用于晶元丝网印刷前的除静电微粒装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于晶元丝网印刷前的除静电微粒装置，所述除静电微粒装置设置在丝网印刷的进料口处，除静电微粒装置包括沿晶元进料传送方向依序设置的除静电毛刷和风刀，所述除静电毛刷用于去除晶元表面附带微粒上的静电，所述风刀设置用于已去除静电后的微粒。本实用新型专利技术能够去除晶元表面静电，再通过风刀来吹扫表面颗粒，去颗粒效果好，能够有效提高产品品质。

The particle removing device for electrostatic wafer before screen printing

The utility model provides a particle removing device for electrostatic screen printing before the wafer, the static particle device is arranged on the feeding opening of screen printing, in addition to electrostatic particle feeding device comprises a wafer along the conveying direction by electrostatic brush and air knife in order to set, the antistatic brush is used for removing the wafer the surface with electrostatic particles, the air knife is provided for removing particles have electrostatic after. The utility model can remove the electrostatic wafer surface, and then through the air knife to purge the surface of particles, particles to good effect, can effectively improve the quality of products.

【技术实现步骤摘要】
用于晶元丝网印刷前的除静电微粒装置
本技术涉及一种用于晶元丝网印刷前的除静电微粒装置。
技术介绍
晶元是生产集成电路所用的载体，一般为单晶硅圆片，在对晶元进行丝网印刷时，由于晶元表面会因静电附着灰尘等颗粒，导致晶元在印刷时造成印刷网版较容易堵塞，进而增加cell表面断栅的几率，直接影响产品品质，目前还没有针对这一问题去除晶元表面颗粒的装置。
技术实现思路
本技术的一个目的是要提供一种用于晶元丝网印刷前的除静电微粒装置，能够在丝网印刷钱有效去除晶元表面静电及灰尘等颗粒。特别地，本技术提供了一种用于晶元丝网印刷前的除静电微粒装置，所述除静电微粒装置设置在丝网印刷的进料口处，其特征在于，除静电微粒装置包括沿晶元进料传送方向依序设置的除静电毛刷和风刀，所述除静电毛刷用于去除晶元表面附带微粒上的静电，所述风刀设置用于已去除静电后的微粒。对于上述技术方案，专利技术人还有进一步的优化措施。进一步地，所述除静电毛刷包括金属支架和毛刷头，所述金属支架水平设置在晶元的进料传送装置的上方，所述毛刷头设置在金属支架的下方并接触所述进料传送装置上运送的晶元。更进一步地，所述风刀为CDA(洁净压缩空气)风刀，CDA风刀即为传统所说的洁净压缩空气风刀，用于吹扫所述晶元表面的微粒。与现有技术相比较，本技术的优点在于：本技术的用于晶元丝网印刷前的除静电微粒装置，由于先去除晶元表面静电，再通过风刀来吹扫表面颗粒，去颗粒效果好，能够有效提高产品品质。根据下文结合附图对本技术具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本技术的上述以及其他目的、优点和特征。附图说明后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本技术的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：图1是根据本技术一个实施例的除静电微粒装置的除静电毛刷的结构示意图。其中：1、金属支架；2、毛刷头。具体实施方式图1是根据本技术一个实施例的除静电微粒装置的除静电毛刷的结构示意图。本实施例描述的用于晶元丝网印刷前的除静电微粒装置，所述除静电微粒装置设置在丝网印刷的进料口处，除静电微粒装置包括沿晶元进料传送方向依序设置的除静电毛刷和风刀，所述除静电毛刷用于去除晶元表面附带微粒上的静电，所述风刀设置用于已去除静电后的微粒。如图1所示，所述除静电毛刷包括金属支架1和毛刷头2，所述金属支架水平设置在晶元的进料传送装置的上方，所述毛刷头2设置在金属支架的下方并接触所述进料传送装置上运送的晶元。所述风刀为CDA(洁净压缩空气)风刀，CDA风刀即为传统所说的洁净压缩空气风刀，用于吹扫所述晶元表面的微粒。综上，本实施例的用于晶元丝网印刷前的除静电微粒装置，由于先去除晶元表面静电，再通过风刀来吹扫表面颗粒，去颗粒效果好，能够有效提高产品品质。至此，本领域技术人员应认识到，虽然本文已详尽示出和描述了本技术的多个示例性实施例，但是，在不脱离本技术精神和范围的情况下，仍可根据本技术公开的内容直接确定或推导出符合本技术原理的许多其他变型或修改。因此，本技术的范围应被理解和认定为覆盖了所有这些其他变型或修改。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于晶元丝网印刷前的除静电微粒装置，所述除静电微粒装置设置在丝网印刷的进料口处，其特征在于，除静电微粒装置包括沿晶元进料传送方向依序设置的除静电毛刷和风刀，所述除静电毛刷用于去除晶元表面附带微粒上的静电，所述风刀设置用于已去除静电后的微粒。

【技术特征摘要】
1.一种用于晶元丝网印刷前的除静电微粒装置，所述除静电微粒装置设置在丝网印刷的进料口处，其特征在于，除静电微粒装置包括沿晶元进料传送方向依序设置的除静电毛刷和风刀，所述除静电毛刷用于去除晶元表面附带微粒上的静电，所述风刀设置用于已去除静电后的微粒。2.根据权利要求1所述的用于晶元丝网印刷前的除静电微粒...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈少杰，
申请(专利权)人：苏州矽美仕绿色新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32