子激光退火ELA制程质量量测方法，其特征在于包含步骤：S1：提供一刻度尺，使ELA装置输出的线激光垂直照射于刻度尺的刻度上；S2：采集激光照射于刻度尺上所产生的光信号并显示输出其信号图像；S3：根据一段时间内输出信号的异常与否判断输出激光是否稳定；所述刻度尺的基底和刻度线由不同的材料构成，所述ELA装置输出的线激光在所述刻度尺的基底和刻度线上产升的光信号不同。2.如权利要求1所述准分子激光退火ELA制程质量量测方法，其特征在于，步骤S3中，判断输出激光是否稳定的过程如下：若信号幅值异常，且异常出现在信号图像的同一位置，则判断为激光光路异常；若信号幅值异常，且异常出现在信号图像的不同位置，则判断为激光输出不稳定或ELA装置的气体异常；若信号幅值正常，则判断为激光输出稳定。3.如权利要求1所述准分子激光退火ELA制程质量量测方法，其特征在于：所述刻度尺的刻度沿长度方向均匀分布，所述刻度尺的基底为非金属材料，刻度线为金属材料。4.如权利要求3所述准分子激光退火ELA制程质量量测方法，其特征在于：所述刻度尺的最小分度值为0.3毫米、1毫米、2毫米、5毫米中的一种。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：杨慎东，郭连俊，颜圣佑，
申请(专利权)人：苏州精濑光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32