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本发明公开了一种光学元件表面质量检测镜头，包括：光源、第一分束单元、第一聚光单元、第二聚光单元、第二分束单元、第一探测单元和第二探测单元。所述第一分束单元用于将所述光源发出的光分为检测光和参考光，并将这两部分光分别入射至所述第一聚光单元和所...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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