一种薄膜天线制造技术

本实用新型专利技术提供了一种薄膜天线，将纳米天线与金属互连线相互整合，实现了纳米天线层的薄膜态。进一步的，利用纳米天线尺寸小和空间集成度高的特点，可以实现多个纳米天线共用的一层纳米天线层；利用恒定图案天线和变换图案天线的变换和排列，实现不同频段天线的集成于一层；进一步的，对纳米天线底部的金属接触线的设置，使得薄膜天线整体结构的纵向高度减小；此外，封闭空腔的设置，提高了纳米天线层的信号利用率；介质梁配合封闭空腔的设置，不仅提高封闭空腔的体积，还提高有利于更多频段天线的集成。本实用新型专利技术的薄膜天线及其制备方法，均可以与现有的CMOS工艺相兼容，无需额外增加成本，有利于大规模生产。

A thin film antenna

The utility model provides a film antenna, which integrates the nanantenna and metal interconnects, and realizes the film state of the nano antenna layer. Further, the high integration features of using nano antenna of small size and space, can achieve a plurality of nano antennas using a layer of nano antenna layer; using constant pattern antenna and antenna pattern transformation and permutation transform, realize different frequency antenna integrated in one layer; further, the metal contact line of nano antenna at the bottom of the set, making the vertical height of the overall structure of the thin film antenna is reduced; in addition, closed cavity settings, improve the utilization rate of nano antenna signal layer; beam with closed cavity medium settings, not only improve the closed cavity volume, but also improve the benefit of integration more band antenna. The film antenna and the preparation method of the utility model can all be compatible with the existing CMOS process, without additional cost increase, which is beneficial to large-scale production.

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜天线
本技术涉及半导体
，具体涉及一种薄膜天线。
技术介绍
随着移动数据设备例如智能手机、平板电脑等的普及，人们更加迫切需要在任何地方都能进行联网，在移动数据设备中天线是接触网络的唯一部件，这就要求移动数据设备具有不同的制式和不同的无线频段相对接的天线。天线尺寸由工作带宽、工作频率和辐射效率决定。更大尺寸的天线能够提供更大的带宽和更高的效率，天线尺寸越大还能够保持辐射效率不变。然而，现有的移动数据设备更加轻薄化，这给天线的预留空间越来越少，这极大限制了天线的带宽和频率，这也给网络和移动数据设备带来巨大挑战。
技术实现思路
为了克服以上问题，本技术旨在提供一种薄膜天线，通过纳米天线来改进传统天线结构，扩大天线的应用范围。为了达到上述目的，本技术提供了一种薄膜天线，其包括：一绝缘衬底层；位于绝缘衬底层中的金属互连线，用于对纳米天线层的信号进行传输；位于绝缘衬底层表面的纳米天线层；其中，纳米天线层底部通过金属接触线与金属互连线连接；位于纳米天线层之间的介质；位于纳米天线层上的覆盖层。优选地，所述纳米天线层中的纳米天线具有一个恒定图案天线和多个以这个恒定图案天线放大或缩小的变换图案天线本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜天线，其特征在于，包括：一绝缘衬底层；位于绝缘衬底层中的金属互连线，用于对纳米天线层的信号进行传输；位于绝缘衬底层表面的纳米天线层；其中，纳米天线层底部通过金属接触线与金属互连线连接；位于纳米天线层之间的介质；位于纳米天线层上的覆盖层。

【技术特征摘要】
1.一种薄膜天线，其特征在于，包括：一绝缘衬底层；位于绝缘衬底层中的金属互连线，用于对纳米天线层的信号进行传输；位于绝缘衬底层表面的纳米天线层；其中，纳米天线层底部通过金属接触线与金属互连线连接；位于纳米天线层之间的介质；位于纳米天线层上的覆盖层。2.根据权利要求1所述的薄膜天线，其特征在于，所述纳米天线层中的纳米天线具有一个恒定图案天线和多个以这个恒定图案天线放大或缩小的变换图案天线。3.根据权利要求2所述的薄膜天线，其特征在于，以所述恒定图案天线为基准，将所述恒定图案天线按递增或递减顺序放大为多个变换图案天线，将多个变换图案天线按照尺寸从小到大顺序且将顶端对齐到同一直线上排列。4.根据权利要求3所述的薄膜天线，其特征在于，相邻的变换图案天线的顶端在同一直线上、且相邻的变换图案天线中的一个变换图案天线与另一个变换图案天线呈180°相对设置。5.根据权利要求2所述的薄膜天线，其特征在于，所述恒定图案天线呈弧形轨迹排布。6.根据权利要求5所述的薄膜天线，其特征在于，所述恒定图案天线为波浪线且以弧形为轨迹排列。7.根据权利要求5所述的薄膜天线，其特征在于，所述弧形为半圆形。8.根据权利要求5所述的薄膜天线，其特征在于，每根所述纳米天线的一端底部与所述金属接触线顶部相连接。9.根据权利要求1所述的薄膜天线，其特征在于，所述金属接触线由金属接触孔结构构成；金属接触孔结构形成于绝缘衬底层中，其一端与纳米天线层底部连接，另一端穿过...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪际军，
申请(专利权)人：全普光电科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31