一种子孔径拼接非球面干涉仪制造技术

本发明专利技术公开了一种子孔径拼接非球面干涉仪，包括：激光器、分束器、第一扩束系统、参考镜以及扫描探测系统；所述激光器发出细光束并将所述细光束经所述分束器入射至所述第一扩束系统；所述第一扩束系统用于将所述细光束变为宽光束，所述宽光束一部分传播至参考镜后原路返回形成参考波，另一部分经过透射传播至待测非球面镜表面后反射形成检测波，所述参考波与所述检测波形成干涉光束经过分束器后进入所述扫描探测系统；所述扫描探测系统用于将所述经分束器入射的干涉光束变成宽干涉光束后分别探测所述宽干涉光束中的每一个子光束，并存储探测到的所述子光束的面形。该子孔径拼接非球面干涉仪具有成本低，测量精度高的优点。

A seeded aperture stitching aspheric interferometer

【技术实现步骤摘要】
一种子孔径拼接非球面干涉仪
本专利技术涉及光学检测
，尤其涉及一种子孔径拼接非球面干涉仪。
技术介绍
光学非球面的中高精度检测方案多采用光学方式，最常用的方法是采用普通干涉仪，借助于补偿器或者CGH(计算全息)来对非球面表面进行零位补偿干涉测量。但是该方法需要对每个非球面专门设计和制造补偿器或者CGH来进行测量，不仅设计和制造困难，而且加工周期很长，成本高，只有批量化的非球面加工才适合这种方式。另外，用波面干涉仪不能直接测量非球面的最重要的原因是干涉条纹太密，探测元件无法解析。所以实际检测过程中也常用子孔径拼接方式来对非球面进行面形检验。该方法是将被测非球面口径划分为若干更小口径的子孔径，由于子孔径范围内非球面的偏离量足够小，所以可以用标准的小口径干涉仪对子孔径进行零位干涉检测，然后通过拼接技术得到非球面全口径的检测结果。但是这种拼接检测方式需要外部的运动机构配合，使得干涉仪与非球面镜本身产生相对运动以测量各个子孔径。这种运动方式不仅成本较高，而且运动误差难以控制，所以实际检测中，不得不增加复杂的拼接算法才能使拼接误差足够小，这无疑增加了该方法实现的难度与工作量。
技术实现思路
本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种子孔径拼接非球面干涉仪，其特征在于，包括：激光器、分束器、第一扩束系统、参考镜以及扫描探测系统；所述激光器发出细光束并将所述细光束经所述分束器入射至所述第一扩束系统；所述第一扩束系统用于将所述细光束变为宽光束，所述宽光束一部分传播至参考镜后原路返回形成参考波，另一部分经过透射传播至待测非球面镜表面后反射形成检测波，所述参考波与所述检测波形成干涉光束经过分束器后进入所述扫描探测系统；所述扫描探测系统用于将所述经分束器入射的干涉光束变成宽干涉光束后分别探测所述宽干涉光束中的每一个子光束，并存储探测到的所述子光束的面形。

【技术特征摘要】
1.一种子孔径拼接非球面干涉仪，其特征在于，包括：激光器、分束器、第一扩束系统、参考镜以及扫描探测系统；所述激光器发出细光束并将所述细光束经所述分束器入射至所述第一扩束系统；所述第一扩束系统用于将所述细光束变为宽光束，所述宽光束一部分传播至参考镜后原路返回形成参考波，另一部分经过透射传播至待测非球面镜表面后反射形成检测波，所述参考波与所述检测波形成干涉光束经过分束器后进入所述扫描探测系统；所述扫描探测系统用于将所述经分束器入射的干涉光束变成宽干涉光束后分别探测所述宽干涉光束中的每一个子光束，并存储探测到的所述子光束的面形。2.根据权利要求1所述的子孔径拼接非球面干涉仪，其特征在于，所述扫描探测系统包括第二扩束系统，扫描系统以及探测器；所述第二扩束系统用于将所述经所述分束器入射的干涉光束变成宽干涉光束；所述扫描系统使探测器与该宽干涉光束之间形成相对位移，且可使探测器的探测范围覆盖所述宽干涉光束的全部区域；所述探测器用来探测所述宽干涉光束中的每一个子光束并存储探测到的所述子光束的面形。3.根据权利要求2所述的子孔径拼接非球面干涉仪，其特征在于，所述扫描系统为二维运动平台；所述探测器固定设置于所述二维运动平台之上，所述二维运动平台带动...

【专利技术属性】
技术研发人员：王绍治，刘健，隋永新，杨怀江，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林,22