一种复合片抛光用自冷却金刚石砂轮制造技术
A self cooling diamond grinding wheel for composite wafer polishing
【技术实现步骤摘要】
一种复合片抛光用自冷却金刚石砂轮
本技术属于金刚石砂轮
，特别涉及一种复合片抛光用自冷却金刚石砂轮。
技术介绍
目前，金刚石复合片产品表面抛光一般采用端面金刚石砂轮抛光，在抛光过程中砂轮产生大量的热，需要不断地进行水冷却或停机自然冷却等间接的冷却方法，这种形式一是造成水资源的浪费，二是需要停机操作繁琐，从而影响了金刚石复合片产品的抛光效率和抛光质量。
技术实现思路
本技术目的是为解决上述现有技术中存在的问题而提出了一种复合片抛光用自冷却金刚石砂轮，为达到上述目的所采取的技术方案是：一种复合片抛光用自冷却金刚石砂轮，包括砂轮基体，在砂轮基体中心处设有安装孔，在砂轮基体上同轴连接有砂轮环，所述砂轮环的工作面凸出于砂轮基体，在砂轮环与砂轮基体之间设有沿圆周方向设置的环形通风槽，在砂轮环与砂轮基体之间的边缘处沿圆周方向均匀设有多个与环形通风槽相连通的通风孔。优选的，所述砂轮环采用金刚石材质，砂轮环通过烧结方式与砂轮基体固定连接。优选的，所述环形通风槽包括两个相连通的第一环形通风槽和第二环形通风槽，所述第一环形通风槽和第二环形通风槽同轴布置且第一环形通风槽位于第二环形通风槽的外侧。优选的，所述通风孔为偶数个，通风孔贯穿环形通风槽而嵌入在砂轮基体内部。优选的，所述第一环形通风槽和第二环形通风槽沿径向总宽度为砂轮环沿径向总宽度的三分之一；第一环形通风槽和第二环形通风槽沿径向之间的间隔大于第一环形通风槽距砂轮基体外边缘的距离。本技术所具有的有益效果为：在对金刚石复合片产品表面进行抛光时，通过砂轮环底部环形通风槽和通风孔的相互作用形成高速旋风对砂轮环进行实时散热，这种在热...
【技术保护点】
一种复合片抛光用自冷却金刚石砂轮，包括砂轮基体，在砂轮基体中心处设有安装孔，其特征在于，在砂轮基体上同轴连接有砂轮环，所述砂轮环的工作面凸出于砂轮基体，在砂轮环与砂轮基体之间设有沿圆周方向设置的环形通风槽，在砂轮环与砂轮基体之间的边缘处沿圆周方向均匀设有多个与环形通风槽相连通的通风孔。
【技术特征摘要】
1.一种复合片抛光用自冷却金刚石砂轮，包括砂轮基体，在砂轮基体中心处设有安装孔，其特征在于，在砂轮基体上同轴连接有砂轮环，所述砂轮环的工作面凸出于砂轮基体，在砂轮环与砂轮基体之间设有沿圆周方向设置的环形通风槽，在砂轮环与砂轮基体之间的边缘处沿圆周方向均匀设有多个与环形通风槽相连通的通风孔。2.根据权利要求1所述的复合片抛光用自冷却金刚石砂轮，其特征在于，所述砂轮环采用金刚石材质，砂轮环通过烧结方式与砂轮基体固定连接。3.根据权利要求1或2所述的复合片抛光用自冷却金刚石砂轮，其特征在于，所述环形通...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢灿华，张猛，魏争艳，赵鑫，赵静，杨超，
申请(专利权)人：中南钻石有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41
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