晶圆缺角统计查询方法及基于其的问题站点查找方法技术

本发明专利技术提供一种晶圆缺角统计查询方法及基于其的问题站点查找方法，包括步骤：于晶圆上定义缺角角度，并定义跑货机台承载台的0°位置；将跑货机台按照预设顺序进行排列；统计跑货机台所跑的批次货物中晶圆的缺角方向，若缺角方向不转，记录为上一跑货机台跑货完成后缺角方向；若缺角方向转动，记录为转动后缺角方向；统计出现的不同缺角方向的个数，得到晶圆或批次货物的晶圆缺角信息。通过上述方案，通过对机台硅片缺角方向的统计，可以查询硅片在各个制程站点的缺角方向，利用晶圆缺角的差异，在缺陷和良率损失的分析中，缩短问题站点的查找范围，针对部分特殊机台通过派货使其所跑的前后批货物缺角方向出现差异，并通过加检以缩短问题站点。

【技术实现步骤摘要】
晶圆缺角统计查询方法及基于其的问题站点查找方法
本专利技术涉及一种半导体处理分析
，特别是涉及一种晶圆缺角统计查询方法及基于其的问题站点查找方法。
技术介绍
目前，在半导体缺陷和良率分析中，经常会出现同一批lot(批次货物)中不同wafer(晶圆)或不同批lot的wafer出现十分相似但方向明显差异的特殊map(图谱)，如：同一批lot中不同wafer存在不同的notch(晶圆缺角)方向这种现象是因为在制程中存在一些抽检的站点，这些站点只对某一片或几片wafer进行检测，所以这些被筛选到的wafer就可能出现notch方向异于其他片的现象，这些站点一般都会遵循固定的抽检方式；不同批lot的wafer存在不同的notch方向这种现象是因为，两批lot所run货(跑货)的机台不同，或者制程本身有明显差别，会多run或少run某些机台和站点。上述现象的存在主要是因为，在制程中部分机台会规范所run硅片在机台内的方向，即硅片的缺角(notch)会统一转到某个特定的方向。以下归纳了机台在run货过程中针对notch的几种设定：1)机台本身不会做任何规范硅片方向的动作，即notch不做任何本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆缺角统计查询方法，其特征在于，包括如下步骤：1)于晶圆上定义若干个缺角角度，以表示所述晶圆的缺角方向，并定义所述晶圆的跑货机台承载台的0°位置与所述缺角角度中的0°位置对应；2)将每一批次货物的所有跑货机台按照预设顺序进行排列，以进行所述批次货物中晶圆的缺角方向的统计；3)统计每一所述跑货机台所跑的所述批次货物中每一片晶圆的缺角方向，其中，若所述晶圆的缺角方向不发生转动，则将所述缺角方向记录为上一跑货机台跑货完成后所述缺角方向对应的缺角角度；若所述晶圆的缺角方向发生转动，则将所述缺角方向记录为转动后所述缺角方向对应的缺角角度；4)统计每一所述跑货机台所跑的所述批次货物中各所述晶圆出现的...

【技术特征摘要】
1.一种晶圆缺角统计查询方法，其特征在于，包括如下步骤：1)于晶圆上定义若干个缺角角度，以表示所述晶圆的缺角方向，并定义所述晶圆的跑货机台承载台的0°位置与所述缺角角度中的0°位置对应；2)将每一批次货物的所有跑货机台按照预设顺序进行排列，以进行所述批次货物中晶圆的缺角方向的统计；3)统计每一所述跑货机台所跑的所述批次货物中每一片晶圆的缺角方向，其中，若所述晶圆的缺角方向不发生转动，则将所述缺角方向记录为上一跑货机台跑货完成后所述缺角方向对应的缺角角度；若所述晶圆的缺角方向发生转动，则将所述缺角方向记录为转动后所述缺角方向对应的缺角角度；4)统计每一所述跑货机台所跑的所述批次货物中各所述晶圆出现的不同所述缺角方向的个数，以得到每一所述跑货机台中晶圆或批次货物的晶圆缺角信息。2.根据权利要求1所述的晶圆缺角统计查询方法，其特征在于，步骤3)中，若所述批次货物或所述晶圆在跑货过程中所述缺角方向发生转动，且跑货完成后又转回到跑货前的位置，则对所述批次货物或所述晶圆在跑货过程中的所述缺角方向一并显示，并在步骤4)中统计为不同的所述缺角方向。3.根据权利要求1所述的晶圆缺角统计查询方法，其特征在于，步骤3)中，对于被抽检的晶圆，记录所述缺角方向为抽检完成放回跑货机台后的缺角方向。4.根据权利要求1所述的晶圆缺角统计查询方法，其特征在于，步骤1)中，定义的所述缺角角度为8个，按顺时针方向依次包括：0°，45°，90°，135°，180°，225°，270°，315°，并定义晶圆对应于晶圆盒上方的方向为0°方向。5.根据权利要求1所述的晶圆缺角统计查询方法，其特征在于，步骤2)中，所述预设顺序为所述批次货物的跑货站点顺序。6.根据权利要求1所述的晶圆缺角统计查询方法，其特征在于，步骤4)之后，可以选择不同的批次货物进行晶圆缺角信息查询，或者选择批次货物中任一晶圆进行晶圆缺角信息查询，且可以查询所述批次货物或所述晶圆的所有跑货站点的晶圆缺角信息。7.一种基于晶圆缺角方向的问题站点查找方法，其特征在于，包括如下步骤：1)提供具有相同预设图谱且所述预设图...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨林，黄盛境，杜丽，
申请(专利权)人：中航重庆微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：重庆,50