一种三维异形微通道加工装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种三维异形微通道加工装置及方法，其中加工装置包括利用贵金属粒子加工三维异形微通道的反应组件、用于带动反应组件改变位姿的驱动组件、用于检测反应组件位置信息的检测组件、以及用于根据检测组件检测到的位置信息控制驱动组件调整反应组件的位姿的控制器，反应组件和检测组件均安装在驱动组件上，控制器与驱动组件以及检测组件均连接。本发明专利技术所提供的加工装置，利用控制器对驱动组件的控制，改变反应组件的位置，实现贵金属粒子在反应组件内移动轨迹的改变，完成三维异形微通道加工，结构简单、制作成本低，可大批量生产，有较大的推广空间，可以实现同形状的三维异形微通道的重复刻蚀，提高了被加工件的生产效率。

A three dimensional special-shaped micro channel machining device and method

【技术实现步骤摘要】
一种三维异形微通道加工装置及方法
本专利技术涉及微通道加工领域，特别是涉及一种三维异形微通道加工装置及方法。
技术介绍
微通道技术广泛应用于生物、医疗、化学及微流体系统等领域，在细胞培养、药物筛选、基因检测以及化学实验等方面的应用日渐成熟。如何能够快速精确有效加工出特征尺寸极小的三维异形微通道，在微通道技术中具有非常实际的意义，现有技术中，光刻和金属辅助化学刻蚀是微通道最主要的制造方法。所谓光刻，即首先要在基片表面覆盖一层薄膜，然后在薄膜表面用甩胶机均匀地覆盖上一层光胶，将掩膜上芯片设计图案通过曝光成像的原理转移到光胶层的工艺过程。在典型的金属辅助化学刻蚀过程中，表面有贵金属(如Au、Pt、Ag或Au/Pd合金等)薄膜或颗粒层的硅衬底放入HF与氧化性物质(如H2O2)的混合溶液中，贵金属下面硅的刻蚀速度远远大于未被贵金属覆盖硅的刻蚀速度，结果随着刻蚀反应的进行，贵金属沿着硅衬底逐渐下沉，刻蚀出竖直孔状或柱状一维硅纳米结构。目前，微流体系统中微通道的制造主要依赖于光刻的方法，而该方法的固有限制是只能进行表面的二维平面制造。因此在制造三维异形微流体系统时，不得不分层制造后进行堆叠、键合和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三维异形微通道加工装置，其特征在于，包括利用贵金属粒子(21)加工三维异形微通道的反应组件(2)、用于带动所述反应组件(2)改变位姿的驱动组件(1)、用于检测所述反应组件(2)位置信息的检测组件(3)、以及用于根据所述检测组件(3)检测到的位置信息控制所述驱动组件(1)调整所述反应组件(2)的位姿的控制器(4)，所述反应组件(2)和所述检测组件(3)均安装在所述驱动组件(1)上，所述控制器(4)与所述驱动组件(1)以及所述检测组件(3)均连接。

【技术特征摘要】
1.一种三维异形微通道加工装置，其特征在于，包括利用贵金属粒子(21)加工三维异形微通道的反应组件(2)、用于带动所述反应组件(2)改变位姿的驱动组件(1)、用于检测所述反应组件(2)位置信息的检测组件(3)、以及用于根据所述检测组件(3)检测到的位置信息控制所述驱动组件(1)调整所述反应组件(2)的位姿的控制器(4)，所述反应组件(2)和所述检测组件(3)均安装在所述驱动组件(1)上，所述控制器(4)与所述驱动组件(1)以及所述检测组件(3)均连接。2.根据权利要求1所述的三维异形微通道加工装置，其特征在于，还包括底座和支架，所述底座与所述支架固定连接，所述驱动组件(1)安装在所述支架上。3.根据权利要求1所述的三维异形微通道加工装置，其特征在于，所述驱动组件(1)包括六自由度运动部件(11)，以及可分别带动所述六自由度运动部件(11)翻转和转动的翻转部件(12)和转动部件(13)，所述反应组件(2)安装在所述六自由度运动部件(11)上。4.根据权利要求3所述的三维异形微通道加工装置，其特征在于，所述六自由度运动部件(11)包括上平台(111)、下平台(112)以及安装在所述上平台(111)与所述下平台(112)之间的六个音圈电机(113)，所述音圈电机(113)的两端分别与所述上平台(111)和所述下平台(112)铰接。5.根据权利要求4所述的三维异形微通道加工装置，其特征在于，所述翻转部件(12)包括翻转平台(122)和可带动所述翻转平台(122)翻转的翻转电机(121)，所述下平台(112)安装在所述翻转平台(122)的上侧。6.根据权利要求5所述的三维异形微通道加工装置，其特征在于，所述转动部件(13)为转动电机，所述转动电机安装在所述翻转平台(122)的下侧，并且，所述转动电机可带动所述下平台...

【专利技术属性】
技术研发人员：高健，张学志，陈新，陈云，汤晖，杨志军，贺云波，张昱，张凯，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：广东,44