下载一种三维异形微通道加工装置及方法的技术资料

文档序号:17207345

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本发明公开了一种三维异形微通道加工装置及方法,其中加工装置包括利用贵金属粒子加工三维异形微通道的反应组件、用于带动反应组件改变位姿的驱动组件、用于检测反应组件位置信息的检测组件、以及用于根据检测组件检测到的位置信息控制驱动组件调整反应组件的...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。

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