一种柔性变角度阵列衍射光学器件的热压式制作方法技术
【技术实现步骤摘要】
一种柔性变角度阵列衍射光学器件的热压式制作方法
本专利技术属于激光显示投影领域，尤其涉及一种用于激光散斑抑制的衍射光学器件结构在柔性塑料材料上的热压式制作方法。
技术介绍
激光投影显示系统因其所具备的色彩丰富、画面质量高、寿命长、可靠性高、功效高、能耗低等优点，受到越来越广泛的关注和欢迎。然而由于激光是高相干光，不可避免地会产生一种称为激光散斑的画面噪声。散斑表现为随机分布在激光光斑中的黑色斑点，其实质为信号的随机相干叠加，散斑的存在严重影响图像和信息的质量。在激光投影显示领域，散斑会使投影显示的画面质量下降，导致观看者产生疲倦和头晕眼花等症状，严重影响激光投影仪使用者的体验，成为制约激光投影显示系统和仪器发展的核心因素。因此，研发激光散斑抑制技术和器件十分必要。已有技术中对激光散斑的抑制，最常采用的是运动的衍射光学器件，比如在《Hadamardspecklecontrastreduction》(2004，Opt.Lett.29,11-13)一文中JahjaI.Trisnadi第一次采用了基于Hadamard矩阵结构的衍射光学器件；在《Fullspecklesup...
【技术保护点】
一种柔性变角度阵列衍射光学器件的热压式制作方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：(一)单个衍射光学器件模具制作步骤1：制备好N个一维二元衍射光学结构的掩模版备用，所述N个掩模版分别对应本专利技术柔性变角度阵列衍射光学器件中的N组一维二元衍射光学结构；步骤2：选择硅片作为基底材料，并进行清洗；步骤3：在经过步骤2的清洁硅片上涂敷一层光刻胶，进行前烘，然后使用步骤1的掩模版曝光，之后显影、后烘，形成光刻胶图形结构；步骤4：在经过步骤3的样片上，生长一层厚度为100纳米至250纳米的铜薄膜，作为电铸阴极；步骤5：将经过步骤4的样片，置入电解液中电铸镍，镍的厚度控制在850纳米至...
【技术特征摘要】
1.一种柔性变角度阵列衍射光学器件的热压式制作方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：(一)单个衍射光学器件模具制作步骤1：制备好N个一维二元衍射光学结构的掩模版备用，所述N个掩模版分别对应本发明柔性变角度阵列衍射光学器件中的N组一维二元衍射光学结构；步骤2：选择硅片作为基底材料，并进行清洗；步骤3：在经过步骤2的清洁硅片上涂敷一层光刻胶，进行前烘，然后使用步骤1的掩模版曝光，之后显影、后烘，形成光刻胶图形结构；步骤4：在经过步骤3的样片上，生长一层厚度为100纳米至250纳米的铜薄膜，作为电铸阴极；步骤5：将经过步骤4的样片，置入电解液中电铸镍，镍的厚度控制在850纳米至1150纳米之间；步骤6：清洗经过步骤5的样片，去除残留的电解液，然后使用步骤3中光刻胶配套去胶剂去除光刻胶及其上的金属，制成单个衍射光学器件模具，所述单个衍射光学器件模具可反复多次使用；(二)柔性变角度阵列衍射光学器件模具制作步骤7：采用精密机械技术，加工模具固件备用，所述X轴定义为柔性变角度阵列衍射光学器件的长度方向，所述Y轴定义为柔性变角度阵列衍射光学器件的宽度方向；步骤8：根据柔性变角度阵列衍射光学器件的结构设计，选取制成的单个衍射光学器件模具安装在步骤7的模具固件上进行组合，之后紧固，制成柔性变角度阵列衍射光学器件模具；(三)在热塑性塑料材料上制作柔性变角度阵列衍射光学器件步骤9：备好热塑性柔性材料，并清洁；步骤10：使用所述柔性变角度阵列衍射光学器件模具，利用热压机进行热压，利用压力和热压时间控制压印深度，所述压印深度由二元衍射光学结构深度h确定；步骤11：压印结束并冷却后，取下步骤9的热塑性柔性材料并裁剪，沿Y轴将第1组和第N组一维二元衍射光学结构粘结起来，形成柔性变角度阵列衍射光学器件。2.如权利要求1所述的一种柔性变角度阵列衍射光学器件的热压式制作方法，其特征在于：所述柔性变角度阵列衍射光学器件制作在柔性材料上，由N组一维二元衍射光学结构首尾连接而成，所述一维二元衍射光学结构包括光栅结构和光学微结构，所述一维是指衍射光学结构为一维图案，所述二元是指因衍射光学结构深度所形成的光程差是二值化的。3.如权利要求2所述的一种柔性变角度阵列衍射光学器件的热压式制作方法...
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