激光处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种激光处理装置，其包含：腔室，在腔室中形成用于实现衬底处理的空间；窗口模块，其安装在腔室的一侧上以便将多个窗口选择性地定位在激光束辐照路径上；台模块，其安装在腔室内部以便将多个台选择性地定位在激光束辐照路径上；激光模块，其定位在腔室外部；以及光学件模块，其连接到激光模块且朝向腔室中的所述一侧延伸，其中可在一个腔室内部使用同一激光模块及光学件模块而稳定地执行用于处理衬底的彼此不同的工艺。

【技术实现步骤摘要】
激光处理装置
本公开涉及一种激光处理装置，且更确切地说，涉及一种具有经优化结构的激光处理装置，所述激光处理装置能够在一个腔室内部通过使用同一激光模块及光学件模块而稳定地执行彼此不同的衬底处理工艺。
技术介绍
准分子激光退火(excimerlaserannealing；ELA)设备将从准分子激光光源振荡的脉冲激光整形成线性光束且运用线性光束辐照衬底上的非晶硅薄膜以在所述衬底上对非晶硅薄膜进行结晶。举例来说，韩国专利特许公开公布第10-2015-0139213号中所公开的装置属于准分子激光退火设备。一般来说，准分子激光退火设备包含：反应腔室，其中形成反应空间；台，其安置于反应腔室的内部下部部分中；退火窗口，其安装在反应腔室的上部部分上；激光模块，其设置在反应腔室外部；以及光学件模块，其在激光模块与退火窗口之间形成光路径。激光剥离(laserlift-off；LLO)设备用以通过运用准分子激光束辐照衬底来使薄膜分离以形成例如发光二极管(light-emittingdiode；LED)的元件。举例来说，韩国专利特许公开公布第10-2015-025173号中所公开的装置属于激光剥离设备。一般来说，激光剥离设备包含：反应腔室，其中形成反应空间；台，其安置于反应腔室的内部下部部分中；窗口，其安装在反应腔室的上部部分上；激光模块，其设置在反应腔室外部；以及光学件模块，其经设置在激光模块与窗口之间且导引激光束。同时，鉴于上文所提及的准分子激光退火设备及激光剥离设备的配置，可理解，两个类型的设备的配置并非明显不同。因而，尽管准分子激光退火设备及激光剥离设备的配置并非明显不同，但归因于准分子激光退火工艺及激光剥离工艺的特性的差异，在相关技术中，准分子激光退火设备已经配置以仅执行准分子激光退火工艺，且相似地，激光剥离设备已经配置以仅执行激光剥离工艺。因此，在用以制造显示器件的设备的制造、维护以及管理期间造成时间损耗及高成本。[现有技术文献][专利文献](专利文献1)KR10-2015-0139213A(专利文献2)KR10-2015-0025173A(专利文献3)KR10-2015-0046425A(专利文献4)KR10-2014-0061614A
技术实现思路
本公开提供一种具有经优化结构的激光处理装置，所述激光处理装置能够在一个腔室内部通过使用同一激光模块及光学件模块来稳定地执行彼此不同的衬底处理工艺。本公开还提供一种具有经优化结构的激光处理装置，所述激光处理装置能够在一个腔室内部通过使用同一激光模块及光学件模块而稳定地执行准分子激光退火工艺及激光剥离工艺。本公开还提供一种激光处理装置，其能够在切换激光剥离工艺与准分子激光退火工艺时防止由先前工艺造成的污染物质(例如颗粒)干扰下一工艺。本公开还提供一种激光处理装置，其能够在切换激光剥离工艺与准分子激光退火工艺时在维持先前工艺中的激光束对准及激光束工作距离的状态中执行下一工艺。根据示范性实施例，一种激光处理装置包含：腔室，其中形成用于实现衬底处理的空间；窗口模块，其安装在腔室的一侧上以便将多个窗口选择性地定位在激光束辐照路径上；以及台模块，其安装在腔室内部以便将多个台选择性地定位在激光束辐照路径上。在根据本专利技术的实施例中，激光处理装置可进一步包含：激光模块，其定位在腔室外部；及光学件模块，其连接到激光模块且朝向腔室的所述一侧延伸。在根据本专利技术的实施例中，数个窗口及数个台中的至少任一者可对应于用于衬底的数个工艺。在根据本专利技术的实施例中，多个台中的每一者的上部表面的高度可由用于衬底的工艺的种类及衬底载入方法当中的至少一者确定。在根据本专利技术的实施例中，多个台可具有上部表面，所述上部表面分别具有彼此不同的高度。在根据本专利技术的实施例中，窗口模块可包含：下部板部件，其安装到腔室的一侧以在一个方向上延伸且具有开口，所述开口允许激光束在与激光束辐照路径交叉的区中从中通过；导引部件，其与所述开口在与所述一个方向交叉的另一方向上间隔开且安装在下部板部件的一个表面上；以及多个上部板部件，其在一个方向上对准、由导引部件可滑动地支撑，且分别具有入射开口，所述入射开口允许激光束从中通过，其中多个窗口中的每一者可形成以允许激光束从中通过、可安装在多个入射开口上，且可通过上部板部件的滑动而在开口上选择性地对准。在根据本专利技术的实施例中，导引部件可包含线性运动导引件，且线性运动导引件可在一个方向上延伸且可在另一方向上分别定位在开口的两侧处。在根据本专利技术的实施例中，多个上部板部件可在一个方向上滑动，而其在另一方向上的两个边缘部分都安装在线性运动导引件上。在根据本专利技术的实施例中，窗口模块可包含操作部件，其在一个方向上可延伸地形成且在一个方向上分别安装到多个上部板部件。在根据本专利技术的实施例中，操作部件可包含气压缸，且气压缸可分别围绕作为中心的多个上部板部件彼此间隔开，且可分别安装在分别面对气压缸的上部板部件上。在根据本专利技术的实施例中，窗口模块可包含密封部件，其安装在下部板部件的一个表面上、通过气动压力扩展，且经允许而与面对开口的上部板部件紧密接触。在根据本专利技术的实施例中，台模块可包含多个传送框架，其在一个方向及与所述一个方向交叉的另一方向上可移动地支撑多个台。在根据本专利技术的实施例中，台模块可包含：多个第一轴传送框架，其在一个方向上延伸且在与所述一个方向交叉的另一方向上彼此间隔开；及多个第二轴传送框架，其在另一方向上延伸、在一个方向上间隔开，且通过连接第一传送框架来安装，其中多个台中的每一者可在一个方向上彼此间隔开且可由多个第二轴传送框架可移动地支撑。在根据本专利技术的实施例中，第一轴传送框架可在另一方向上与激光束辐照路径朝向两侧间隔开，且可在一个方向上可移动地支撑第二轴框架，且可在另一方向上可移动地支撑多个台中的每一者，使得在一个方向上的两个侧边缘部分都安装在第二轴传送框架上。在根据本专利技术的实施例中，可安装夹盘构件以便允许衬底固定到多个台当中的任何一个的上部表面上。在根据本专利技术的实施例中，夹盘构件可包含真空垫，且真空垫可安装在来自多个台当中的台的相对低高度的上部表面上。附图说明可从结合附图进行的以下描述来更详细地理解示范性实施例，其中：图1是根据示范性实施例的激光处理装置的示意图。图2是说明图1中的激光处理装置的部分A的经放大示意图。图3是沿着图2中的激光处理装置中的线C-C′截取的横截面图。图4是说明图1中的激光处理装置的部分B的经放大示意图。图5A、图5B是根据示范性实施例的激光处理装置的操作状态图。附图标号说明1：衬底；1a：第一衬底；1b：第二衬底；2：托盘；3：激光束；10：腔室；40：激光模块；50：光学件模块；200：窗口模块；210：下部板部件；211：开口；220：导引部件；230：上部板部件；230a：第一上部板部件；230b：第二上部板部件；231：入射开口；240：窗口；240a：第一窗口；240b：第二窗口；250：操作部件；251：气压缸主体；252：气压缸杆；260：气体注射部件；261：通道；262：气体供应管；263：注射块；264：外壳；270：密封部件；300：台模块；310：第一轴传送框架；320：第二轴传送框架；330：台；330a：第一台；330b：第二台；340：本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光处理装置，其特征在于包括：腔室，其中形成用于实现衬底处理的空间；窗口模块，其安装在所述腔室的一侧上以便将多个窗口选择性地定位在激光束辐照路径上；以及台模块，其安装在所述腔室内部以便将多个台选择性地定位在所述激光束辐照路径上。

【技术特征摘要】
2016.07.26 KR 10-2016-00949041.一种激光处理装置，其特征在于包括：腔室，其中形成用于实现衬底处理的空间；窗口模块，其安装在所述腔室的一侧上以便将多个窗口选择性地定位在激光束辐照路径上；以及台模块，其安装在所述腔室内部以便将多个台选择性地定位在所述激光束辐照路径上。2.根据权利要求1所述的激光处理装置，还包括：激光模块，其定位在所述腔室外部；以及光学件模块，其连接到所述激光模块且朝向所述腔室中的所述一侧延伸。3.根据权利要求1所述的激光处理装置，其中数个所述窗口及数个所述台中的至少任一者对应于用于衬底的数个工艺。4.根据权利要求1所述的激光处理装置，其中所述多个台中的每一者的上部表面的高度是由用于所述衬底的工艺的种类及衬底载入方法当中的至少一者确定。5.根据权利要求1所述的激光处理装置，其中所述多个台具有上部表面，所述上部表面分别具有彼此不同的高度。6.根据权利要求1所述的激光处理装置，其中所述窗口模块包括：下部板部件，其安装到所述腔室的一侧以在一个方向上延伸且具有开口，所述开口允许激光束在与所述激光束辐照路径交叉的区中从中通过；导引部件，其与所述开口在与所述一个方向交叉的另一方向上间隔开且安装在所述下部板部件的一个表面上；以及多个上部板部件，其在一个方向上对准、由所述导引部件可滑动地支撑，且分别具有入射开口，所述入射开口允许所述激光束从中通过，其中所述多个窗口中的每一者经形成以允许所述激光束从中通过、安装在所述多个入射开口上，且通过所述上部板部件的滑动而在所述开口上选择性地对准。7.根据权利要求6所述的激光处理装置，其中所述导引部件包括线性运动导引件，且所述线性运动导引件在所述一个方向上延伸且在另一方向上分别定位在所述开口的两侧处。8.根据权利要求7所述的激光处理装置，其中所述多个上部板部件在所述一个方向上...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈亨基，金锺明，严泰骏，朴宰显，
申请(专利权)人：AP系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR