MEMS加速度计芯片测试装置制造方法及图纸

MEMS加速度计芯片测试装置。本实用新型专利技术涉及一种MEMS加速度计芯片测试装置。直线电机机身Ⅱ上设置旋转电机Ⅰ与旋转电机Ⅱ，旋转电机Ⅰ的输出轴插入轴承柱Ⅰ的内圈，轴承柱Ⅰ的外圈的顶端连接支撑板Ⅰ，支撑板Ⅰ的上端设置倒L形夹板Ⅰ，倒L形夹板Ⅰ与支撑板Ⅰ之间的空间装入一个MEMS加速度计芯片，旋转电机Ⅱ的输出轴插入轴承柱Ⅱ的内圈，轴承柱Ⅱ的外圈的顶端连接支撑板Ⅱ，支撑板Ⅱ的上端设置倒L形夹板Ⅱ，倒L形夹板Ⅱ与支撑板Ⅱ之间的空间装入一个MEMS加速度计芯片。本实用新型专利技术用于MEMS加速度计芯片测试。

【技术实现步骤摘要】
MEMS加速度计芯片测试装置
本技术涉及一种MEMS加速度计芯片测试装置。
技术介绍
在三明治摆式MEMS加速度计芯片测试过程中，需要对芯片的电容进行逐一测试，因此在测试时需要同时使用测试针头接触上下及截面上的测试点，在本技术之前采用的方式是手工逐一将探针扎到测试点进行测试，操作过程繁琐、效率低且准确性难以保证，往往还需要反复调节，导致芯片的电容测试过程困难。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种MEMS加速度计芯片测试装置，用以解决上述问题，方便使用，测试简便。上述的目的通过以下的技术方案实现：一种MEMS加速度计芯片测试装置，其组成包括：直线电机与旋转电机，所述的直线电机包括一个直线电机轨道1，所述的直线电机轨道1上运行直线电机机身Ⅰ2、直线电机机身Ⅱ3与直线电机机身Ⅲ4；所述的直线电机机身Ⅰ2上设置倒L形支架Ⅰ5，所述的倒L形支架Ⅰ5的两边再通过斜边Ⅰ6相连，所述的倒L形支架Ⅰ5的顶端横边的截面为梯形，所述的倒L形支架Ⅰ5的顶端横边上设置插口Ⅰ17与插口Ⅱ18，所述的插口Ⅱ18的外边框设置引导管Ⅰ19，所述的插口Ⅰ17与插口Ⅱ18均配合测试针使用；所述的直线电机机身Ⅱ3上设置旋转电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MEMS加速度计芯片测试装置，其组成包括：直线电机与旋转电机，其特征是：所述的直线电机包括一个直线电机轨道（1），所述的直线电机轨道（1）上运行直线电机机身Ⅰ（2）、直线电机机身Ⅱ（3）与直线电机机身Ⅲ（4）；所述的直线电机机身Ⅰ（2）上设置倒L形支架Ⅰ（5），所述的倒L形支架Ⅰ（5）的两边再通过斜边Ⅰ（6）相连，所述的倒L形支架Ⅰ（5）的顶端横边的截面为梯形，所述的倒L形支架Ⅰ（5）的顶端横边上设置插口Ⅰ（17）与插口Ⅱ（18），所述的插口Ⅱ（18）的外边框设置引导管Ⅰ（19），所述的插口Ⅰ（17）与插口Ⅱ（18）均配合测试针使用；所述的直线电机机身Ⅱ（3）上设置旋转电机Ⅰ（7）与旋转电...

【技术特征摘要】
1.一种MEMS加速度计芯片测试装置，其组成包括：直线电机与旋转电机，其特征是：所述的直线电机包括一个直线电机轨道（1），所述的直线电机轨道（1）上运行直线电机机身Ⅰ（2）、直线电机机身Ⅱ（3）与直线电机机身Ⅲ（4）；所述的直线电机机身Ⅰ（2）上设置倒L形支架Ⅰ（5），所述的倒L形支架Ⅰ（5）的两边再通过斜边Ⅰ（6）相连，所述的倒L形支架Ⅰ（5）的顶端横边的截面为梯形，所述的倒L形支架Ⅰ（5）的顶端横边上设置插口Ⅰ（17）与插口Ⅱ（18），所述的插口Ⅱ（18）的外边框设置引导管Ⅰ（19），所述的插口Ⅰ（17）与插口Ⅱ（18）均配合测试针使用；所述的直线电机机身Ⅱ（3）上设置旋转电机Ⅰ（7）与旋转电机Ⅱ（8），所述的旋转电机Ⅰ（7）的输出轴插入轴承柱Ⅰ（9）的内圈，所述的轴承柱Ⅰ（9）的外圈的顶端连接支撑板Ⅰ（10），所述的支撑板Ⅰ（10）的上端设置倒L形夹板Ⅰ（11），所述的倒L形夹板Ⅰ（11）与支撑板Ⅰ（10）之间的空间装入一个MEMS加速度计芯片，所述的倒L形夹板Ⅰ（11）的竖边与横边通过转轴Ⅰ（24）相连接，所述的倒L形夹板Ⅰ（11）的横边开有一组测试针插管Ⅰ（23），所述的测试针插管Ⅰ（23）内也装入测试针；所述的旋转电机Ⅱ（8）的输出轴插入轴承柱Ⅱ（12）的内圈，所述的轴承柱Ⅱ（12）的外圈的顶端连接支撑板Ⅱ（13），所述的支撑板Ⅱ（13）的上端设置倒L形夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙志远，
申请(专利权)人：中国地震局工程力学研究所，
类型：新型
国别省市：黑龙江,23