温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及ELA制程质量量测技术领域，特别是一种准分子激光退火ELA制程质量量测方法与系统。将刻度尺置于ELA装置下方，使ELA装置输出的线激光落于刻度尺的刻度上，并保证刻度尺上的刻度与线激光垂直；采集激光照射于刻度尺所产生的光信号，并将所...
该专利属于苏州精濑光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州精濑光电有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。