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MEMS加速度计芯片测试装置。本实用新型涉及一种MEMS加速度计芯片测试装置。直线电机机身Ⅱ上设置旋转电机Ⅰ与旋转电机Ⅱ，旋转电机Ⅰ的输出轴插入轴承柱Ⅰ的内圈，轴承柱Ⅰ的外圈的顶端连接支撑板Ⅰ，支撑板Ⅰ的上端设置倒L形夹板Ⅰ，倒L形夹板Ⅰ与...
该专利属于中国地震局工程力学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国地震局工程力学研究所授权不得商用。

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