一种光学元件表面质量检测镜头制造技术

本发明专利技术公开了一种光学元件表面质量检测镜头，包括：光源、第一分束单元、第一聚光单元、第二聚光单元、第二分束单元、第一探测单元和第二探测单元。所述第一分束单元用于将所述光源发出的光分为检测光和参考光，并将这两部分光分别入射至所述第一聚光单元和所述第二聚光单元；所述第一聚光单元用于接收所述检测光，变成会聚光聚焦到测量表面；所述第二聚光单元用于接收所述参考光，并入射至所述第二分束单元；所述第二分束单元用于接收从测量表面反射的经过所述第一聚光单元的检测光和通过所述第二聚光单元的参考光，并将所接收到的探测光和参考光分为第一探测光和第二探测光分别入射至所述第一探测单元和第二探测单元。

An optical element surface quality detection lens

【技术实现步骤摘要】
一种光学元件表面质量检测镜头
本专利技术涉及光学检测领域，特别涉及一种光学元件表面质量检测镜头。
技术介绍
光学元件表面质量的检测是光学元件检测的重要组成部分，在多数光学系统中，尤其是紫外/极紫外光学系统、大功率激光等光学系统中，对光学元件的表面质量均有严格要求，也希望能够对光学元件的表面做尽量完整的检测。目前，对光学元件表面质量的检测手段极为有限，传统中多采用暗室法检测，但存在判读不准确、受人为影响大、无法长时间检测等缺点。市场上成熟的表面质量检测仪器也较为少见，多数产品与文献中主要基于单镜头加运动机构的方案。即选取合适的显微镜头，并配套运动机构带动镜头沿光学元件表面进行扫描，扫描得到的图像经后续分析处理以获得表面质量的相关数据。但是这种方案目前实现起来难度较大，因为合适的显微镜头景深一般都比较小(几微米到几十微米)，这就要求外围运动机构在运动过程中具有极高的运动精度，才能保证检测过程中被测表面时刻处于镜头的景深范围内。这无疑增加了成本，也直接导致了现有产品只能进行平面元件的检测，而球面和非球面等元件的表面质量检测难以实现。
技术实现思路
本专利技术旨在克服现有技术存在的缺陷，本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学元件表面质量检测镜头，其特征在于，包括：光源、第一分束单元、第一聚光单元、第二聚光单元、第二分束单元、第一探测单元和第二探测单元；所述第一分束单元用于将所述光源发出的光分为检测光和参考光两部分，并将这两部分光分别入射至所述第一聚光单元和所述第二聚光单元；所述第一聚光单元用于接收所述检测光，使其通过后变成会聚光聚焦到测量表面；所述第二聚光单元用于接收所述参考光，并将其入射至所述第二分束单元；所述第二分束单元用于接收从测量表面反射的经过所述第一聚光单元的检测光和通过所述第二聚光单元的参考光，并将所接收到的探测光和参考光分为第一探测光和第二探测光两部分，分别入射至所述第一探测单元和第二探测单...

【技术特征摘要】
1.一种光学元件表面质量检测镜头，其特征在于，包括：光源、第一分束单元、第一聚光单元、第二聚光单元、第二分束单元、第一探测单元和第二探测单元；所述第一分束单元用于将所述光源发出的光分为检测光和参考光两部分，并将这两部分光分别入射至所述第一聚光单元和所述第二聚光单元；所述第一聚光单元用于接收所述检测光，使其通过后变成会聚光聚焦到测量表面；所述第二聚光单元用于接收所述参考光，并将其入射至所述第二分束单元；所述第二分束单元用于接收从测量表面反射的经过所述第一聚光单元的检测光和通过所述第二聚光单元的参考光，并将所接收到的探测光和参考光分为第一探测光和第二探测光两部分，分别入射至所述第一探测单元和第二探测单元；所述第一探测单元用于接收所述第一探测光用于分析测量表面的质量；以及第二探测单元用于接收所述第二探测光用于分析测量表面的的误差信息。2.根据权利要求1所述的光学元件表面质量检测镜头，其特征在于，还包括：光源聚光单元，所述光源聚光单元设置于所述光源与所述第一分束单元之间，用于使所述光源发出的光成为点光源。3.根据权利要求1所述的光学元件表面质量检测镜头，其特征在于，所述光源聚光单元为空间滤波器。4.根据权利要求3所述的光学元件表面质量检测镜头，其特征在于，所述空间滤波器为小孔滤波器。5.根据权利要求1所述的光学元件表面质量检测镜头，其特征在于，所述第一分束单元包括扩束系统，起偏器和第一分束器；所述光源发出的光经过扩束系统及起偏器转换为宽光束的圆偏振光，该圆偏振光经过第一分束器后分成检测光和参考光两部分。6.根据权利要求5所述的光学元件表面质量检测镜头，其特征在于，所述第一聚光单元为测...

【专利技术属性】
技术研发人员：王绍治，刘健，隋永新，杨怀江，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林,22